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公开(公告)号：CN111089988B
公开(公告)日：2023-01-31
申请号：CN201911379941.X
申请日：2019-12-27
Applicant: 季华实验室
IPC: G01Q60/56
Abstract: 本发明公开了一种高均匀性磁性探针及其制备方法，检测硅基探针针尖先端的曲率半径，筛选出曲率半径在规格要求以内的探针；将筛选合格的硅基探针悬臂水平放置，使针尖基体外侧面沿竖直向上，溅射沉积钝化层；将硅基探针悬臂竖直放置，使针尖基体外侧面沿水平方向，溅射沉积磁性感应层；将硅基探针悬臂与竖直方向成30º夹角进行放置，使针尖基体内侧面沿水平方向，溅射沉积磁性屏蔽层；通过采用本技术方案制得的磁性探针的成本低、工艺简单、可重复性好，具备高均匀性的磁感应信号强度，能充分保证定量分析结果的准确性，适用于工业生产用大批量连续的磁力显微镜检测。
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公开(公告)号：CN115124004A
公开(公告)日：2022-09-30
申请号：CN202210893433.9
申请日：2022-07-27
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本发明公开了一种高效制备超净高纯硫酸连续生产装置及生产方法，其中，所述生产装置包括依次连接的固体料投放装置、搅拌罐、结晶釜、阴离子交换柱、阳离子交换柱、过滤器、浓缩器、固体料转移装置、真空干燥器、加热分解器、降膜分离器、除雾器、高纯硫酸吸收塔、超滤装置、真空洁净包装系；通过采用上述生产设备，可以以工业级硫酸氢钠为原料，制备出符合SEMI‑C8或SEMI‑C12标准的硫酸，并且产量高，产品质量稳定，以此来克服发烟硫酸和液体三氧化硫原料在使用时存在安全隐患、不环保、进料数量不能精确控制等问题。
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公开(公告)号：CN114130045A
公开(公告)日：2022-03-04
申请号：CN202111526817.9
申请日：2021-12-13
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本发明公开一种超净高纯电子化学品的蒸发浓缩装置及其应用，其中的蒸发浓缩装置包括外壳体、内壳体、真空抽气设备以及加热组件；所述外壳体的内腔为一级真空腔体，所述内壳体的内腔为二级真空腔体，所述一级真空腔体和二级真空腔体分别与所述真空抽气设备连接；所述内壳体设置在所述一级真空腔体中，所述外壳体和内壳体的顶部处设有用于密封一级真空腔体和二级真空腔体的顶部开口的顶盖密封组件，所述顶盖密封组件可拆卸设置在所述外壳体和内壳体顶部，所述加热组件的发热端作用在所述内壳体上；所述二级真空腔体中设有用于固定装有样品的烧杯的固定架。本发明实现对超净高纯电子化学品的蒸发浓缩，且快速高效，维护成本低。
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公开(公告)号：CN113739989B
公开(公告)日：2022-02-08
申请号：CN202111284298.X
申请日：2021-11-01
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本申请属于机械加工技术领域，公开了一种电容式薄膜真空计的感应膜片焊后张紧力控制方法，包括以下步骤：把感应膜片焊接在电容式薄膜真空计的圆筒状的腔体的下端；腔体的材料的屈服强度比感应膜片的材料的屈服强度低；在腔体的内壁施加压力后卸载压力，使施加压力时腔体的腔壁的内侧部分、腔体的腔壁的外侧部分和感应膜片分别处于塑性变形状态、弹性变形状态和弹性张紧状态，从而使卸载压力后的感应膜片上具有所需的张紧力；该电容式薄膜真空计的感应膜片焊后张紧力控制方法有利于实现对感应膜片焊接后的张紧力的精准控制。
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公开(公告)号：CN111172504B
公开(公告)日：2021-11-02
申请号：CN201911382863.9
申请日：2019-12-27
Applicant: 季华实验室
IPC: C23C14/35
Abstract: 本发明公开了一种磁控溅射阴极，包括靶材、第一磁体结构和第二磁体结构；第一磁体结构产生第一磁力线回路，形成第一磁场；第二磁体结构产生第二磁力线回路，形成第二磁场；当启动溅射时，第一磁场作用使靶材位于第一磁力线回路内的区域形成第一等离子区，第二磁场作用使靶材位于第二磁力线回路内的区域形成第二等离子区，实现溅射；第二等离子区和第一等离子区叠加区域不完全重合；通过在第一磁体结构的基础上叠加第二磁体结构，可以增大靶材的溅射使用面积，溅射靶材的溅射后表面形态可以由V形变成U形，靶材的利用率可以从传统的20~25%增加到30~35%，提高靶材的利用率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112501586A
