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公开(公告)号:CN1573301A
公开(公告)日:2005-02-02
申请号:CN200410045806.9
申请日:2004-05-20
Applicant: 株式会社日立制作所 , 日立汽车技术有限公司
IPC: G01F1/68
CPC classification number: G01F7/00 , G01F1/684 , G01F1/692 , G01F1/6986
Abstract: 一种热式空气流量计,在平板状基板(硅基板)(1)上形成的矩形状空间的热绝缘区域(2)的绝缘膜(6)上形成发热电阻体(4),在发热电阻体(4)的上游侧与下游侧形成两个测温电阻体。矩形状空间的热绝缘区域(2)具有与空气流轴线平行的边的长度比与空气流轴线垂直的边的长度要长的结构。利用本发明,提供能够提高空气流量测定的灵敏度、减低发热体的消耗电力、同时扩大测定范围的热式空气流量计。
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公开(公告)号:CN1050198C
公开(公告)日:2000-03-08
申请号:CN95115320.X
申请日:1995-08-02
Applicant: 株式会社日立制作所 , 日立汽车工程株式会社
Abstract: 一种内燃机的吸入空气流量计量装置,具有热线式空气流量计、修正热线式空气流量计的应答延迟的装置、检出吸入空气流动方向的装置,由修正应答延迟的装置,和检出吸入空气流动方向的装置检出逆流空气流量,从热式空气流量计的输出和逆流空气流量算出真实的吸入空气流量。
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公开(公告)号:CN101493349A
公开(公告)日:2009-07-29
申请号:CN200910007991.5
申请日:2007-01-16
Applicant: 株式会社日立制作所
CPC classification number: G01F1/692 , G01F1/684 , G01F1/6845 , G01F1/698
Abstract: 一种在热式流量计,减小温度检测用的发热电阻体的劣化的同时,减小来自安装构件的应力影响,从而能够长时间维持测定精度。在隔膜(4)上配置电阻体(6)和发热电阻体(6)周边的发热电阻体(7),并且在偏离隔膜(4)的位置配置感温电阻体(8、9、10),其中由发热电阻体(7)和感温电阻体(8、9、10)形成桥电路,来进行发热电阻体(7)和发热电阻体(6)的温度控制。另外,在隔膜(4)与电极(15a~15f)之间形成背面沟(17a、17b)。
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公开(公告)号:CN100414263C
公开(公告)日:2008-08-27
申请号:CN200480016658.6
申请日:2004-03-05
Applicant: 株式会社日立制作所 , 日立汽车技术有限公司
CPC classification number: G01F1/6965 , G01F1/6842 , G01F1/696
Abstract: 一种提高流量测量精度优异的加热式空气流量计。空气流量计的测量元件由在第1基板上形成发热电阻和温度补偿电阻构成。在支撑流量测量元件的壳体内部容纳具有空气流量计(5)的驱动电路和信号处理装置的第2基板。流量测量元件,配置在空气通路上。进行空气流量计中的2点温度测量的传感器中,第1温度传感器,设置在流量测量元件的第1基板上,第2温度传感器设置在壳体内部的第2基板上。信号处理装置,根据流量测量元件的输出信号和第1、第2温度传感器的输出信号计算空气流量,空气温度,空气壁面温度。
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公开(公告)号:CN101109653A
公开(公告)日:2008-01-23
申请号:CN200710137064.6
申请日:2007-07-19
Applicant: 株式会社日立制作所
IPC: G01F1/69
CPC classification number: G01F1/6842 , G01F1/6845
Abstract: 本发明提供一种热式流量传感器,其降低灰尘向传感器元件的冲击,并且降低由传感器元件周围的被测定流体的流动的剥离导致的测定误差。该热式流量传感器具备:沿在主通路内流动的流体的流动方向设置的基座部;和安装在该基座部上、在基板上形成有用于检测在主通路流动的流体的流量的发热电阻体的传感器元件,其中,在基座部形成矩形的凹部,且传感器元件以其检测部表面低于凹部的上端缘的方式嵌入并固定在该凹部内,并且在传感器元件对面的测定用通路壁部分设置节流部,且发热电阻体从凹部的上游侧端缘沿流动方向,被隔离在不受因在凹部的上端缘与传感器元件的检测部表面之间形成的阶梯差导致生成的流体的流动紊乱的影响的位置。
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公开(公告)号:CN1834592A
公开(公告)日:2006-09-20
申请号:CN200610005918.0
申请日:2006-01-19
Applicant: 株式会社日立制作所
CPC classification number: G01C9/00 , G01F1/6845 , G01F1/69 , G01P15/008
