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公开(公告)号：CN112260659A
公开(公告)日：2021-01-22
申请号：CN202011152721.6
申请日：2020-10-26
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明涉及体声波谐振器技术，具体涉及一种高Q值薄膜体声波谐振器及其制备方法，该薄膜体声波谐振器包括衬底，还包括位于衬底上部的多个支撑柱，位于多个支撑柱上部的压电叠层区域，该压电叠层区域通过多个支撑柱支撑于空气中，压电叠层区域包括上电极、压电层和底电极。该谐振器通过支撑柱使谐振器的工作区域处于开放的空气域中，减少了谐振区域与衬底的接触面积，使谐振器的边界变形更加自由，通过支撑柱可以使顶电极和底电极边界处于开放的空气域中更好地反射声波，有效减少声波的泄露，提高谐振器的Q值。
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公开(公告)号：CN109541259B
公开(公告)日：2021-01-15
申请号：CN201811478990.4
申请日：2018-12-05
Applicant: 武汉大学
IPC: G01P15/093
Abstract: 本发明公开了一种高灵敏度的光学式加速度传感器及其制备方法，光学式加速度传感器从下往上依次包括衬底、振动顶层、振动块和光学敏感元件，本发明首先在衬底上刻蚀出空腔，然后在空腔内填充牺牲层，之后在衬底上沉积振动顶层，在振动顶层上沉积振动块，然后在振动顶层上刻蚀释放孔，通过释放孔将牺牲层腐蚀掉形成振动空腔。本发明灵敏度高，光在光导中的能量损耗较低，该传感器具有较高的品质因子。本发明的加速度传感器还具有能与CMOS工艺兼容、体积小等优点。
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公开(公告)号：CN112134540A
公开(公告)日：2020-12-25
申请号：CN202010977498.2
申请日：2020-09-17
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明涉及一种复合电极的体声波谐振器及其制备方法，包括带有空腔的衬底、复合下电极、压电层、上电极。其中，压电层在复合下电极和上电极之间。复合下电极含有第一下电极、种子层、温度补偿层和第二下电极。第一下电极和第二下电极通过刻蚀通孔后相连接；通孔贯穿温度补偿层和种子层。复合电极在一方面可以提高压电薄膜的质量，降低谐振器的温度频率系数；另一方面，消除了由于温度补偿层导致的寄生电容效应，提高了谐振器的耦合系数。
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公开(公告)号：CN109474252B
公开(公告)日：2020-12-01
申请号：CN201811271504.1
申请日：2018-10-29
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明提供了一种可提高Q值的空腔薄膜体声波谐振器及其制备方法。本发明提供的可提高Q值的空腔薄膜体声波谐振器，其特征在于，包括：衬底，中部具有向上开口的凹槽；SiC/Diamond薄膜层，形成在衬底上，中部设有与凹槽对应的贯穿口；以及压电震荡堆部，形成在SiC/Diamond薄膜层上，并且位于贯穿口的正上方，从下至上依次包括：底电极、压电层、和顶电极。本发明利用SiC/Diamond薄膜层声波传播速率快、硬度高的特点，可以很好的抑制压电薄膜中产生的横向振动模式的声波，并且可以减小软质衬底引入的机械阻尼，减少声波能量损耗，降低薄膜体声波谐振器的插入损耗，获得高的Q值和机电耦合系数。
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公开(公告)号：CN110231263B
公开(公告)日：2020-10-30
申请号：CN201910433998.7
申请日：2019-05-23
Applicant: 武汉大学
IPC: G01N15/06
Abstract: 本发明公开了一种具有自清洁功能的PM2.5质量传感器及其制备方法，所述的PM2.5质量传感器包括声表面波器件和纳米柱阵列；声表面波器件由一对低谐振频率叉指电极、一对高谐振频率叉指电极、压电薄膜、基底组成；纳米柱阵列生长在压电薄膜上，位于两对叉指电极的对称中心区域。本发明的具有自清洁功能的PM2.5质量传感器通过纳米柱阵列吸附环境空气中的PM2.5颗粒，使低谐振频率叉指电极输出的电信号频率发生漂移来监测PM2.5的浓度；通过高谐振频率叉指电极来实现传感器的自清洁功能。本发明操作简单，能够方便、精确、经济的实现各种环境下PM2.5颗粒浓度的监测。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111596262A
