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公开(公告)号：CN118428189B
公开(公告)日：2024-11-22
申请号：CN202410644780.7
申请日：2024-05-23
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开一种干法刻蚀表面微观形貌演化理论模拟方法、介质及产品，属于微纳加工领域，方法包括：首先，初始化晶格网络，统计所有晶格单元上可能发生的沉积、扩散和脱附等动理学事件，计算其发生概率，生成事件列表和事件概率列表；然后，根据事件发生概率的大小，采用蒙特卡洛方法从事件列表中随机选择一个事件来执行；如果选择事件为沉积事件，则在落点选择时引入阴影效应，通过对沉积粒子进行运动轨迹计算来确定其在刻蚀表面的落点。最后，执行所选择的动理学事件，更新刻蚀形貌、事件列表和事件概率列表，进行下一个模拟循环，直至达到所需的模拟时间和步数。本发明提供一种综合覆盖两种作用机制的理论模拟方法，提高模拟方法的准确性。
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公开(公告)号：CN115524042B
公开(公告)日：2024-07-09
申请号：CN202211240613.3
申请日：2022-10-11
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01L5/00
Abstract: 本发明公开一种光机模块手操箱，涉及光机模块安装技术领域，包括箱体，所述箱体上开设有用于与光机组件对接的连接口，所述箱体内设置有推送单元，所述推送单元上能够安装光机模块，且所述推送单元连接有驱动机构，所述驱动机构能够驱动所述推送单元使所述推送单元上的光机模块穿过所述连接口；所述连接口处设置有密封闸板，当所述箱体与所述光机组件对接时，所述密封闸板能够打开，以使所述光机模块能够穿过所述连接口，当所述箱体与所述光机组件分离时，所述密封闸板能够封闭所述连接口；所述箱体上设置有用于供人手操作的手操作口，所述手操作口上设置有密封组件。本发明能够实现光机模块在洁净环境下的各种安装姿态的集成安装。
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公开(公告)号：CN117930501A
公开(公告)日：2024-04-26
申请号：CN202410269186.4
申请日：2024-03-08
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明属于光学元件技术领域，具体涉及一种涉氚光学元件干法无损去污除膜方法。本发明首先根据元件表面膜层和基底的折射率等光学特征参数，模拟计算元件透射率/反射率与膜层厚度间的函数关系曲线；接着，利用分光光度计光路对光学元件透射率/反射率进行在线监测，并依据模拟计算得到的透射率/反射率与膜层厚度关系曲线，实时计算监测剩余膜层厚度；采用反应离子束刻蚀的方法对光学元件进行去污和除膜处理，当在线监测显示膜层已被完全去除时，停止反应离子束刻蚀；最后，对元件表面的氚污染含量进行测量确认。本发明提供的方法绿色环保无氚化水产生，不破坏元件基底，可同步实现元件的去污和除膜两个目的。
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公开(公告)号：CN117817699A
公开(公告)日：2024-04-05
申请号：CN202410072146.0
申请日：2024-01-18
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种工件转移工装，涉及工件转移设备技术领域，包括连接机构、第一驱动机构、第二驱动机构、第三驱动机构、第四驱动机构及第五驱动机构；连接机构能够拆卸连接于工件；第一驱动机构驱动连接机构相对于管道偏转；第二驱动机构驱动第一驱动机构在管道外侧沿远离或靠近管道外表面的方向上直线移动；第三驱动机构驱动第四驱动机构和第二驱动机构在管道外侧沿平行于管道轴向的方向上直线移动；第四驱动机构驱动第二驱动机构在管道外侧沿远离或靠近管道外表面的方向上偏转；第五驱动机构驱动第三驱动机构在管道外侧沿垂直于管道外表面的一轴线旋转。本发明提供的工件转移工装，便于对复杂转移路径的工件进行转移，提升工作效率。
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公开(公告)号：CN115657330A
公开(公告)日：2023-01-31
申请号：CN202211379235.7
申请日：2022-11-04