公开(公告)日：2021-03-16
申请号：CN202011140464.4
申请日：2020-10-22
Applicant: 季华实验室
IPC: C23C16/448 , C23C16/505 , C23C16/511 , C23C16/08 , H01L29/45
Abstract: 本发明公开一种高纯度金属薄膜的制备方法及制备装置和半导体芯片，其中，包括以下步骤：将金属颗粒或粉状物置于真空室内；通入高纯卤族气体与金属颗粒或粉状物在常温下进行反应；对反应得到的卤化金属气体进行吸附过滤；利用卤化金属气体与杂质的沸点差别进行精馏提纯；将提纯后的卤化金属气体与高纯氢气分别通入等离子体增强化学气相沉积镀膜设备腔室内，在半导体衬底上沉积金属薄膜。本发明方法过程简单，成本低，对原材料的纯度要求低，获得原材料容易，同时可有效提高难熔金属薄膜的纯度。
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公开(公告)号：CN111793822A
公开(公告)日：2020-10-20
申请号：CN202010751492.3
申请日：2020-07-30
Applicant: 季华实验室
IPC: C30B25/12
Abstract: 本发明公开了一种行星式MOCVD旋转装置，通过驱动第一旋转齿轮带动外延片载板旋转，运用齿轮式机械运动代替气流摩擦驱动外延片载板，因第一旋转齿轮本身具有一定的重量，所以驱动气流需要达到一定量时才能驱动第一旋转齿轮实现转动，而设备反应室内气流场和热场的变化对驱动气流的气流量的影响相对于驱动第一旋转齿轮转动的气流量来说较少，可以忽略，从而解决气浮传动因气流不稳定进而影响外延片载板的旋转不稳定的问题，保证提高外延片载板的旋转稳定性；第一旋转齿轮的结构相对于复杂的气流导向槽结构简单易加工，极大地降低了设备的加工成本；通过稳定的行星托盘旋转和外延载板自旋转，外延片的温度均匀性能得到更好的保证。
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公开(公告)号：CN111221412A
公开(公告)日：2020-06-02
申请号：CN201911379933.5
申请日：2019-12-27
Applicant: 季华实验室
IPC: G06F3/01 , G06F3/0481 , G06K9/00
Abstract: 本发明提供了一种基于眼睛控制的光标定位方法及装置。其中方法包括步骤：A.采集用户看向屏幕四个角时，其中一个眼睛的图像，并识别其瞳孔位置；B.建立瞳孔位置与屏幕上位置的映射关系；C.采集所述眼睛的当前图像，并识别其瞳孔位置；D.根据所述映射关系计算用户视线落在屏幕上的位置；E.把计算结果发送至被控主机，以便被控主机控制屏幕在相应的位置显示光标。装置包括瞳孔位置采集模块、映射模块、计算模块和通信模块。该方法及装置可实现通过眼睛来控制光标的位置，方便手部无法正常工作的人控制计算机。
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公开(公告)号：CN111190486A
公开(公告)日：2020-05-22
申请号：CN201911379932.0
申请日：2019-12-27
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本发明提供了一种基于眼睛控制的分区显示方法及装置。其中方法包括步骤：A.通过识别用户瞳孔位置以对用户视线落在屏幕上的位置进行定位；B.以上述定位的位置为中心，按照预设的规则对屏幕划定高清区域；C.显示图像时，其它区域的图像分辨率低于所述高清区域的图像分辨率。装置包括定位模块、分区模块、输出模块。该方法及装置可实现在人眼关注的地方清晰显示，在人眼不关注的地方模糊显示，从而提高图像处理速度。
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公开(公告)号：CN111153599A
公开(公告)日：2020-05-15
申请号：CN201911379942.4
申请日：2019-12-27
Applicant: 季华实验室
Abstract: 本发明公开了一种纳米结构DLC薄膜、增硬玻璃、制备装备及制备方法，DLC薄膜包括第一氮化硅层、第二材料层和第一DLC薄膜层，第二材料层包括由下到上依次设置第二DLC薄膜层和第二氮化硅层（并可复制出结构相同、厚度不一定相等多层第二材料层）；通过在玻璃基体上设置第一氮化硅层，既保证玻璃基体与DLC薄膜层之间的过渡，又增加DLC薄膜层与玻璃基体的结合力，隔绝玻璃基体中氧含量对DLC薄膜层的影响；采用多材料层设计，单层材料层可达到纳米级别尺寸，不但增加DLC薄膜层之间界面，还促进DLC薄膜层内应力释放，能在保证DLC薄膜层高硬度、低摩擦性的情况下，降低DLC薄膜层内应力，强韧DLC薄膜结构。
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