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公开(公告)号：CN112051302B
公开(公告)日：2023-05-12
申请号：CN202010734204.3
申请日：2020-07-27
Applicant: 北京航天控制仪器研究所
Abstract: 本发明涉及一种原子气室中碱金属量的测量方法，属于原子气室碱金属量测量技术领域。该方法在原子气室玻璃壳熔封前，在玻璃壳底面镀一层高热导率的薄膜材料，随后将气室玻璃壳接入真空充排气系统完成碱金属和气体的填充。熔封取下气室，利用热风枪或者施加温度梯度，使得原子气室内的碱金属聚集分布于镀有高热导率膜层的玻璃气室内壁面。采用差示扫描量热仪对该气室中的碱金属量进行测量即可得到高精度的测量结果。本方法通过采用高热导率材料增强碱金属颗粒间的传热，缩短碱金属熔程，提高了原子气室中碱金属量的测量准确度。
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公开(公告)号：CN111044560B
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN201911253722.7
申请日：2019-12-09
Applicant: 北京航天控制仪器研究所
IPC: G01N25/20
Abstract: 本发明一种快速评估原子气室寿命的方法，该方法首先调控原子气室中碱金属的分布状态实现稳定集中的区域分布，并且采用与待测原子气室样品等同的玻璃壳封装标准样品对差示扫描量热仪进行校准，来保证对气室中碱金属量的准确测量，然后在高温T下对气室进行加速老化，以时间t1为间隔周期性监测气室中碱金属量，当碱金属量线性减小时，在三个不同温度T0、T1、T2下对气室进行加速老化，得到这些温度下碱金属的消耗速率，最后由阿伦尼乌斯方程外推得到使用温度下气室中碱金属的消耗速率，即可根据初始碱金属量实现对原子气室寿命的快速评估。与传统长达数年的追踪测试碱金属量方法相比，本方法既准确测得碱金属消耗速率又可以在短期内完成对原子气室寿命的评估。
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公开(公告)号：CN113751445A
公开(公告)日：2021-12-07
申请号：CN202110939179.7
申请日：2021-08-16
Applicant: 北京航天控制仪器研究所
Abstract: 本发明提供了一种微小型原子气室玻壳的清洗装置及方法，应用于微小型原子气室制造领域。为解决微小型原子气室内腔不易清洗的难题，本发明中首先利用微纳气泡发生器在去离子水中产生大量微米‑纳米尺度粒径的气泡，然后通过微型泵和毛细管将富气泡水不断泵入玻壳内进行冲刷；同时结合超声波发生器对玻壳内外进行清洗，能够有效去除玻壳内外壁面附着的杂质。本发明对于微小型玻壳具有良好的清洗效果，尤其是微小型玻壳内壁的油性物质和无机盐离子。利用本发明可有效提高微小型原子气室玻壳的洁净度，为高性能原子气室的制备奠定基础。
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公开(公告)号：CN109737945B
公开(公告)日：2021-04-13
申请号：CN201910094885.9
申请日：2019-01-31
Applicant: 北京航天控制仪器研究所
IPC: G01C19/58
Abstract: 本发明涉及一种用于SERF陀螺仪双波片耦合探测光调制检测系统及方法。SERF陀螺仪信号检测通常为对经过碱金属气室线偏振光光旋角的检测。在使用电光调制器实现光旋角信号调制检测过程中，需要对电光调制器和λ/4波片装配角度精确的满足一定要求。本发明通过设计正交双λ/4波片耦合电光调制器光路，实现对探测光光旋角的调制检测，保证光旋角检测信号的信噪比。解决了调制光路中电光调制器和λ/4波片装配方位角精确控制以及探测光解调信号零位工作点调整的问题。
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公开(公告)号：CN108645397B
公开(公告)日：2020-08-14
申请号：CN201810291497.5
申请日：2018-04-03
Applicant: 北京航天控制仪器研究所
IPC: G01C19/5769
Abstract: 本发明公开了一种石英盘式谐振微机械陀螺谐振子的制造方法，包括如下步骤：刻蚀碳化硅晶圆，制作与盘式谐振子微结构相对应的刻蚀槽；对刻蚀完成的碳化硅晶圆和石英玻璃进行键合；以高于石英玻璃软化点的温度对晶圆键合结构进行加热，直至石英玻璃均匀灌入碳化硅晶圆的刻蚀槽内，停止加热；对灌入石英玻璃的碳化硅晶圆进行减薄抛光，去除刻蚀槽以外石英玻璃；采用干法刻蚀工艺去除碳化硅，完成石英盘式谐振子结构释放。本发明解决了石英盘式微结构制造工艺难度大的问题，实现了石英盘式谐振微机械陀螺谐振子的高精度批量制造。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108411253B
公开(公告)日：2020-08-14
申请号：CN201711420607.5
