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公开(公告)号：CN104790033A
公开(公告)日：2015-07-22
申请号：CN201510158938.0
申请日：2015-04-03
Applicant: 南京大学
Abstract: 在ZnO单晶衬底上低温生长高质量ZnO薄膜材料的方法，包括如下步骤：1)选取ZnO单晶作为生长衬底；选取极性面是Zn极性面作为生长衬底；2)对衬底进行预处理；3)进行ZnO薄膜的低温生长；衬底表面温度400℃–500℃，采用二甲基锌和叔丁醇分别作锌源和氧源，高纯氮气作载气和稀释气，DMZn和t-BuOH的流速分别为10-40SCCM和100-400SCCM，生长过程中，反应腔压力为15–30kPa；生长时间决定膜的厚度，一般生长时间为15–60min；4)对生长的ZnO薄膜进行适当的原位热处理。
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公开(公告)号：CN118726941A
公开(公告)日：2024-10-01
申请号：CN202410722494.8
申请日：2024-06-05
Applicant: 南京大学
Abstract: 本申请提供一种热丝架构及化学气相沉积设备，属于热丝化学气相沉积领域。本申请提供的一种热丝架构，包括热丝、第一支撑结构及第二支撑结构；第一支撑结构与第二支撑结构沿第一方向间隔设置；第一支撑结构包括多个第一固定柱，多个第一固定柱沿第二方向间隔排布，第二支撑结构包括多个第二固定柱，多个第二固定柱沿第二方向间隔排布；热丝沿第二方向依次交替缠绕多个第一固定柱与多个第二固定柱，以形成热丝阵列。本申请提供的热丝架构极大地简化了结构，降低了对电接触及电源的需求，便于模块化拓展、且热丝的有效利用率较高，损耗相对较低，易于维护更换，降低了使用成本和维护成本，有效地促进热丝CVD金刚石薄膜生长的产业化进程。
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公开(公告)号：CN118581569A
公开(公告)日：2024-09-03
申请号：CN202410546979.6
申请日：2024-05-06
Applicant: 南京大学
Abstract: 本申请提供一种MPCVD系统及金刚石薄膜生长掺杂控制方法，属于微波等离子体化学气相沉积领域。本申请提供的MPCVD系统，包括反应室、第一传输管路和控制装置；反应室内部用于设置衬底，反应室设置有进气口，以输送反应剂；第一传输管路的至少部分设置于反应室内，以向衬底表面输送掺杂剂；控制装置包括第一流体控制单元和集成控制单元，第一流体控制单元设置于反应室内并设置在第一传输管路上，集成控制单元用于控制第一流体控制单元，以开启或阻断掺杂剂向衬底表面的输送。通过本申请提供的MPCVD系统及金刚石薄膜生长掺杂控制方法，可以使得金刚石薄膜生长的原位掺杂更可控，掺杂深度更易控制，显著提高了金刚石薄膜外延生长陡峭掺杂与异质界面的陡峭度。
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公开(公告)号：CN114166803B
公开(公告)日：2024-08-20
申请号：CN202111373155.6
申请日：2021-11-19
Applicant: 南京大学
IPC: G01N21/63
Abstract: 本发明公开了金刚石氮‑空位色心阵列传感器，涉及一种金刚石半导体传感器，包括传感器、金刚石衬底、金刚石外延层、NV色心层、纳米柱阵列结构和纳米柱阵列天线，所述传感器底端具有金刚石衬底，在所述金刚石衬底正面上有一层金刚石外延层，所述金刚石外延层是n型半导体，所述金刚石外延层表面存在采用原位MPCVD生长方式得到NV色心层，所述传感器NV色心层中NV色心的取向得到了择优取向，其中NV色心层具有10nm和50nm之间的厚度，所述金刚石外延层即传感接触层结构为纳米柱阵列结构，述传感接触层纳米柱包括金刚石纳米柱、介质层和金属层，所述介质层淀积在金刚石纳米柱表面，所述金属层淀积在介质层表面。
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公开(公告)号：CN114561632A
公开(公告)日：2022-05-31
申请号：CN202210197268.3
申请日：2022-03-02
Applicant: 南京大学
IPC: C23C16/511 , C23C16/27 , C23C16/455 , C23C16/52 , C30B25/14 , C30B25/16 , C30B29/04
Abstract: 一种可实现有效掺杂的MPCVD设备，包括反应室和气体输入结构，所述气体输入结构包括两路反应气体管道，第一路管道连接的分配器将气体均匀输运道到反应室中，气体出口位于反应室顶部附近，将反应气体均匀地输运到反应室中，该气体分配器位于腔室的顶部区域；第一路管道用于传输第一反应物，第二路管道通过一圆环气体分配器将掺杂反应气体均匀地输入到衬底表面，所述第二管道输气环水平高度和衬底支托保持一致，所述输气环可放置于中心位置，和支托呈内同心结构，所述输气环也可放置于支托周围，和支托呈现外同心结构。本发明采取两个管道分别传输反应气体的方式，可有效实现MPCVD的掺杂效果。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114166803A
