公开(公告)号：CN109427548A

公开(公告)日：2019-03-05

申请号：CN201810857665.2

申请日：2018-07-31

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 谷泽成规 ,  宫路信行 ,  髙冈诚 ,  泽崎尚树 ,  奥村刚 ,  三浦淳靖

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明涉及基板处理方法及装置，该方法包括将基板保持为水平的基板保持工序、向基板的上表面供给含水的处理液的处理液供给工序、向上表面供给低表面张力液体来用低表面张力液体置换处理液形成低表面张力液体的液膜的液膜形成工序、通过向液膜的中央区域供给气体在液膜的中央区域形成开口的开口形成工序、使开口扩大排除液膜的开口扩大工序、在开口扩大工序中使基板以铅垂方向的旋转轴线为中心旋转的基板旋转工序、在开口扩大工序中向设于开口的周缘的内侧的气体供给位置吹送气体使气体供给位置向周缘移动的气体供给位置移动工序、在开口扩大工序中向设于开口的周缘的外侧的着落位置供给低表面张力液体来使着落位置向周缘移动的着落位置移动工序。

公开(公告)号：CN107634015A

公开(公告)日：2018-01-26

申请号：CN201710565095.5

申请日：2017-07-12

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 辻川裕贵 ,  池田昌秀 ,  三浦淳靖 ,  藤田和宏 ,  土桥裕也

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/02

CPC classification number: H01L21/67051 ,  B08B3/048 ,  B08B3/08 ,  B08B3/10 ,  H01L21/67017

Abstract: 一种基板处理装置，具有：筒状的挡板，其接住从旋转夹具向外侧飞散的液体；环状的杯，其用接液槽接住被挡板向下方引导的液体；挡板升降单元，其使挡板沿上下方向移动；清洗液供给单元，其将从冲洗液喷嘴喷出的纯水经由旋转夹具和挡板向接液槽供给；清洗液排出单元，其排出接液槽内的纯水；控制装置，其通过控制清洗液供给单元和清洗液排出单元，来在接液槽中积存纯水，通过控制挡板升降单元，来使筒状部的下端部浸渍于接液槽内的纯水中。