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种用于阵列激光同轴调试方法，其过程为：在阵列激光输出装置前方设置主自准直仪，该主自准直仪位于设计的激光合束输出方向上，调节以使该主自准直仪的光轴与阵列激光输出装置的第一台激光器出射光束平行；接着在阵列激光输出装置与主自准直仪之间设置反射镜组，调节两块反射镜以使其相互平行且二者间距为设定值；在反射镜组与主自准直仪之间设置路线观测组件和功率检测组件；首先开启第一台激光器，调节反射镜组以使出射光束与主自准直仪的光轴同轴；然后逐个开启其余激光器，先调节其位置使其光束与第一台激光器光束空间同轴，再调节使光束相干，依次完成合束。本方法能够精确调整各个装置的位置关系，实现高精度合束。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113021223B
公开(公告)日：2022-03-01
申请号：CN202110332917.1
申请日：2021-03-29
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: B25B11/00
Abstract: 本发明涉及一种用于大口径平面反射镜的周圈少点夹持框及夹持方法，属于精密光机技术领域，夹持框包括框体、定位元件、压框和夹持元件，框体用于安装和夹持反射镜，定位元件的末端与反射镜相抵以定位反射镜，压框用于限制反射镜自框体内脱出，通过改变夹持元件与反射镜之间的间距，对反射镜的侧面及正面进行夹持，本发明借助夹持元件和定位元件，对反射镜的正面和侧面分别进行夹持，采用侧面中心线点夹持方式，降低夹持力对反射镜面形附加畸变的影响，从受力原理上保证夹持对反射镜面形的低应力性，结构可靠，夹持便捷，能够满足反射镜夹持附加面形畸变和夹持稳定性要求，有利于工程的批量推广。
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公开(公告)号：CN113021223A
公开(公告)日：2021-06-25
申请号：CN202110332917.1
申请日：2021-03-29
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: B25B11/00
Abstract: 本发明涉及一种用于大口径平面反射镜的周圈少点夹持框及夹持方法，属于精密光机技术领域，夹持框包括框体、定位元件、压框和夹持元件，框体用于安装和夹持反射镜，定位元件的末端与反射镜相抵以定位反射镜，压框用于限制反射镜自框体内脱出，通过改变夹持元件与反射镜之间的间距，对反射镜的侧面及正面进行夹持，本发明借助夹持元件和定位元件，对反射镜的正面和侧面分别进行夹持，采用侧面中心线点夹持方式，降低夹持力对反射镜面形附加畸变的影响，从受力原理上保证夹持对反射镜面形的低应力性，结构可靠，夹持便捷，能够满足反射镜夹持附加面形畸变和夹持稳定性要求，有利于工程的批量推广。
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公开(公告)号：CN106584464B
公开(公告)日：2019-11-12
申请号：CN201611268341.2
申请日：2016-12-31
Applicant: 重庆大学 , 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: B25J9/16
Abstract: 一种捕获轨迹实验中解耦机构的飞行器模型传动链误差补偿方法，其包括步骤，进行机构运动学正解分析确定该解耦机构的末端位姿与电机转角的理论关系矩阵；利用便携式测量臂确定该解耦机构的实际关节参数并与理论值比较得到各自由度关节参数误差；建立期望末端位姿与实际传动链位姿误差对应关系表；建立传动链位姿误差对应的电机角度补偿表；按给定预期位姿通过查阅期望末端位姿与实际传动链位姿误差关系表找出位姿误差，进而查阅传动链位姿误差对应的电机角度补偿表找出电机角度补偿量，调整电机输入角度达到误差补偿的目的，以确保该解耦机构在参与捕获轨迹实验中的精度，即，确保该六自由度机构在参与捕获轨迹实验中的精度，能够准确地补偿分离体机构在各自由度传动部分的误差。
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公开(公告)号：CN106772888A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201611268329.1
申请日：2016-12-31
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 , 重庆大学
IPC: G02B7/00
CPC classification number: G02B7/00
Abstract: 一种五自由度自适应位姿调整平台，其特征在于，该五自由度自适应位姿调整平台包括一个水平支撑平台、一个三自由度自适应机构、一个绕X轴转动自适应机构、一个绕Y轴转动自适应机构以及一个装载机构，该三自由度自适应机构设置于该水平支撑平台，该绕X轴转动自适应机构设置于该三自由度自适应机构，该绕Y轴转动自适应机构设置于该绕X轴转动自适应机构，该装载机构设置于该绕Y轴转动自适应机构，并且该水平支撑平台、该三自由度自适应机构、该绕X轴转动自适应机构、该绕Y轴转动自适应机构和该装载机构自下而上地依次串联，以形成该五自由度位姿调整平台。
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