公开(公告)号：CN101709763A

公开(公告)日：2010-05-19

申请号：CN200910273183.3

申请日：2009-12-10

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 陈学东 ,  李小平 ,  刘雷钧 ,  李巍 ,  廖飞红 ,  罗欣 ,  曾理湛 ,  徐振高

IPC: F16F15/03

Abstract: 本发明提供一种水平二自由度隔振机构，包括一连接板，连接板中心插有活塞杆，圆盘的沿周均匀安放有四个磁浮单元。利用磁铁(包括电磁铁和永磁体)的同极相斥产生的正刚度特性，以及磁铁异极相吸产生的负刚度特性，将磁浮单元设计为正负刚度并联的水平二自由度隔振系统。由于正负刚度并联使刚度相互抵消，因此，该水平二自由度隔振机构拥有接近零的固有刚度，从而实现超低频水平隔振。

公开(公告)号：CN202317689U

公开(公告)日：2012-07-11

申请号：CN201120451882.5

申请日：2011-11-15

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 陈学东 ,  李巍 ,  罗欣 ,  李小平

IPC: B23Q1/25 ,  B23Q1/26 ,  B23Q1/38

Abstract: 本实用新型公开了一种超精密工作台，它包括宏运动平台与微位移工作台，其中宏运动平台的导轨形式采用气浮导轨，微位移工作台与宏运动平台连接，并随宏运动平台一起沿X向、Y向移动。微位移工作台中包含压电智能结构，其中该压电智能结构既能感知外界对其施加的力、位移等信号，又能主动地对外界施加力、位移等。此外，压电智能结构不仅可以用于超精密工作台的微位移工作台中，而且也可以制成类似弹簧-阻尼系统的俘能机构，应用在超精密工作台中。本实用新型可以广泛应用于超精密机床、超精密测量、微电子制造等领域。