公开(公告)号：CN102246286A

公开(公告)日：2011-11-16

申请号：CN200980149849.2

申请日：2009-12-16

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 广木勤

IPC: H01L21/677 ,  B65G49/07

CPC classification number: H01L21/67742 ,  H01L21/67196

Abstract: 在集束型构架中在不将平台的纵向空间相下方延伸的状态下使运送能力提高。在平台(PF)内，第一运送机器人(16L)包括：运送主体(48L)，能够在左侧导轨(46L)上滑动移动；运送底座(50L)，能够在偏移方向(X方向)上滑动移动；以及滑动型运送臂(52L)，能够在水平面内旋转移动，并且能够在与旋转圆的半径平行的方向上直线移动，并能够支持一张半导体晶片(W)。第二运送机器人(16R)除各个部的运动或移动的方向与第一运送机器人为(16L)左右对称以外，具有与其相同的结构以及功能。

公开(公告)号：CN100505202C

公开(公告)日：2009-06-24

申请号：CN200680000424.1

申请日：2006-06-20

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 町山弥 ,  石泽繁 ,  小泉浩 ,  广木勤 ,  近藤圭祐

IPC: H01L21/677 ,  B65G49/07

CPC classification number: H01L21/67745 ,  H01L21/67276 ,  H01L21/67742

Abstract: 处理系统(100)包括：搬送室(150)、与搬送室相连的多个室(140、160)、附设在搬送室内的搬送装置(180)、控制搬送装置的控制部(200)。搬送装置包括能够滑动动作的基台(182)、能够旋转动作的搬送臂(185A、185B)。控制部具备存储部(290)和动作控制器(280)。存储部存储表示滑动动作以及旋转动作的复合动作的多个动作类型的类型模式信息(292)、以及与动作类型分别对应的时间动作轨道的轨道模式信息(294)。动作控制器从类型模式信息以及轨道模式信息中检索必要的信息，并根据这些信息来控制搬送装置的动作。

公开(公告)号：CN100437900C

公开(公告)日：2008-11-26

申请号：CN200610066570.6

申请日：2006-04-03

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 广木勤

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/20 ,  H01L21/203 ,  H01L21/205 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/677 ,  C23C16/44 ,  C23C14/22 ,  C23F4/00 ,  F16K51/02

CPC classification number: F16K31/5282 ,  F16K51/02

Abstract: 本发明提供一种简化构造本身而能够实现小型化和低成本化，且可维持高动作可靠性的闸阀装置。在安装到用于对被处理体(W)实施规定处理的处理室(4A～4D)的搬出搬入口(37)上，使被处理体从真空状态的搬运室(6)侧通过的同时对搬出搬入口进行开闭的闸阀装置(12A～12D)中，包括：能够以开闭搬出搬入口的方式而安装的阀体(52)；在阀体的两端部沿着阀体相对搬出搬入口的推压方向设置的阀体支撑杆(54)；以及凸轮机构(56)，其连接在阀体支撑杆上，用于按时间序列将向着与阀体支撑杆垂直相交方向的驱动力转换成阀体支撑杆向阀体推压方向的推进力和向着旋转阀体方向的旋转力。

公开(公告)号：CN100374761C

公开(公告)日：2008-03-12

申请号：CN200380106579.X

申请日：2003-12-16

Applicant: 东京毅力科创株式会社 ,  日本发条株式会社

Inventor： 木村彻 ,  成岛大 ,  广木勤

IPC: F16J13/18

Abstract: 本发明提供一种盖体装置，用于开闭形成在本体(8)上的开口部(12)，包括具有作用面和其相反侧的背面的盖体(14)。盖体(14)通过摇臂(24)可开闭地安装在本体(8)上。摇臂(24)具有在开口部(12)的周围，将摇臂(24)可旋转地支持在本体(8)上的第1轴(26)、和将盖体(14)借助背面可摇动地支持在摇臂(24)上的第2轴(34)。第2轴(34)配置在盖体(14)的重心(C1)和第1轴(26)之间。在第1轴及第2轴(26、34)之间的限制位置，在摇臂(24)和盖体(14)的背面之间配置限制部件(50)。限制部件(50)控制限制位置上的摇臂(24)和盖体(14)背面间的距离，以使盖体(14)的作用面与开口部(12)平行。

公开(公告)号：CN100342519C

公开(公告)日：2007-10-10

申请号：CN200480001008.4

申请日：2004-07-09

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 佐伯弘明 ,  石泽繁 ,  新藤健弘 ,  广木勤 ,  町山弥

IPC: H01L21/68 ,  B25J9/06 ,  B25J13/08 ,  B65G49/07

Abstract: 被处理基板(W)的搬送装置(20)包含可旋转的旋转基台(24)，在旋转基台上安装可伸屈的第1和第2臂机构(26，28)，第1和第2臂机构各自具有从旋转基台侧顺序地相互可旋转连接的基端臂(26A，28A)、中间臂(26B，28B)和鸟嘴部(26C，28C)，鸟嘴部按照支持被处理基板的方式设置，第1和第2臂机构的基端臂上连接连杆机构(30)，从而驱动第1和第2臂机构，为了旋转驱动旋转基台，配设第1驱动源(32)，为了旋转连杆机构以便使第1和第2臂机构伸屈，配设第2驱动源(34)。