Abstract: 一种物理量传感器,将与所定方向(例如最大应力的外加方向)的应力(σ)平行的方向定义为横向、垂直的方向定义为纵向后,所述流量传感器的电阻器(7a、7b、8a、8b),就具有横向电阻成分(Rl)和纵向电阻成分(Rt)。加给基板的应力σ加给横向的电阻成分Rl时的压电电阻系数πl,和应力σ加给纵向的电阻成分(Rt)时的压电电阻系数(πt)之比,是πl∶πl=-n∶1(n为整数)时,将纵向的电阻成分(Rt)和横向的电阻成分Rl的电阻比,设定成与压电电阻系数πl与πt之比的绝对值大致相等。在确保强度的可靠性的同时,降低应力引起的电阻变化,提供高精度的物理量传感器。
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公开(公告)号:CN1272606C
公开(公告)日:2006-08-30
申请号:CN00819268.5
申请日:2000-07-27
Applicant: 株式会社日立制作所 , 株式会社日立汽车工程
IPC: G01F1/692
Abstract: 在热式空气流量计中,空气流量测定元件与吸气温度传感器的吸气温度测定元件安装于一个玻璃陶瓷等制的支承体上并位于吸气通路内。支承体由安装于吸气管的管壁的保持部保持。支承体的远离吸气管管壁方的一部分的两面、做成易于从流过吸气管的空气流吸热的构造。在被吸热的支承体面上配置空气流量测定元件与吸气温度检测元件。这些元件分别与配置于支承体的导体电气连接,由树脂密封这些电气连接部。由此使吸气温度传感器与空气流量计的一体化成为可能。
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公开(公告)号:CN1268899C
公开(公告)日:2006-08-09
申请号:CN00818668.5
申请日:2000-05-02
Applicant: 株式会社日立制作所 , 株式会社日立汽车工程
CPC classification number: G01P15/123 , F02D41/1454 , F02D41/182 , F02D41/187 , F02D2200/0414 , F02D2200/703 , G01F1/6845 , G01F1/692 , G01P2015/0828 , H01L2224/48091 , H01L2224/73265 , H01L2924/00014
Abstract: 本发明的目的在于提供一种即使长时间使用电阻值也不变化而且构造简单的物理量检测装置、其制造方法、及使用物理量检测装置提高可靠性的车辆控制系统。空气流量计(20)具有形成于半导体基板(11)的发热电阻(12H)和测温电阻(12C)。发热电阻(12H)形成于薄壁部(11A)。发热电阻(12H)的两端部分别通过第1引出导体(13H1、13H2)连接到电极(14H1、14H2)。连接于电极(14H1)的第2引出导体(15H1)延伸到空气流量传感器(10)的外周部。连接于电极(14H2)的第2引出导体(15H2、15H3)也延伸到空气流量传感器(10)的外周部,但在途中设置断线部(16),成为电非导通的状态。
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公开(公告)号:CN1437697A
公开(公告)日:2003-08-20
申请号:CN00819268.5
申请日:2000-07-27
Applicant: 株式会社日立制作所 , 株式会社日立汽车工程
IPC: G01F1/692
Abstract: 在热式空气流量计中,空气流量测定元件与吸气温度传感器的吸气温度测定元件安装于一个玻璃陶瓷等制的支承体上并位于吸气通路内。支承体由安装于吸气管的管壁的保持部保持。支承体的远离吸气管管壁方的一部分的两面、做成易于从流过吸气管的空气流吸热的构造。在被吸热的支承体面上配置空气流量测定元件与吸气温度检测元件。这些元件分别与配置于支承体的导体电气连接,由树脂密封这些电气连接部。由此使吸气温度传感器与空气流量计的一体化成为可能。
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公开(公告)号:CN1433513A
公开(公告)日:2003-07-30
申请号:CN00818668.5
申请日:2000-05-02
Applicant: 株式会社日立制作所 , 株式会社日立汽车工程
CPC classification number: G01P15/123 , F02D41/1454 , F02D41/182 , F02D41/187 , F02D2200/0414 , F02D2200/703 , G01F1/6845 , G01F1/692 , G01P2015/0828 , H01L2224/48091 , H01L2224/73265 , H01L2924/00014
Abstract: 本发明的目的在于提供一种即使长时间使用电阻值也不变化而且构造简单的物理量检测装置、其制造方法、及使用物理量检测装置提高可靠性的车辆控制系统。空气流量计20具有形成于半导体基板11的发热电阻12H和测温电阻12C。发热电阻12H形成于薄壁部11A。发热电阻12H的两端部分别通过第1引出导体13H1、13H2连接到电极14H1、14H2。连接于电极14H1的第2引出导体15H1延伸到空气流量传感器10的外周部。连接于电极14H2的第2引出导体15H2、15H3也延伸到空气流量传感器10的外周部,但在途中设置断线部16,成为电非导通的状态。
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