公开(公告)日：2020-08-28
申请号：CN202010376124.5
申请日：2020-05-07
Applicant: 武汉大学
Abstract: 公开了一种矢量水听器及基于该矢量水听器的多目标方位估计方法。所述矢量水听器包括：声学传感器，用于接收目标信号，所述声学传感器包括多个阵元，所述阵元包括若干个传感器单元；目标方位估计模块，用于将采集到的目标信号进行离散化处理，并建立混合矩阵，建立所述声学传感器面阵中心声强方程，建立环境噪声矩阵，并根据环境噪声矩阵和混合矩阵得到目标信号矩阵，将得到的目标信号矩阵与所述声学传感器面阵中心声强方程进行比较归一化处理，获得目标声压信号的强度矢量信息，从而完成目标信号的方位估计。本公开的矢量水听器测试方法简单、成本低、可实现批量化生产。
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公开(公告)号：CN111206227A
公开(公告)日：2020-05-29
申请号：CN202010128343.1
申请日：2020-02-28
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明属于薄膜生长技术领域，公开了一种热蒸发物理气相沉积系统及其使用方法，系统包括：真空组件、在线监测组件；真空组件包括真空镀膜腔，真空镀膜腔中设置有坩埚；在线监测组件包括质谱仪、纳米压痕仪；质谱仪用于对蒸发的气体成分进行实时监测；纳米压痕仪用于对镀膜与衬底之间的粘合强度进行实时监测。本发明具有多维度质量检测功能，可以显著提高PVD中生长样品的良品率，节约成本。
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公开(公告)号：CN111054615A
公开(公告)日：2020-04-24
申请号：CN201911156019.4
申请日：2019-11-22
Applicant: 武汉大学
IPC: B06B1/06
Abstract: 本发明涉及MEMS超声换能器技术，具体涉及一种具有喇叭结构的MEMS压电超声换能器，包括MEMS压电超声换能器和喇叭形状的硅结构；喇叭形状的硅结构键合于MEMS压电超声换能器上表面或下表面，喇叭形状的硅结构内的腔体至少形成1个声波导管，每个声波导管包括至少2级阶梯，每级阶梯包括一阶梯声管，且每一阶梯声管截面积逐渐增大形成喇叭形状腔体。喇叭形状腔体不仅可将MEMS压电超声换能器产生的声波放大，还能将MEMS压电超声换能器背部产生的声波传导至MEMS压电超声换能器顶部，与MEMS压电超声换能器顶部产生的声波叠加传输，进一步增加超声换能器产生的声波强度。该装置能增强MEMS超声换能器产生声波的强度，提升MEMS压电超声换能器能量转换效率。
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公开(公告)号：CN111050256A
公开(公告)日：2020-04-21
申请号：CN201911299953.1
申请日：2019-12-17
Applicant: 武汉大学
IPC: H04R17/02
Abstract: 本发明公开了一种小型化的高灵敏度压电式麦克风，属MEMS压电器件领域。本发明的压电式麦克风包括具有背腔的衬底和固定于衬底上的压电悬臂梁，压电悬臂梁包括与衬底固定连接的固定端和与固定端连接并悬置于背腔上方的自由端，自由端设有降低压电悬臂梁的谐振频率的质量块，通过调整质量块的参数使器件的谐振频率降低到合适的范围。本发明通过在悬臂梁自由端设置质量块，可有效降低器件谐振频率，提高输出电压，在减小麦克风面积时保持麦克风的灵敏度。同时通过连接悬臂梁和固定框架的压电叠层，将电信号在固定框架上引出；进一步地，阵列多个麦克风，进行串联连接可显著增强输出电信号，进行并联连接可减小麦克风元器件的输出阻抗。
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公开(公告)号：CN110880924A
公开(公告)日：2020-03-13
申请号：CN201911265024.9
申请日：2019-12-11
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明涉及谐振器技术，具体涉及一种可调谐的薄膜体声波谐振器，包括位于中间区域的谐振器，以及谐振器周围的叉指结构。谐振器周围的叉指结构设置于谐振器对应的一条边或多条边上；叉指结构与谐振器对应边垂直，或与谐振器对应边成一定角度。谐振器周围的叉指结构的末端为直线，或弧线，或直线和弧线的混合结构；叉指结构的宽度、长度、数量、间距可调。该谐振器能够在不改变各层材料厚度的条件下调节薄膜体声波谐振器的谐振频率，实现在一片晶圆上制造不同工作频率的谐振器。
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