公开(公告)号：CN1848377A

公开(公告)日：2006-10-18

申请号：CN200610066570.6

申请日：2006-04-03

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 广木勤

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/20 ,  H01L21/203 ,  H01L21/205 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/677 ,  C23C16/44 ,  C23C14/22 ,  C23F4/00 ,  F16K51/02

CPC classification number: F16K31/5282 ,  F16K51/02

Abstract: 本发明提供一种简化构造本身而能够实现小型化和低成本化，且可维持高动作可靠性的闸阀装置。在安装到用于对被处理体(W)实施规定处理的处理室(4A～4D)的搬出搬入口(37)上，使被处理体从真空状态的搬运室(6)侧通过的同时对搬出搬入口进行开闭的闸阀装置(12A～12D)中，包括：能够以开闭搬出搬入口的方式而安装的阀体(52)；在阀体的两端部沿着阀体相对搬出搬入口的推压方向设置的阀体支撑杆(54)；以及凸轮机构(56)，其连接在阀体支撑杆上，用于按时间序列将向着与阀体支撑杆垂直相交方向的驱动力转换成阀体支撑杆向阀体推压方向的推进力和向着旋转阀体方向的旋转力。

公开(公告)号：CN1790617A

公开(公告)日：2006-06-21

申请号：CN200510134002.0

申请日：2005-12-19

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 广木勤

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/02 ,  H01L21/20 ,  H01L21/203 ,  H01L21/205 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/677 ,  C23C16/44 ,  C23C14/22 ,  C23F4/00 ,  F16K51/02

CPC classification number: H01L21/67126 ,  F16K1/24 ,  F16K51/02

Abstract: 本发明提供一种不向大气开放搬送室也能更换密封部件的门阀装置。在安装于处理腔室(4)的搬入开口、开闭与真空状态的搬送室(6)之间的门阀装置(12)中，包括：可开闭搬入开口而装配的阀体(44)；可装卸地安装于阀体的表面、与搬入开口周围的装配面气密接触的密封部件(66)；以距离该密封部件规定的间隔而包围设置在密封部件的外周的维护用密封部件(68)；维护用开口(72)，在装配阀体时、在密封部件露出状态下，成为由维护用密封部件可气密地密封的大小；可装卸地气密堵塞所述维护用开口的外侧的维护用开闭盖(74)；和能够使阀体在搬入开口与维护用开口之间移动而安装的阀体驱动机构(46)。

公开(公告)号：CN1701432A

公开(公告)日：2005-11-23

申请号：CN200480001008.4

申请日：2004-07-09

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 佐伯弘明 ,  石泽繁 ,  新藤健弘 ,  广木勤 ,  町山弥

IPC: H01L21/68 ,  B25J9/06 ,  B25J13/08 ,  B65G49/07

Abstract: 被处理基板(W)的搬送装置(20)包含可旋转的旋转基台(24)，在旋转基台上安装可伸屈的第1和第2臂机构(26，28)，第1和第2臂机构各自具有从旋转基台侧顺序地相互可旋转连接的基端臂(26A，28A)、中间臂(26B，28B)和鸟嘴部(26C，28C)，鸟嘴部按照支持被处理基板的方式设置，第1和第2臂机构的基端臂上连接连杆机构(30)，从而驱动第1和第2臂机构，为了旋转驱动旋转基台，配设第1驱动源(32)，为了旋转连杆机构以便使第1和第2臂机构伸屈，配设第2驱动源(34)。

公开(公告)号：CN1698179A

公开(公告)日：2005-11-16

申请号：CN200480000201.6

申请日：2004-02-27

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 广木勤

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/68 ,  B01J3/00 ,  B01J3/02 ,  B65G49/00 ,  F16K51/02

CPC classification number: H01L21/67126 ,  F16K3/029 ,  F16K51/02 ,  Y10S414/135 ,  Y10S414/139

Abstract: 半导体处理系统用闸阀(20)包含沿第一方向形成并列的多个通路(22A～22D)的壳体(21)，通路各自具有面对与第一方向正交的第二方向的进出口(23A～23D)，在各进出口配设的阀座(25A～25D)，越靠近第一方向的第二规定侧，越配置在第二方向顺序后退后的位置上。开闭进出口的多个阀板(24A～24D)在第二方向并列配置，阀板通过驱动机构(30A～30D)滑动。

公开(公告)号：CN1639855A

公开(公告)日：2005-07-13

申请号：CN03804584.2

申请日：2003-01-29

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 广木勤 ,  佐伯弘明

IPC: H01L21/68 ,  B65G49/06 ,  B65G49/07

CPC classification number: H01L21/68742 ,  H01L21/68 ,  H01L21/68714 ,  H01L21/6875 ,  Y10S414/139

Abstract: 在半导体处理系统中，支持机构(12A)用于与搬送臂(32)协作来移送被处理基板(W)。支持机构包括分别能升降且相对搬送臂能够接收基板的第一和第二保持部(38A～38C、40A～40C)。第一和第二保持部配置为能够在空间中相互不干扰地在垂直方向相对移动，保持具有实质相同水平坐标位置的基板。支持机构还包括分别升降第一和第二保持部的第一和第二驱动部(46、48)，以及控制第一和第二驱动部的控制部(68)，所述控制部控制第一和第二驱动部，使得利用所述第一和第二保持部来择一地保持基板。