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公开(公告)号：CN218251811U
公开(公告)日：2023-01-10
申请号：CN202222688653.6
申请日：2022-10-12
Applicant: 江苏芯梦半导体设备有限公司
IPC: B08B3/02 , B08B3/08 , B08B13/00 , H01L21/687
Abstract: 本实用新型公开了一种基板支撑装置，包括工作台及旋转台，旋转台能够绕转动中心线相对旋转地设置在工作台上，转动中心线沿上下方向延伸，基板支撑装置还包括导液座，导液座设于旋转台的上方，导液座与工作台相对固定地设置，导液座的周向外表面位于一虚拟圆锥面内，虚拟圆锥面的顶点朝上，虚拟圆锥面的中心线与转动中心线相重合。本实用新型提供的基板支撑装置，基板背面清洗后中心滴落的清洗液能够沿着导液座的周向外表面导流至旋转台上，并在离心力的作用下甩出旋转台，使得旋转台及导液座的表面均能够干燥清洁，从而有助于维持基板清洗效果，并有效避免后续抓取基板的机械手被污染。
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公开(公告)号：CN215433398U
公开(公告)日：2022-01-07
申请号：CN202122157082.9
申请日：2021-09-07
Applicant: 江苏芯梦半导体设备有限公司
IPC: B25B11/00
Abstract: 本实用新型公开了一种夹持力可调的旋转装置，旋转装置包括旋转台、沿旋转台的周向间隔设置的至少三组卡盘销，旋转台能够绕沿上下方向延伸的旋转中心线旋转地设置，每组卡盘销均包括沿旋转中心线的延伸方向自旋转台向上延伸的销杆，以及自销杆的下部沿旋转台的径向向内延伸的导向轴，每组卡盘销均能够沿旋转台的径向相对滑动地设置在旋转台上，旋转装置还包括多组驱动组件，每组卡盘销连接一组的驱动组件，每组驱动组件均包括电驱动装置，电驱动装置固设于旋转台上，电驱动装置与导向轴之间相传动地连接。该夹持力可调的旋转装置，调节方式简单，调节更为灵活、精准，自动化程度高，对夹持力有精准的把控，有助于提高半导体产品良率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN308278000S
公开(公告)日：2023-10-20
申请号：CN202330228317.0
申请日：2023-04-23
Applicant: 江苏芯梦半导体设备有限公司
Abstract: 1.本外观设计产品的名称：化镀机(L型)。
2.本外观设计产品的用途：用于给晶圆做化学镀。
3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。
4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
5.本外观设计产品的底面为使用时不容易看到或看不到的部位，省略仰视图。-
公开(公告)号：CN307624353S
公开(公告)日：2022-10-28
申请号：CN202230635379.9
申请日：2022-09-26
Applicant: 江苏芯梦半导体设备有限公司
Abstract: 1.本外观设计产品的名称：全自动单片清洗机（8腔）。
2.本外观设计产品的用途：用于对晶圆进行清洗。
3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。
4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
5.左视图中“A、B、C、D、E、F、G、H、I”处为透明材质，右视图中“J、K、L、M、N、O、P、Q、R”处为透明材质。-
公开(公告)号：CN308285699S
公开(公告)日：2023-10-24
申请号：CN202330227658.6
申请日：2023-04-23
Applicant: 江苏芯梦半导体设备有限公司
Abstract: 1.本外观设计产品的名称：化镀机（直线型）。
2.本外观设计产品的用途：用于给晶圆做化学镀。
3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。
4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
5.本外观设计产品的底面为使用时不容易看到或看不到的部位，省略仰视图。
6.A部放大图为俯视图所示A部的放大示意图。-
公开(公告)号：CN307741236S
公开(公告)日：2022-12-20
申请号：CN202230605086.6
申请日：2022-09-14
Applicant: 江苏芯梦半导体设备有限公司
Abstract: 1.本外观设计产品的名称：全自动电镀铜设备。
2.本外观设计产品的用途：用于对晶圆自动进行预湿清洗电镀。
3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。
4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。 -
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