公开(公告)号：CN110216548A

公开(公告)日：2019-09-10

申请号：CN201910444411.2

申请日：2019-05-27

Applicant: 中国兵器科学研究院宁波分院

Inventor： 聂凤明 ,  王大森 ,  张广平 ,  郭海林 ,  裴宁 ,  李晓静 ,  张旭 ,  周静 ,  李维杰

IPC: B24B13/00 ,  B24B13/005 ,  B24B1/00 ,  B24B41/00

Abstract: 一种用于离子束加工的多品种大口径光学元件复合装置，包括基体、用于输送光学元件的输送夹紧装置以及提升定位装置，其中提升定位装置可上下移动地设置在基体上，基体的底部左右两侧设有滑轨，输送夹紧装置可前后滑动地设置在滑轨上，滑轨上设有用于定位输送夹紧装置的定位块，基体上设有定位套，输送夹紧装置的上端设有对应的定位销，当输送夹紧装置沿滑轨移动到定位块时，输送夹紧装置正好位于提升定位装置的正下方，输送夹紧装置通过提升定位装置的提升向上移动与基体定位。本发明结构简单合理紧凑，不仅可实现多品种光学元件的装夹，且定位精确，同时方便与外部运输装置对接。

公开(公告)号：CN109605168A

公开(公告)日：2019-04-12

申请号：CN201811451945.X

申请日：2018-11-30

Applicant: 中国兵器科学研究院宁波分院

Inventor： 裴宁 ,  王大森 ,  聂凤明 ,  张广平 ,  李晓静 ,  郭海林 ,  刘敏

IPC: B24B13/00 ,  B24B13/005 ,  B24B1/04 ,  B24B55/06 ,  B24B49/12

Abstract: 本发明提供一种大直径光学元件的加工系统，包括工作台、设于所述工作台主轴上的光学元件、用于对光学元件进行定位和检测表面粗糙度的定位及检测系统、用于对光学元件进行加工的旋转超声振动系统、控制系统、以及蠕动泵和冷却装置；旋转超声振动系统包括超声波发生器、驱动电机、旋转装置、超声波加工装置；超声波加工装置以一定的静压力压在光学元件上方并能相对于光学元件高速旋转，超声波加工装置和光学元件表面通过蠕动泵缓慢注入清洗液，用以加工过程中的清洗及冷却。相对于现有技术，本发明的加工系统能有效降低光学元件表面粗糙度，提高加工精度及表面光洁度，进而提高产品质量及生产效率。

公开(公告)号：CN107858667A

公开(公告)日：2018-03-30

申请号：CN201711276641.X

申请日：2017-12-06

Applicant: 中国兵器科学研究院宁波分院

Inventor： 李晓静 ,  聂凤明 ,  王大森 ,  张广平 ,  裴宁 ,  张旭 ,  冯时

IPC: C23C16/513 ,  C23C16/27

CPC classification number: C23C16/513 ,  C23C16/276

Abstract: 一种小型椭球式等离子反应腔及其设计方法，包括腔体、设置在腔体内的沉积室以及同轴天线，腔体为下部切边的椭球状金属腔体，椭球状金属腔体的长轴直径Z＝430～440mm，短轴半径R＝160～170mm，沉积室是由沉积基台与石英钟罩组成，其中沉积基台与椭球体短轴平行，密封设置在腔体的下部切边位置，石英钟罩同轴罩盖在沉积基台上方，同轴天线采用圆柱状铜材料，设置于腔体的上端缺口处，等离子反应腔内的微波耦合方式为天线耦合，微波谐振模式为TM033。使用本发明的等离子反应腔的微波等离子体CVD装置与传统的“TM036”式装置有着相同的微波聚焦能力，但体积是传统“TM036”椭球式装置体积的一半，具有结构合理紧凑、成本低、加工难度低的优点，具有较好的应用前景。

公开(公告)号：CN106501279A

公开(公告)日：2017-03-15

申请号：CN201611097780.1

申请日：2016-12-02

Applicant: 中国兵器科学研究院宁波分院

Inventor： 王大森 ,  聂凤明 ,  郭成君 ,  裴宁 ,  张广平 ,  纪淑花 ,  朱鸿磊

IPC: G01N21/95 ,  G01B11/30

CPC classification number: G01N21/95 ,  G01B11/30

Abstract: 本发明涉及一种硬脆光学材料的低亚表面损伤检测方法，该方法通过测试仪器准备、样品表面损伤的检测来获得待测样品的布儒斯特角，并进一步利用该布儒斯特角表征样品的表界面粗糙度。其中，测试仪器包括刻度盘、载物台、激光器、第一偏振片、光强度计及第二偏振片，结构简单、成本低，利用线偏振光准确地测出了入射到样品上的光线的布儒斯特角大小，并以此表征样品的表界面粗糙度，可将测量偏差保持在1/100以内，检测结果准确率高，且检测方法简单、快速，对待检测样品的表面无损伤；同时，本发明的方法还可以用于测量光学元件其他的微表面结构，并能达到纳米量级的表面微结构的检测，为制备出高质量的高损伤阈值薄膜提供了条件。

