-
公开(公告)号：CN103972789A
公开(公告)日：2014-08-06
申请号：CN201410134928.9
申请日：2014-04-04
Applicant: 南京邮电大学
Abstract: 本发明公开了一种氮化物非对称型回音壁模式光学微腔器件及制备方法，光学微腔器件包括硅衬底层、设置在硅衬底层上的氮化镓层，氮化镓层中设置有非对称型回音壁模式光学微腔和水平的支撑臂，非对称型回音壁模式光学微腔下方设置有贯穿硅衬底层的空腔，使非对称型回音壁模式光学微腔完全悬空，非对称型回音壁模式光学微腔通过支撑臂与氮化镓层连接，实现微腔内部光全反射传播，最终方向性的输出。本发明器件能够实现激光选频并且定向输出的功能、制造工艺简便、输出功率高。
-
公开(公告)号：CN115296140B
公开(公告)日：2025-05-16
申请号：CN202210968442.X
申请日：2022-08-12
Applicant: 南京邮电大学
Abstract: 本发明公开了一种电驱动空气槽结构的氮化物微盘激光器及其制备方法，激光器以硅基氮化镓为载体，包括从下至上依次设置的硅衬底层、缓冲层、u型氮化镓层、n型氮化镓层、量子阱层和p型氮化镓层，n型氮化镓层上设有n型电极，p型氮化镓层设置有p型电极；量子阱层的周部设有空气槽结构。通过n型电极和p型电极实现了电驱动的驱动方式，方便控制，且易于和其他微电子器件集成。通过空气槽的设置，实现了外回音壁模式，不仅具有线宽窄、阈值低的特点，还容易与周围环境发生作用，适用于气体传感、通信等方面。
-
公开(公告)号：CN119920757A
公开(公告)日：2025-05-02
申请号：CN202510295860.0
申请日：2025-03-13
Applicant: 南京邮电大学
IPC: H01L21/768 , H01L21/66
Abstract: 本发明公开了一种三维集成电路硅通孔的故障修复方法及系统，该方法首先建立由n×n个开关单元组成的开关矩阵，然后与n×n个硅通孔和n个冗余硅通孔连接，组成硅通孔修复电路，在定位故障硅通孔的位置后，将故障硅通孔作为起点，冗余硅通孔作为终点，进行起点和终点间的路径规划，最后按照规划的路径进行对故障硅通孔进行修复。本发明在不显著增加硬件与延迟开销的条件下，提升TSV修复效率与灵活性。
-
公开(公告)号：CN119780471A
公开(公告)日：2025-04-08
申请号：CN202411938716.6
申请日：2024-12-26
Applicant: 南京邮电大学
IPC: G01P15/03
Abstract: 本发明公开了一种基于量子限制斯塔克效应的铟镓氮量子阱光机电微腔加速度计，梁激光二极管以硅基氮化物外延片为载体，包括从下至上依次设置的硅衬底层、氮化铝层、u型氮化镓层、n型氮化镓层、量子阱层、p型氮化镓层、SiO2层，设置在所述p型氮化镓层上的p型电极、设置在所述n型氮化镓层边缘的n型电极。本发明在硅衬底上的氮化物材料，利用光刻和ICP刻蚀工艺制备微梁应力敏感区LD发光，通电后，在梁的应力敏感区域得到激光LD。通电情况下，加速度负载前后，由于量子限制斯塔克效应，激光的频率波长会发生变化，通过差频会感知加速度的大小。
-
公开(公告)号：CN114256738B
公开(公告)日：2023-09-12
申请号：CN202111328188.9
申请日：2021-11-10
Applicant: 南京邮电大学
Abstract: 本发明公开一种电泵氮化物悬空波导微激光器及其制备方法。本发明在硅衬底氮化物外延片上利用光刻、ICP氮化物干法刻蚀、硅湿法刻蚀工艺，电子束蒸镀工艺制备悬空波导结构的氮化物微腔激光器；其微腔被悬空，垂直方向光学损耗极大降低，同时电极发光区与微腔区重合，引线在两端的柱子上，避免了复杂的引线工艺。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116609549A
公开(公告)日：2023-08-18
申请号：CN202310563061.8
申请日：2023-05-18
Applicant: 南京邮电大学
