一种微型原子氧密度传感器的制造方法

    公开(公告)号:CN117110131A

    公开(公告)日:2023-11-24

    申请号:CN202310947749.6

    申请日:2023-07-31

    Abstract: 本发明提供一种微型原子氧密度传感器的制造方法,涉及空间环境探测技术领域。该方法包括:准备基底;在基底表面制备下绝缘层;在下绝缘层表面制备加热及测温电阻薄膜;在加热及测温电阻薄膜表面制备上绝缘层,使其包覆于上绝缘层和下绝缘层中;在上绝缘层中制备加热及测温引线窗口以将加热及测温电阻薄膜的引出端引出;在上绝缘层的表面制备传感电极;在传感电极的表面制备纳米氧化锌薄膜,并与传感电极之间形成电连接;处理基底的背面以在下绝缘层下方形成悬空支撑结构。本发明利用纳米结构增强ZnO半导体薄膜原子氧传感灵敏度、高集成度微型传感MEMS器件设计降低系统尺寸及功耗等有益方案的结合,可实现空间原子氧密度的在轨连续监测。

    一种模拟火星表面风沙环境对材料性能影响的试验方法

    公开(公告)号:CN116052812A

    公开(公告)日:2023-05-02

    申请号:CN202211721749.6

    申请日:2022-12-30

    Abstract: 本发明公开了一种模拟火星表面风沙环境对材料性能影响的试验方法。可以在地面环境评价材料在火星风沙环境下性能。首先利用风沙运动模拟计算程序在地球条件下对近地表沙粒跃移进行模拟。然后利用风洞试验,同样的输入量,利用风洞输出量修正所述风沙运动模拟计算程序,得到与风洞匹配的程序。再次设定与风洞匹配的程序的试验环境为火星条件,根据火星条件下的沙粒运动,设定程序输入量,获得火星条件下的程序输出量;进行风洞试验,调整风洞试验的输入参数,实时测量指定区域对应风洞输出量,得到使得风洞输出量与的火星条件下的程序输出量一致的风洞试验的输入参数范围,根据该范围设定吹沙时间,在风洞中对样本材料进行持续吹沙实验。

    一种高致密涂层的复合制备方法

    公开(公告)号:CN112725765A

    公开(公告)日:2021-04-30

    申请号:CN202011602697.1

    申请日:2020-12-29

    Abstract: 本发明公开了一种高致密涂层的复合制备方法,采用原子层沉积和化学气相沉积交替制备的方式完成高致密涂层的制备,本发明利用原子层沉积涂层的高致密性,实现对化学气相沉积涂层中裂纹、微孔等缺陷的阻隔,防止各类缺陷的遗传和发展,使涂层具有很好的阻隔性能,同时,克服了原子层沉积效率低的缺点。该方法可用于对涂层致密性具有高要求且涂层厚度较大的涂层制备。解决目前单纯采用化学气相沉积技术制备的高致密涂层因缺陷导致失效的难题。

    一种480~580nm透过可见光滤光片及制备方法

    公开(公告)号:CN111061001A

    公开(公告)日:2020-04-24

    申请号:CN201911368774.9

    申请日:2019-12-26

    Abstract: 本发明公开了一种480~580nm透过可见光滤光片及制备方法,属于光学薄膜领域。所述滤光片包括K9玻璃基底、长波通膜系和短波通膜系;所述长波通膜系和短波通膜系分别设置在K9玻璃基底相背对的两面。所述方法步骤如下:(1)将基底装入真空室中,抽真空;(2)将基底加热;(3)用离子束对基底轰击清洗;(4)分别在基底的两面沉积长波通膜系和短波通膜系;(5)冷却至室温,即得到所述的滤光片。所述滤光片在480~580nm谱段具有高透过率,同时在340~450nm和610~1050nm谱段宽截止,可大大改进该谱段滤光片的通带以及截止带的特性,满足近日观测探测系统的使用要求。

    一种性能稳定的电致变色薄膜及其制备方法

    公开(公告)号:CN108037628A

    公开(公告)日:2018-05-15

    申请号:CN201711414721.7

    申请日:2017-12-25

    Abstract: 本发明属于表面工程技术领域,具体涉及一种性能稳定的电致变色薄膜及其制备方法。一种性能稳定的电致变色薄膜,所述薄膜的膜系结构由下到上依次包括基底、导电电极、离子储存层、过渡层、电解质层、过渡层、电致变色层和透明导电层,膜系的截面为透明保护层。本发明所述的一种性能稳定的电致变色薄膜,通过在电致变色薄膜膜系的截面沉积保护层阻隔界面与环境,电致变色薄膜在地面环境和空间环境中变色性能稳定,不会发生性能退化,具有良好的循环稳定性和环境稳定性。所述电致变色薄膜通过在着色层与电解质层中加入过渡层,一方面作为电子的阻挡层减少漏电流,提高着色记忆效果,另一方面降低电致变色需要的电压值,提高循环稳定性。

    一种导电高透光柔性薄膜窗口材料

    公开(公告)号:CN106868464A

    公开(公告)日:2017-06-20

    申请号:CN201710003740.4

    申请日:2017-01-04

    Abstract: 本发明公开一种导电高透光柔性薄膜窗口材料,该窗口材料包括透明F46薄膜基底,以及采用离子束辅反应磁控溅射法镀制在透明F46薄膜基底上的氧化铟锡层。本发明的导电高透光柔性薄膜材料可作为航天器或者外星球表面着陆器的窗口材料,在可见光和近红外波段(波长200nm‑2500nm)具有较高的透过率(85%以上),同时具有较好的空间环境适应性,能耐受极端温度和宇宙射线辐照,而重量只有石英玻璃的1%。该材料还具有比石英玻璃更强的抗冲击性能,能经受在外星球表面着陆瞬间的巨大冲击力,更适合作为着陆器的窗口材料。

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