公开(公告)号：CN105234772A

公开(公告)日：2016-01-13

申请号：CN201510661587.5

申请日：2015-10-14

Applicant: 中国兵器科学研究院宁波分院

Inventor： 王大森 ,  聂凤明 ,  吴庆堂 ,  张广平 ,  郭成君 ,  裴宁 ,  纪淑花 ,  朱鸿磊

IPC: B24B13/00 ,  B24B13/005 ,  B24B41/02

CPC classification number: B24B13/00 ,  B24B13/0031 ,  B24B13/0055 ,  B24B41/02

Abstract: 一种真空室光学元件升降定位装置，其特征在于包括架体、电机、托盘、丝杆及导向机构，架体包括至少两块立板及设于立板上的顶板；电机的动力输出端上连接有一蜗杆，托盘包括至少两个纵梁及设于纵梁之间的横梁，每个纵梁上均设于端面朝上的第一定位球，前述横梁上也设有端面朝上的第二定位球，并且，前述的两个第一定位球和第二定位球处于非直线上并能重复定位光学元件；丝杆竖直地设置于前述托盘的横梁上，上端具有转动配合的旋转螺母，该旋转螺母外壁具有与前述蜗杆转动配合的蜗齿。与现有技术相比，本发明的优点在于：整体结构简单、使用方便，控制精确并容易调整提升距离；具有精确的三点定位机构使得重复定位误差较小。

公开(公告)号：CN104624854A

公开(公告)日：2015-05-20

申请号：CN201410835718.2

申请日：2014-12-29

Applicant: 中国兵器科学研究院宁波分院

Inventor： 聂凤明 ,  王大森 ,  吴庆堂 ,  张广平 ,  纪淑花 ,  李雨鹏 ,  裴宁 ,  郭成君

IPC: B21D53/84 ,  B21D43/00 ,  B21D28/02

CPC classification number: B21D53/84 ,  B21D43/003

Abstract: 一种用于高强韧钢连杆盖与连杆体脆化胀断夹紧装置，其特征在于包括底板、定位套、定位销、定胀套、定夹头、滑台、动胀套、胀杆、动夹头及复位机构，定位套纵向设置于前述的底板的上端面；定位销设于前述定位套上并具有供连杆的小头套设的外围面；滑台能水平移动地设于前述底板上；动胀套内侧具有第一楔面并设于前述的滑台上，该动胀套与前述的定胀套配合组成一胀套合件，该胀套合件纵向中空并具有供定位连杆的大头套设的外围面；胀杆纵向设于前述胀套合件内并具有与前述动胀套第一楔面配合的第二楔面。与现有技术相比，本发明的优点在于：同时整个夹紧装置结构简单，容易制造，成本较低。

公开(公告)号：CN208759156U

公开(公告)日：2019-04-19

申请号：CN201821236712.3

申请日：2018-08-02

Applicant: 中国兵器科学研究院宁波分院

Inventor： 李晓静 ,  王大森 ,  聂凤明 ,  张旭 ,  冯时 ,  张广平 ,  裴宁 ,  郭海林

IPC: B24B1/00 ,  B24B13/005

Abstract: 本实用新型涉及一种离子束超精密加工光学元件的夹具，包括装卡平台，夹持光学元件的夹持组件，和能将夹持组件固定在装卡平台上的锁紧机构，所述装卡平台中心设有中心孔，所述装卡平台上径向设置有至少3个安装槽，所述夹持组件具有至少3个，每个夹持组件均能在对应的所述安装槽内径向移动、且能在所述锁紧机构的作用下，使得夹持组件与安装槽相紧固或相松开，其特征在于：每个所述夹持组件侧壁均设有指示标记，所述装卡平台靠近每个安装槽的槽口处径向设有与指示标记配合的刻度线。通过设置指示标记和刻度线，夹装时，将夹持组件移动到指示标记与相应的刻度线对齐，从而将光学元件快速、准确地进行夹装，具有结构简单、操作方便的优点。