IPC: G01P15/097
Abstract: 本发明公开了一种GaN光机械微盘加速度传感器及其制备方法，传感器包括硅衬底层，硅衬底层的底部支撑层上形成一体连接的第一支撑部、第二支撑部和第三支撑部，第一支撑部、第二支撑部和第三支撑部上端分别设置有第一氮化物圆盘、第二氮化物圆盘和第三氮化物圆盘，第一氮化物圆盘与第二氮化物圆盘之间设置有一体连接的悬空连接梁，第三氮化物圆盘位于第一氮化物圆盘与第二氮化物圆盘之间，悬空连接梁、第一氮化物圆盘、第二氮化物圆盘和第三氮化物圆盘均由上下设置的氮化铝层和氮化镓层构成。本发明提供的一种GaN光机械微盘加速度传感器及其制备方法，能够避免电学噪声的干扰，加速度传感器的灵敏度和分辨率更高，量程更大。
-
公开(公告)号：CN113708220B
公开(公告)日：2023-05-16
申请号：CN202110850113.0
申请日：2021-07-27
Applicant: 南京邮电大学
Abstract: 本发明公开了一种量子点微激光器及其制备方法，激光器采用悬浮硅盘结构，悬浮硅盘结构包括从下到上依次设置的硅衬底层、第一二氧化硅层、二氧化硅支柱层和二氧化硅圆盘层，在二氧化硅圆盘层上表面悬涂有量子点层，在量子点层上覆盖有第二二氧化硅层；所述制备方法采用光刻刻蚀工艺和RIE刻蚀工艺制备悬浮硅盘结构的微腔，使其在高温中退火后悬涂不同尺寸的量子点，并蒸镀二氧化硅。本发明激光器能够获得白光激光，具有极高的光学增益和极低的损耗，有利于与光电子器件集成，可以获得高光转换效率低阈值。
-
公开(公告)号：CN113418519B
公开(公告)日：2022-11-29
申请号：CN202110643418.4
申请日：2021-06-09
Applicant: 南京邮电大学
IPC: G01C19/58
Abstract: 本发明公开了一种电泵浦光学陀螺及其制备方法，包括：探测器、外形波导和光学陀螺；外形波导包括从上至下依次设置的第一p型磷化铟层、第一量子阱层和n型磷化铟层，第一p型磷化铟层和第一量子阱层为渐变式结构；探测器包括探测器正电极和探测器负电极；光学陀螺包括从上至下依次设置的环形电极、第二量子阱层和第二p型磷化铟层。优点：本发明的外形波导采用了渐变设计，便于产生的激光在波导中的传输，降低了光学损耗。本发明采用了磷化铟外延片，并在刻蚀完成后，用饱和溴水对侧壁进行了光滑修饰，这样易于光学陀螺中产生更好的激光。
-
公开(公告)号：CN114256738A
公开(公告)日：2022-03-29
申请号：CN202111328188.9
申请日：2021-11-10
Applicant: 南京邮电大学
Abstract: 本发明公开一种电泵氮化物悬空波导微激光器及其制备方法。本发明在硅衬底氮化物外延片上利用光刻、ICP氮化物干法刻蚀、硅湿法刻蚀工艺，电子束蒸镀工艺制备悬空波导结构的氮化物微腔激光器；其微腔被悬空，垂直方向光学损耗极大降低，同时电极发光区与微腔区重合，引线在两端的柱子上，避免了复杂的引线工艺。
-
公开(公告)号：CN114018404A
公开(公告)日：2022-02-08
申请号：CN202111158420.9
申请日：2021-09-28
Applicant: 南京邮电大学
Abstract: 本发明公开一种集通信、光谱、传感于一体的微区光学系统。包括主光路及分别与主光路垂直布设的第一支路、第二支路和第三支路；其中，所述主光路包括白色光源、物镜、半透半反镜、聚焦透镜和相机，用于实现成像功能；所述第一支路通过第一可折叠反射镜与主光路相交，用于实现通信测试；所述第二支路通过第二可折叠反射镜与主光路相交，用于实现光谱探测；所述第三支路通过第三可折叠反射镜与主光路相交，用于实现液体透射率传感。该系统可以实现微米级发光二极管的光学成像、光谱采集和透射率传感功能。本发明通过数个可折叠反射镜的折与叠来实现微区光学系统功能的切换，折叠时的反射镜不会对光的通过造成任何影响。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
66
records
(took 0.024 seconds)
