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公开(公告)号:CN109153907A
公开(公告)日:2019-01-04
申请号:CN201680068602.8
申请日:2016-10-17
Applicant: 三星SDI株式会社
IPC: C09K3/14 , H01L21/304 , H01L21/306
Abstract: 本发明涉及一种CMP研浆组成物及使用其研磨有机膜的方法,所述CMP研浆组成物包含:含有含铁组分的氧化剂;具有一个羧基的有机酸;以及水。
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公开(公告)号:CN108138030A
公开(公告)日:2018-06-08
申请号:CN201680057069.5
申请日:2016-09-29
Applicant: 三星SDI株式会社
IPC: C09K3/14 , C09G1/02 , H01L21/306
CPC classification number: C09G1/02 , C09K3/14 , H01L21/306
Abstract: 本发明揭示一种用于有机膜的化学机械研磨浆料组合物及使用其的研磨方法。化学机械研磨浆料组合物包含超纯水、磨料、含四价铈离子的铈盐及氧化剂,其中氧化剂在酸性区中具有1.72电子伏特或高于1.72电子伏特的氧化电位,且化学机械研磨浆料组合物的pH值为1至7。化学机械研磨浆料组合物可在pH值为1或高于1下使四价铈离子(Ce4+)稳定且因此可展现出对有机膜的高研磨速率。因此,可通过使用化学机械研磨浆料组合物的研磨方法来简单地移除有机膜,尤其是通过自对准双重图案化技术而形成的有机膜。
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公开(公告)号:CN106687553A
公开(公告)日:2017-05-17
申请号:CN201580049063.9
申请日:2015-06-10
Applicant: 三星SDI株式会社
IPC: C09K3/14 , H01L21/304
CPC classification number: C09K3/14 , C09G1/02 , C09K3/1472 , H01L21/31058
Abstract: 本发明涉及用于抛光有机膜的用于有机膜的CMP浆料组合物以及使用其的有机膜抛光方法,所述CMP浆料组合物包含:极性溶剂和/或非极性溶剂;金属氧化物研磨剂;氧化剂;和杂环化合物,其中作为杂原子的杂环化合物包含氧(O)原子、硫(S)原子和氮(N)原子中的一种或两种并且具有50‑95原子%的碳含量。
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公开(公告)号:CN105143390A
公开(公告)日:2015-12-09
申请号:CN201480021926.7
申请日:2014-04-17
Applicant: 三星SDI株式会社
IPC: C09K3/14 , H01L21/304
CPC classification number: C09G1/02 , B24B1/00 , B24B37/044 , C09G1/00 , C09G1/04 , C09G1/06 , C09K3/1454 , C09K3/1463 , C09K3/1472 , C09K13/06 , H01L21/30625 , H01L21/31058 , H01L21/3212
Abstract: 本发明涉及一种用于研磨有机膜的有机膜CMP浆料组成物,其包含至少极性溶剂或非极性溶剂以及金属氧化物研磨剂,其中所述组成物为酸性,且所述有机膜具有约50原子%至95原子%的碳含量,且本发明涉及使用其的研磨方法。
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公开(公告)号:CN103843061B
公开(公告)日:2017-09-01
申请号:CN201280048160.2
申请日:2012-07-25
Applicant: 三星电子株式会社
CPC classification number: H03F3/2173 , H03F3/217 , H03M3/366 , H03M3/458
Abstract: 提供了一种音频信号处理设备和方法。所述设备包括稳定性确定器和sigma‑delta调制器。稳定性确定器将输入音频信号的频带划分成一个或更多个子频带,将输入音频信号在子频带中的每个子频带内的电平与子频带的阈值进行比较,并根据比较结果产生稳定性确定信号。sigma‑delta调制器根据稳定性确定信号对输入音频信号进行sigma‑delta调制,并输出调制信号。
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公开(公告)号:CN104349090B
公开(公告)日:2019-07-19
申请号:CN201310482121.X
申请日:2013-10-15
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H04N5/50
Abstract: 提供了调谐音频处理特性的系统及其方法,音频调谐系统包括:接口,被配置用于向具有参考音频处理性能的参考装置提供测试信号,并向需要音频调谐的目标装置提供测试信号;控制器,被配置用于从参考装置和目标装置获取响应于测试信号的音频处理的结果,比较音频处理的结果,并基于比较结果调整目标装置的音频处理特性值以与参考装置的音频处理特性匹配。因此,可以自动调谐目标装置的音频特性以与参考装置匹配。
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公开(公告)号:CN104349090A
公开(公告)日:2015-02-11
申请号:CN201310482121.X
申请日:2013-10-15
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H04N5/50
Abstract: 本发明提供了调谐音频处理特性的系统及其方法,音频调谐系统包括:接口,被配置用于向具有参考音频处理性能的参考装置提供测试信号,并向需要音频调谐的目标装置提供测试信号;控制器,被配置用于从参考装置和目标装置获取响应于测试信号的音频处理的结果,比较音频处理的结果,并基于比较结果调整目标装置的音频处理特性值以与参考装置的音频处理特性匹配。因此,可以自动调谐目标装置的音频特性以与参考装置匹配。
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公开(公告)号:CN100555602C
公开(公告)日:2009-10-28
申请号:CN200310118722.9
申请日:2003-12-02
Applicant: 三星电子株式会社
CPC classification number: G06F17/505 , G06F17/5068
Abstract: 用于生成集成电路连线表操作包括:生成其中具有多个单元的集成电路的第一原理图和生成定义了在集成电路多个单元之间前布局电互连及该前布局互连近似寄生电阻和寄生电容的第二原理图。分别在第一和第二原理图内相应第一和第二端口处组合第一和第二原理图。本操作还包括通过生成一个定义了在集成电路多个单元之间后布局电互连及该后布局互连的近似寄生电阻和寄生电容的原理图电路生成一个集成电路连线表。
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公开(公告)号:CN1505133A
公开(公告)日:2004-06-16
申请号:CN200310118722.9
申请日:2003-12-02
Applicant: 三星电子株式会社
CPC classification number: G06F17/505 , G06F17/5068
Abstract: 用于生成集成电路连线表操作包括:生成其中具有多个单元的集成电路的第一原理图和生成定义了在集成电路多个单元之间前布局电互连及该前布局互连近似寄生电阻和寄生电容的第二原理图。分别在第一和第二原理图内相应第一和第二端口处组合第一和第二原理图。本操作还包括通过生成一个定义了在集成电路多个单元之间后布局电互连及该后布局互连的近似寄生电阻和寄生电容的原理图电路生成一个集成电路连线表。
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公开(公告)号:CN103843061A
公开(公告)日:2014-06-04
申请号:CN201280048160.2
申请日:2012-07-25
Applicant: 三星电子株式会社
CPC classification number: H03F3/2173 , H03F3/217 , H03M3/366 , H03M3/458
Abstract: 提供了一种音频信号处理设备和方法。所述设备包括稳定性确定器和sigma-delta调制器。稳定性确定器将输入音频信号的频带划分成一个或更多个子频带,将输入音频信号在子频带中的每个子频带内的电平与子频带的阈值进行比较,并根据比较结果产生稳定性确定信号。sigma-delta调制器根据稳定性确定信号对输入音频信号进行sigma-delta调制,并输出调制信号。
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