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公开(公告)号：CN115370801A
公开(公告)日：2022-11-22
申请号：CN202211308043.7
申请日：2022-10-25
Applicant: 江苏芯梦半导体设备有限公司
Abstract: 本发明提供一种排气装置。该排气装置包括具有排气组件和排气切换机构的气体切换模块，其中，排气组件包括第一通道和第二通道；排气切换机构包括转动地设置在第一通道的开口上的第一叶片、转动地设置在第二通道的开口上的第二叶片，及具有第一配合件、第二配合件和用于驱动第一配合件和第二配合件同步运动的第一驱动件的第一控制组件。本发明的排气装置通过第一驱动件驱动第一配合件和第二配合件同步运动，使第一叶片和第二叶片同时转动，从而使第一叶片和第二叶片中的一者盖设到相应通道的开口上以使相应通道的开口关闭，另一者对应的通道的开口打开，从而实现仅需要一个驱动件即可实现两种气体的排气切换，以及两种气体的分别排放。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115370801B
公开(公告)日：2023-03-24
申请号：CN202211308043.7
申请日：2022-10-25
Applicant: 江苏芯梦半导体设备有限公司
Abstract: 本发明提供一种排气装置。该排气装置包括具有排气组件和排气切换机构的气体切换模块，其中，排气组件包括第一通道和第二通道；排气切换机构包括转动地设置在第一通道的开口上的第一叶片、转动地设置在第二通道的开口上的第二叶片，及具有第一配合件、第二配合件和用于驱动第一配合件和第二配合件同步运动的第一驱动件的第一控制组件。本发明的排气装置通过第一驱动件驱动第一配合件和第二配合件同步运动，使第一叶片和第二叶片同时转动，从而使第一叶片和第二叶片中的一者盖设到相应通道的开口上以使相应通道的开口关闭，另一者对应的通道的开口打开，从而实现仅需要一个驱动件即可实现两种气体的排气切换，以及两种气体的分别排放。
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公开(公告)号：CN220604639U
公开(公告)日：2024-03-15
申请号：CN202322291847.7
申请日：2023-08-25
Applicant: 江苏芯梦半导体设备有限公司
IPC: H01L21/677 , H01L21/67
Abstract: 本申请涉及一种半导体工件上料机构，属于半导体制造领域。包括：顶升轴组件，顶升轴组件穿过浸泡半导体工件盒的液体槽底壁，顶升轴组件被配置为通过上下运动，顶升半导体工件盒上下运动；丝杆组件，与顶升轴组件连接，丝杆组件被配置为将旋转运动转换为顶升轴组件的上下运动；动力部件，配置为驱动丝杆组件做旋转运动；其中，顶升轴组件的中心线与半导体工件盒的堆放的中心线重合或趋于重合。本申请的半导体工件上料机构，能解决容易损伤，运动不平稳的问题。
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公开(公告)号：CN307624353S
公开(公告)日：2022-10-28
申请号：CN202230635379.9
申请日：2022-09-26
Applicant: 江苏芯梦半导体设备有限公司
Abstract: 1.本外观设计产品的名称：全自动单片清洗机（8腔）。
2.本外观设计产品的用途：用于对晶圆进行清洗。
3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。
4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
5.左视图中“A、B、C、D、E、F、G、H、I”处为透明材质，右视图中“J、K、L、M、N、O、P、Q、R”处为透明材质。 -
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