基于铁电薄膜电畴的极化组装微小颗粒有序阵列的方法

    公开(公告)号:CN102030308A

    公开(公告)日:2011-04-27

    申请号:CN201010521402.8

    申请日:2010-10-27

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 本发明属于电子技术领域,具体为一种基于铁电材料电畴的极化组装微小颗粒有序阵列的方法。本发明通过选择性的极化铁电薄膜的电畴而形成表面电荷的阵列图形,通过它与有极性的微小颗粒相互作用,实现微小颗粒有选择性的组装沉淀到铁电薄膜表面,从而形成微小颗粒的相应的阵列分布。采用本发明的微小颗粒组装技术,工艺简便,成本低,具有极大的应用价值。

    一种适用于金属薄膜材料的3omega热导测量方案

    公开(公告)号:CN101975794A

    公开(公告)日:2011-02-16

    申请号:CN201010276530.0

    申请日:2010-09-09

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 本发明属于微电子技术领域,具体为一种适用于金属性薄膜材料的3omega热导测量方法。该方法基于改进的解析模型,利用3omega测试结构与频率相关的热学响应特性,通过实验拟合手段得到与一组频率相关的热流比值。从该值推导出实验材料的热阻,并最终得到被测样品的热导值。利用本发明的热导测量方法,可以提供快速准确的金属薄膜热导信息,大大扩展了3omega电学测量技术的适用范围。本发明适用于纳米量级薄膜的测量,样品结构简单,避免原有电学测试方法中的复杂工艺结构,因此可作为金属薄膜材料热学参量的快速表征手段,在微电子工业领域中有其应用前景。

    一种低介电常数介质薄膜的纳米压印金属图形转移的方法

    公开(公告)号:CN101905864A

    公开(公告)日:2010-12-08

    申请号:CN201010252919.1

    申请日:2010-08-13

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 本发明属于微电子技术领域,具体为一种低介电常数介质薄膜的纳米压印金属图形转移的方法。本发明利用带有金属图形的模具纳米压印低介电常数介质薄膜,实现金属图形从模具到低介电常数介质薄膜的转移,从而达到在集成电路互连制造工艺中应用。相比于传统光刻、刻蚀和淀积技术实现金属互连而言,本发明简化了互连制造工艺步骤,大大地降低了生产成本。

    一种基于软模板纳米压印技术的硅纳米线制作方法

    公开(公告)号:CN101692151A

    公开(公告)日:2010-04-07

    申请号:CN200910195817.8

    申请日:2009-09-17

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 本发明属于纳米压印技术领域,具体为一种基于软模板纳米压印技术的硅纳米线的制作方法。其步骤包括:在原始模板上淀积并烘烤二层胶体,并揭下作为软压印模板。在表面为硅层的衬底上旋涂一层光刻胶并前烘,使用前面得到的软模板进行压印,然后使用RIE刻蚀去除硅表面压印胶体的剩余层。利用衬底硅表面上的胶体作为刻蚀阻挡层,进行硅的各项异性刻蚀,最后得到所需的横截面为梯形或者三角形的硅纳米线图形。本发明方法简单,只需要一次压印;对昂贵的原始模板没有损伤,纳米线表面缺陷和陷阱少,而且纳米线的线宽可以调整。

    基于介质上电润湿效应的数字微流控器件及其控制方法

    公开(公告)号:CN101294971A

    公开(公告)日:2008-10-29

    申请号:CN200810038582.7

    申请日:2008-06-05

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 本发明属于数字微流控技术领域,具体为一种基于介质上电润湿效应的数字微流控器件及控制方法。本发明器件结构从下而上依次为衬底、绝缘层、金属电极层、介质层和疏水层,其中,介质层采用高介电常数材料,如基于PVDF的有机薄膜等,电极采用单层控制电极。基于上述器件的液滴驱动方法为:将液滴加于同层两邻两电极位置上方的疏水层表面,在两电极间施加一个电压,移动该两电极,即实现液滴的受控运动。本发明大大降低了工艺的复杂性,降低成本,并增加了微流控操作的柔性。