公开(公告)日：2022-03-11
申请号：CN202111373155.6
申请日：2021-11-19
Applicant: 南京大学
IPC: G01N21/63
Abstract: 本发明公开了金刚石氮‑空位色心阵列传感器，涉及一种金刚石半导体传感器，包括传感器、金刚石衬底、金刚石外延层、NV色心层、纳米柱阵列结构和纳米柱阵列天线，所述传感器底端具有金刚石衬底，在所述金刚石衬底正面上有一层金刚石外延层，所述金刚石外延层是n型半导体，所述金刚石外延层表面存在采用原位MPCVD生长方式得到NV色心层，所述传感器NV色心层中NV色心的取向得到了择优取向，其中NV色心层具有10nm和50nm之间的厚度，所述金刚石外延层即传感接触层结构为纳米柱阵列结构，述传感接触层纳米柱包括金刚石纳米柱、介质层和金属层，所述介质层淀积在金刚石纳米柱表面，所述金属层淀积在介质层表面。
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公开(公告)号：CN110054244A
公开(公告)日：2019-07-26
申请号：CN201910192409.0
申请日：2019-03-14
Applicant: 南京大学
IPC: C02F1/14
Abstract: 本发明公开了基于具有高吸光性能木头太阳能水蒸气产生系统，包括温室、冷凝水导流槽、冷凝水收集瓶、木制的水池、木制盖板、金属绳索、曲面反射镜；木制盖板漂浮于木制的水池表面，该水池悬挂于搭建的温室内；在温室底部安放一块以上反光投向木制的水池的曲面反射镜或在温室底部可安放一块覆盖温室底面的大面积曲面反射镜；设有起码两个沿温室两壁倾斜放置的冷凝水导流槽和两个冷凝水收集瓶；本发明实现了太阳光的高效利用，可应用于大面积太阳能水蒸气产生。
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公开(公告)号：CN105576054A
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：CN201610169554.3
申请日：2016-03-23
Applicant: 南京大学
IPC: H01L31/04 , H01L31/0236 , B82Y30/00
CPC classification number: Y02E10/50 , H01L31/04 , B82Y30/00 , H01L31/0236
Abstract: 本发明公开了基于蝶形等离激元增强天线的纳米线中间带太阳能电池结构，二氧化硅或石英衬底上为平躺的氧掺杂碲化锌/氧化锌核壳结构纳米线，氧化锌在外层，氧掺杂碲化锌/氧化锌核壳结构的纳米线长度为1-10um，核壳结构纳米线的直径为200-400nm，氧化锌的厚度为5-40nm；核壳结构纳米线的两侧设有若干对金属铝蝶形天线，每一对金属铝蝶形天线为尖端对尖端的三棱锥结构，每一对蝶形天线中两个尖端对尖端的三棱锥相对于纳米线是可以是中心对称的，也可以是非中心对称的。主要解决中间带太阳能电池吸收层中间带态密度小而吸收效率偏低的问题，实现太阳光全光谱吸收增强而提高器件整体光电转换效率。
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公开(公告)号：CN116463609A
公开(公告)日：2023-07-21
申请号：CN202310328517.2
申请日：2023-03-30
Applicant: 南京大学
IPC: C23C16/27 , C23C16/52 , C23C16/458 , C23C16/455 , C23C16/511
Abstract: 一种有效实现金刚石中硅掺杂的设备，采用MPCVD系统，包括气体控制模块、微波模块和包括反应腔室的反应沉积模块；所述的反应沉积模块，包括石英窗、反应腔室、样品台和样品托，微波通过石英窗进入反应腔室，样品托置于样品台上在反应腔中；所述的样品托呈圆柱体状，样品托周围有进气环用于气体从下方进入，带孔样品托中心有直径为2mm的通孔，用于从下方进气，样品托通孔周围有倾斜面，倾斜面与水平面具有0‑90°的不同夹角，改变衬底的角度，进行不同角度沉积生长；由腔室下方通过样品托通孔通入甲烷和氮气，温度在760‑780℃之间，制备出具有梯度分布的氮硅掺杂金刚石薄膜。
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公开(公告)号：CN114477339B
公开(公告)日：2023-03-24
申请号：CN202111615655.6
申请日：2021-12-27
Applicant: 南京大学
IPC: C02F1/14 , A01G9/14 , C02F103/08
Abstract: 本发明公开了一种协同现代农业的太阳能海水淡化系统，包括种植棚和设置在种植棚左右两侧的海水池，所述海水池内部靠近种植棚一侧的底部连通有扁平矩形导水管，所述扁平矩形导水管的一端贯穿种植棚并延伸至种植棚的中部，本发明涉及太阳能海水淡化技术领域。该协同现代农业的太阳能海水淡化系统，通过将界面蒸发系统直接耦合进农业种植棚中，具备占地面积小，易于大规模农业生产的特点，且较常规界面太阳能海水淡化技术而言，半透明状拱形蒸发桥采用具备选择性光吸收性能的有机染料，实现高透射植物生长所需阳光的同时充分利用植物生长所不需要的其他波段阳光实现高效海水淡化，以提供植物生长所需的淡水。
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