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公开(公告)号：CN113708220B
公开(公告)日：2023-05-16
申请号：CN202110850113.0
申请日：2021-07-27
Applicant: 南京邮电大学
Abstract: 本发明公开了一种量子点微激光器及其制备方法，激光器采用悬浮硅盘结构，悬浮硅盘结构包括从下到上依次设置的硅衬底层、第一二氧化硅层、二氧化硅支柱层和二氧化硅圆盘层，在二氧化硅圆盘层上表面悬涂有量子点层，在量子点层上覆盖有第二二氧化硅层；所述制备方法采用光刻刻蚀工艺和RIE刻蚀工艺制备悬浮硅盘结构的微腔，使其在高温中退火后悬涂不同尺寸的量子点，并蒸镀二氧化硅。本发明激光器能够获得白光激光，具有极高的光学增益和极低的损耗，有利于与光电子器件集成，可以获得高光转换效率低阈值。
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公开(公告)号：CN113708220A
公开(公告)日：2021-11-26
申请号：CN202110850113.0
申请日：2021-07-27
Applicant: 南京邮电大学
Abstract: 本发明公开了一种量子点微激光器及其制备方法，激光器采用悬浮硅盘结构，悬浮硅盘结构包括从下到上依次设置的硅衬底层、第一二氧化硅层、二氧化硅支柱层和二氧化硅圆盘层，在二氧化硅圆盘层上表面悬涂有量子点层，在量子点层上覆盖有第二二氧化硅层；所述制备方法采用光刻刻蚀工艺和RIE刻蚀工艺制备悬浮硅盘结构的微腔，使其在高温中退火后悬涂不同尺寸的量子点，并蒸镀二氧化硅。本发明激光器能够获得白光激光，具有极高的光学增益和极低的损耗，有利于与光电子器件集成，可以获得高光转换效率低阈值。
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公开(公告)号：CN113624992A
公开(公告)日：2021-11-09
申请号：CN202110847839.9
申请日：2021-07-27
Applicant: 南京邮电大学
IPC: G01P15/093 , B81C1/00
Abstract: 本发明公开了一种电泵加速度传感器及其制备方法，所述加速度传感器包括质量块和悬空波导结构，质量块设置在悬空波导结构的中间位置；悬空波导结构包括从下到上依次设置的硅衬底层、u型氮化镓层、n型氮化镓层、量子阱层、p型氮化镓层、p型电极和n型电极，其中，量子阱层设置在n型氮化镓层上表面的一侧，硅衬底层支撑u型氮化镓层下方的两端。所述制备方法在硅衬底氮化物外延片上，利用光刻、ICP干法刻蚀、硅湿法刻蚀工艺制备悬空波导结构的氮化物微腔。本发明将光源与传感器件聚焦在一个氮化镓的悬空波导光学谐振腔上，制备的加速度传感器可以进行高密度的光电集成，具有更高的分辨率和灵敏度。
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公开(公告)号：CN113624992B
公开(公告)日：2024-06-21
申请号：CN202110847839.9
申请日：2021-07-27
Applicant: 南京邮电大学
IPC: G01P15/093 , B81C1/00
Abstract: 本发明公开了一种电泵加速度传感器及其制备方法，所述加速度传感器包括质量块和悬空波导结构，质量块设置在悬空波导结构的中间位置；悬空波导结构包括从下到上依次设置的硅衬底层、u型氮化镓层、n型氮化镓层、量子阱层、p型氮化镓层、p型电极和n型电极，其中，量子阱层设置在n型氮化镓层上表面的一侧，硅衬底层支撑u型氮化镓层下方的两端。所述制备方法在硅衬底氮化物外延片上，利用光刻、ICP干法刻蚀、硅湿法刻蚀工艺制备悬空波导结构的氮化物微腔。本发明将光源与传感器件聚焦在一个氮化镓的悬空波导光学谐振腔上，制备的加速度传感器可以进行高密度的光电集成，具有更高的分辨率和灵敏度。
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