公开(公告)号：CN117894706A

公开(公告)日：2024-04-16

申请号：CN202410298422.5

申请日：2024-03-15

Applicant: 季华实验室

Inventor： 李宣令 ,  毕海 ,  李磊 ,  汪伟 ,  安宁

IPC: H01L21/66 ,  H01L21/67

Abstract: 本发明公开了一种多模态晶圆检测系统及方法，属于晶圆检测技术领域。本发明多模态晶圆检测系统包括：检测模块、机械模块以及控制模块；所述机械模块，用于放置待检测晶圆样品；所述检测模块，用于对待检测晶圆样品进行外观检测、颜色检测以及电致发光检测的多模态检测；所述控制模块，用于在对待检测晶圆样品进行不同模态检测时，控制所述机械模块进行移动，以完成待检测晶圆样品的多模态检测，将晶圆级外观检测、光致发光检测和电致发光检测自由切换检测手段，并且能实现外观和颜色同时检测，降低整体设备的过检率与漏检率，提升下游制造良品率。

公开(公告)号：CN116678839B

公开(公告)日：2023-11-10

申请号：CN202310857581.X

申请日：2023-07-13

Applicant: 季华实验室

Inventor： 张海裕 ,  毕海 ,  汪伟 ,  石壮威 ,  许高 ,  安宁

IPC: G01N21/25 ,  G06F18/10 ,  G06N20/00

Abstract: 本申请公开了一种发光材料检测方法、装置、终端设备以及存储介质，涉及材料检测领域，其方法包括：获取待检测发光材料的预测光谱信息；将所述预测光谱信息输入到预先创建的光谱分析模型进行预测，得到所述待检测发光材料的预测发光信息。本发明简化发光材料的检测步骤，提高了发光材料的检测效率。

公开(公告)号：CN116678839A

公开(公告)日：2023-09-01

申请号：CN202310857581.X

申请日：2023-07-13

Applicant: 季华实验室

Inventor： 张海裕 ,  毕海 ,  汪伟 ,  石壮威 ,  许高 ,  安宁

IPC: G01N21/25 ,  G06F18/10 ,  G06N20/00

Abstract: 本申请公开了一种发光材料检测方法、装置、终端设备以及存储介质，涉及材料检测领域，其方法包括：获取待检测发光材料的预测光谱信息；将所述预测光谱信息输入到预先创建的光谱分析模型进行预测，得到所述待检测发光材料的预测发光信息。本发明简化发光材料的检测步骤，提高了发光材料的检测效率。

公开(公告)号：CN116209108A

公开(公告)日：2023-06-02

申请号：CN202310337362.9

申请日：2023-03-31

Applicant: 季华实验室

Inventor： 田德天 ,  李义 ,  梁振廷 ,  徐成 ,  王玉 ,  安宁 ,  陈培培 ,  秦燕亮

IPC: H05B6/02 ,  H05B6/36 ,  H05B6/10

Abstract: 本申请涉及半导体技术领域，具体而言，涉及一种电磁加热装置，通过在基板上设置有至少一个列电极、至少一个行电极和多个电磁感应单元，并使各个电磁感应单元的第一电极均与一个行电极连接，各个电磁感应单元的第二电极均与一个列电极连接，所有电磁感应单元的第一电极不全连接于同一个行电极，所有电磁感应单元的第二电极不全连接于同一个列电极，通过使对应的电磁感应单元自身的第一电极和第二电极中的一个与外部电源的正极连通，自身的第一电极和第二电极中的另一个与外部高频脉冲电源的高频脉冲发射电极连通，则对应的电磁感应单元即可产生对外加热的交变磁场，因此，可根据实际需要，有针对性地选择单个或多个电磁感应单元进行对外加热。

公开(公告)号：CN115593915A

公开(公告)日：2023-01-13

申请号：CN202211243844.X

申请日：2022-10-11

Applicant: 季华实验室(CN)

Inventor： 梁振廷 ,  田德天 ,  李义 ,  徐成 ,  王玉 ,  安宁 ,  秦燕亮 ,  陈培培

IPC: B65G47/80

Abstract: 本发明公开一种高精度转台，所述高精度转台包括承载台、转盘和曲柄滑块驱动机构；所述转盘沿其旋转中心转动安装在所述承载台；所述曲柄滑块驱动机构，设于所述承载台与所述转盘之间，用于驱使所述转盘转动，所述曲柄滑块驱动机构包括直线运动模块组件、旋转运动模块组件和连杆组件，所述连杆组件连接所述直线运动模块组件和所述旋转运动模块组件，所述直线运动模块组件与所述承载台连接，所述旋转运动模块组件与所述转盘连接。本发明提供的高精度转台转角范围小，精度要求高，承载能力强，转动力矩高，转动平稳，适合各种场合。

公开(公告)号：CN115373433A

公开(公告)日：2022-11-22

申请号：CN202211306426.0

申请日：2022-10-25

Applicant: 季华实验室

Inventor： 梁振廷 ,  田德天 ,  李义 ,  徐成 ,  王玉 ,  安宁 ,  秦燕亮 ,  陈培培

IPC: G05D3/12

Abstract: 本发明属于自动控制技术领域，公开了一种转台运动补偿方法、装置、设备及存储介质。该方法应用于曲柄滑块式转台，包括：确定初始条件参数，并根据初始条件参数构建转台控制函数；获取旋转组件对应的多个分段旋转角度；分别根据各个分段旋转角度驱动曲柄滑块式转台进行旋转，记录各分段对应的测量旋转角度；根据各分段对应的分段旋转角度和测量旋转角度计算转角偏差；根据转台控制函数将转角偏差转换为直线运动误差；根据直线运动误差对各分段下直线运动模块的直线运动位移进行补偿。通过上述方式，对转角进行校准，补偿直线运动模块的直线运动位移，提升了曲柄滑块式转台转角的控制精度。

公开(公告)号：CN115309196A

公开(公告)日：2022-11-08

申请号：CN202211237952.6

申请日：2022-10-11

Applicant: 季华实验室

Inventor： 梁振廷 ,  田德天 ,  李义 ,  徐成 ,  王玉 ,  安宁 ,  秦燕亮 ,  陈培培

IPC: G05D3/12

Abstract: 本发明属于自动控制技术领域，公开了一种转台控制方法、装置、设备及存储介质。该方法应用于曲柄滑块式转台，包括：获取旋转组件对应的待旋转角度；基于预设函数关系根据待旋转角度计算目标距离；控制直线运动模块的运动距离达到目标距离。通过上述方式，建立直线运动距离与旋转角度之间的函数关系，利用函数关系结合旋转角度需求，控制直线运动模块的直线运动距离，实现了高精度控制转台的旋转角度。