    一种同时自组装生长多功能微纳米阵列的方法

    公开(公告)号:CN118929564A

    公开(公告)日:2024-11-12

    申请号:CN202410897105.5

    申请日:2024-07-05

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 本发明属于微纳加工技术领域,具体为一种同时自组装生长多功能微纳米阵列的方法。本发明包括:对衬底进行表面修饰形成修饰层;在修饰层上进行光刻形成光刻胶图案;通过刻蚀、去胶等工艺将光刻胶图案转移至修饰层,形成不同尺寸或同尺寸不同表面能的修饰层图案;在修饰层图案上进行相变材料的自组装生长,形成不同尺寸或含不同物质量的相变材料无定形态图案;进行退火处理,使物质量较大的无定形态图案转变为结晶态,而较少物质量的无定形态图案保持非晶态,实现多功能微纳米阵列。本发明具有工艺简单、成本低、可扩展性强等优势,可应用于高分辨率全彩成像/显示、光子晶体、信息存储、加密等领域。

    一种井下无线通信定位一体化系统

    公开(公告)号:CN116961749A

    公开(公告)日:2023-10-27

    申请号:CN202310882270.9

    申请日:2023-07-18

    Applicant: 复旦大学

    Inventor: 张兵 刘冉

    Abstract: 本发明属于通信技术领域,具体为一种井下无线通信定位一体化系统。本发明将可见光通信和超宽带定位技术相结合,实现无线通信与定位一体化;系统包括照明设备、矿灯安全帽、电力线及耦合装置、地面服务器等设备;部署方案将照明设备间隔分布固定在井下巷道,根据不同巷道的净高度及矿灯照度布设不同高度、不同间距的照明设备,设备之间通过电力线连接,地面服务器经由电力线连接至最近的照明设备,并且借助从矿灯帽发射至照明设备的LiFi信号或UWB信号实现双向交互通信以及确定矿灯安全帽精确位置,有效地抵抗各种干扰,同时实现高精度定位和通信功能。

    一种基于蓝牙及可见光的室内移动终端定位方法

    公开(公告)号:CN113271542B

    公开(公告)日:2022-07-22

    申请号:CN202110379628.7

    申请日:2021-04-08

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 本发明属于通信技术领域,具体为一种基于蓝牙及可见光的室内移动终端定位方法。本发明融合蓝牙定位和可见光定位两种模式,在离线阶段分别构建基于蓝牙以及室内可见光信号接收强度的位置指纹库信息,在线阶段根据移动终端实时接收的待测点的蓝牙以及可见光信号接收强度信息,通过动态K值加权定位算法,分别对待测移动终端进行位置区间的确定,然后将两者定位结果加权取交集得到最终的定位结果。本发明采用动态K值加权算法,可避免由K值固定将距离较远的参考点选入而影响定位的精度;采用双模融合定位算法,可减少由环境变化带来的传播模型误差,增加定位系统鲁棒性。本发明可实现移动终端在室内低延迟及较为精确的定位,具有实际应用价值。

    一种内窥镜micro-LED光源及其制备方法

    公开(公告)号:CN109742197B

    公开(公告)日:2021-07-23

    申请号:CN201811576296.6

    申请日:2018-12-22

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 本发明属于医用光源照明技术领域,具体为一种内窥镜micro‑LED光源及其制备方法。本发明使用尺寸较小的micro‑LED为光源,micro‑LED芯片形状根据内窥镜外壳形状设计;通过调整micro‑LED芯片阵列的间距以及micro‑LED单元数量对芯片充分散热;系统封装时,micro‑LED芯片紧贴内窥镜外壳,利用内窥镜外壳散热;micro‑LED的结构可以为正装、倒装和垂直等多种结构,白光光源的组成可以由红绿蓝等多种发光波长的micro‑LED芯片组成,也可以由蓝光micro‑LED芯片与荧光粉混合组成。本发明通过micro‑LED芯片和内窥镜系统的整体设计,降低了照明系统的自发热,使自发热导致的内窥镜照明系统的温度低于43摄氏度;光通量、显色指数等指标适合人体的需求以及国家标准的要求。

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