-
公开(公告)号：CN118929564A
公开(公告)日：2024-11-12
申请号：CN202410897105.5
申请日：2024-07-05
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明属于微纳加工技术领域，具体为一种同时自组装生长多功能微纳米阵列的方法。本发明包括：对衬底进行表面修饰形成修饰层；在修饰层上进行光刻形成光刻胶图案；通过刻蚀、去胶等工艺将光刻胶图案转移至修饰层，形成不同尺寸或同尺寸不同表面能的修饰层图案；在修饰层图案上进行相变材料的自组装生长，形成不同尺寸或含不同物质量的相变材料无定形态图案；进行退火处理，使物质量较大的无定形态图案转变为结晶态，而较少物质量的无定形态图案保持非晶态，实现多功能微纳米阵列。本发明具有工艺简单、成本低、可扩展性强等优势，可应用于高分辨率全彩成像/显示、光子晶体、信息存储、加密等领域。
Search Results
1
records
(took 0.015 seconds)
筛选
AND
AND
过滤
NOT
NOT
Scan to Join