申请日：2017-12-25
Applicant: 北京航天控制仪器研究所
Abstract: 一种碱金属定量填充的原子气室制备方法包括充排气系统、N个原子气室、碱金属分装容器、温箱、TEC控温系统、碱金属发生器、用于连接充排气系统和碱金属分装容器的真空阀1、用于连接碱金属分装容器和碱金属发生器的真空阀2、用于连接碱金属分装容器和1号原子气室的真空阀3。本发明通过主动精确控制碱金属分装容器内温度分布，从而实现碱金属的定向沉积。利用某一原子气室进行沉积速率的标定进而实现碱金属的定量填充。本发明在上述碱金属定量填充过程中采用主动控温实现碱金属定向、定量填充，与传统填充方式相比，不仅实现了所填充碱金属的量化控制，同时提高了填充的一致性，更为原子气室的批量生产提供了可行方案。
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公开(公告)号：CN107311103B
公开(公告)日：2019-04-09
申请号：CN201710509651.7
申请日：2017-06-28
Applicant: 北京航天控制仪器研究所
Abstract: 本发明公开了一种微型石英玻璃原子气室的制造方法，包括如下步骤：将碱金属原子封装到玻璃微腔中，并充入惰性气体；制造下层封装块、中层封装块和上层封装块；组装下层封装块、中层封装块、上层封装块和玻璃微腔，并密封，形成一个密闭的腔体；以高于玻璃微腔软化点的温度加热多个密闭的腔体，直至玻璃微腔结构被破坏后，停止加热；以中层封装块为基准，切割停止加热后的多个密闭的腔体，形成微型石英玻璃原子气室。本发明通过设置玻璃微腔，确保了原子气室的纯净度，解决了传统微型原子气室制造工艺难度大且腔室纯净度差的问题；通过同步加热多个密闭腔体，实现了原子气室的量产，弥补了传统微型原子气室制造设备要求高且不易批量生产的缺陷。
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公开(公告)号：CN108281349A
公开(公告)日：2018-07-13
申请号：CN201810093853.2
申请日：2018-01-31
Applicant: 北京航天控制仪器研究所
IPC: H01L21/027
Abstract: 一种实现高陡直度深硅刻蚀结构的光刻工艺方法，涉及硅微机械加工技术领域；包括如下步骤：步骤(一)、在待刻蚀晶圆上表面涂覆光刻胶；步骤(二)、采用热板对涂覆有光刻胶的晶圆进行烘烤；步骤(三)、在光刻胶的上表面进行曝光显影，形成预先设计图形的光刻胶掩膜；步骤(四)、采用氩等离子体对光刻胶掩膜的外表面进行轰击处理；步骤(五)、在光刻胶掩膜的上表面，采用氧等离子体对光刻胶掩膜进行边角削除；得到最终图形成型的光刻胶掩膜；步骤(六)、通过最终图形成型的光刻胶掩膜，对待刻蚀晶圆进行深硅刻蚀；本发明使光刻胶掩膜具有更强的抗刻蚀能力、更高的图形符合度，有利于实现高陡直度深硅刻蚀结构。
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公开(公告)号：CN106525018A
公开(公告)日：2017-03-22
申请号：CN201610867727.9
申请日：2016-09-29
Applicant: 北京航天控制仪器研究所
IPC: G01C19/62
CPC classification number: G01C19/62
Abstract: 本发明提供了一种用于核磁共振陀螺仪的高精度静磁场发生装置，该装置包括线圈支撑骨架和静磁场线圈两部分结构。其中，线圈支撑骨架为圆筒形，其内部放置原子气室及加热相关结构件，线圈支撑骨架的侧壁上设置有多道对称分布的环形绕线凹槽，用来固定静磁场线圈。静磁场线圈为上下对称的多组圆形线圈，其对称面为线圈支撑骨架的中心横截面，线圈采用一根漆包铜线绕制，每组缠绕匝数相同，通过特定的位置分布控制，能为核磁共振陀螺仪的气室所在区域提供均匀性极高的高精度静磁场。本发明与现有技术相比磁场均匀性好，结构更为紧凑，易于安装和维护，易实现工程化。
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公开(公告)号：CN117023956A
公开(公告)日：2023-11-10
申请号：CN202310784586.4
申请日：2023-06-29
Applicant: 北京航天控制仪器研究所
Abstract: 本发明涉及一种用于原子气室残余应力消除的深冷‑退火处理方法，包括：1、原子气室自室温以速率V降温至第一预设温度，保温第一时长；2、以速率V降温至第二预设温度，保温第二时长，第二预设温度高于液氮温度5～30℃，第一预设温度取室温到第二预设温度的中值；3、以速率V升温至第一预设温度，保温第一时长；4、以速率V升温至室温，保温第一时长；5、以速率V降温至第二预设温度，再以速率V升温至室温；6、重复步骤5至少2次；7、以速率V升温至第三预设温度，保温第二时长，第三预设温度低于光学镀膜承受温度；本发明在保证原子气室高透光率、长弛豫时间等优异性能的前提下，显著消除原子气室残余应力，改善其抗振动冲击性能。
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