反射腔式差动共焦超大曲率半径测量方法

    公开(公告)号:CN103673927A

    公开(公告)日:2014-03-26

    申请号:CN201310556613.9

    申请日:2013-11-11

    Abstract: 本发明属于光学精密测量技术领域,涉及一种反射腔式差动共焦超大曲率半径测量方法。该方法通过差动共焦定焦原理配合平行平晶精确定位被测表面的焦点位置,进而实现超大曲率半径的高精度测量。本发明提出差动共焦定焦原理与反射腔式折叠光路原理相结合的方法,具有被测件移动距离小、测量精度高、测量速度快、抗环境干扰能力强、对被测表面无损伤等优点,可用于超大曲率半径的高精度非接触测量。

    共焦系统球差测量方法
    22.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102661853B

    公开(公告)日:2014-03-26

    申请号:CN201210140645.6

    申请日:2012-05-08

    Abstract: 本发明属于光学精密测量技术领域,涉及一种共焦系统球差测量方法。该方法将环形光瞳滤波技术和共焦定焦技术融合,测得当不同通光高度的环形光束通过被测系统后其聚焦焦点移动的距离,进而得到被测系统的球差。本发明首次将共焦测量技术扩展到系统球差测量领域,具有测量精度高、光路简单、抗环境干扰能力强等优点,可用于系统球差的高精度检测。

    自准直式差动共焦透镜焦距测量方法

    公开(公告)号:CN102589853B

    公开(公告)日:2014-01-08

    申请号:CN201210011997.1

    申请日:2012-01-16

    Abstract: 本发明属于光学精密测量技术领域,涉及一种自准直式差动共焦透镜焦距测量方法。该方法将自准直思想融入到差动共焦测量方法中,进而实现透镜顶焦距及焦距的高精度测量。其核心思想是,引入辅助平面反射镜将被测透镜准直成的平行光束沿原光路反射,并配合差动共焦技术对被测透镜的焦点及表面顶点进行精确定位,进而得到被测透镜的顶焦距及焦距。本发明首次将自准直测量思想融入差动共焦测量方法,利用差动共焦响应曲线的过零点精确确定被测透镜的焦点及表面顶点位置,具有测量精度高、抗环境干扰能力强等优点,可用于透镜焦距的高精度检测。

    自准直式共焦透镜焦距测量方法

    公开(公告)号:CN102589852B

    公开(公告)日:2014-01-08

    申请号:CN201210011883.7

    申请日:2012-01-16

    Abstract: 本发明属于光学精密测量技术领域,涉及一种自准直式共焦透镜焦距测量方法。该方法将自准直思想融入到共焦测量方法中,进而实现透镜顶焦距及焦距的高精度测量。其核心思想是,引入辅助平面反射镜将被测透镜准直成的平行光束沿原光路反射,并配合共焦技术对被测透镜的焦点及表面顶点进行精确定位,进而得到被测透镜的顶焦距及焦距。本发明首次将自准直测量思想融入共焦测量方法,利用共焦响应曲线的最大值点精确确定被测透镜的焦点及表面顶点位置,具有测量精度高、抗环境干扰能力强等优点,可用于透镜焦距的高精度检测。

    反射式共焦透镜焦距测量方法

    公开(公告)号:CN102589851B

    公开(公告)日:2014-01-08

    申请号:CN201210011839.6

    申请日:2012-01-16

    Abstract: 本发明属于光学精密测量技术领域,涉及一种反射式共焦透镜焦距测量方法。该方法通过共焦测量方法配合平面反射镜精确定位透镜表面顶点和焦点位置,进而测得透镜顶焦距及焦距。本发明首次提出通过共焦响应曲线最大值点对应被测透镜焦点和表面顶点特性实现精确定焦,将共焦测量技术扩展到透镜焦距测量领域,具有测量精度高、光路简单、抗环境干扰能力强等优点,可用于透镜焦距的高精度检测。

    共焦抛物面顶点曲率半径测量方法

    公开(公告)号:CN103471524A

    公开(公告)日:2013-12-25

    申请号:CN201310449577.6

    申请日:2013-09-27

    Abstract: 本发明属于光学精密测量技术领域,涉及一种共焦抛物面顶点曲率半径测量方法。该方法利用抛物面可将聚焦于其焦点的光束无像差地准直成平行光束的特性,结合部分平面反射镜构建自反射光路,利用共焦响应曲线的最大值点精确定位抛物面的顶点及焦点位置,进而精确测得抛物面的焦距及顶点曲率半径值。本发明首次提出将差动共焦测量技术扩展到抛物面顶点曲率半径测量领域,具有测量精度高、抗环境干扰能力强的优点,可用于抛物面顶点曲率半径的高精度检测。

    差动共焦内调焦法透镜光轴及厚度测量方法与装置

    公开(公告)号:CN103123251A

    公开(公告)日:2013-05-29

    申请号:CN201010121848.1

    申请日:2010-03-11

    Abstract: 本发明属于光学精密测量技术领域,涉及一种差动共焦内调焦法透镜光轴及厚度测量方法与装置。该方法借助内调焦物镜,使用自准直法,对透镜光轴进行高精度调整,使用差动共焦响应曲线过绝对零点时差动共焦光锥顶点与被测透镜表面顶点重合的特性,实现透镜表面顶点的精确定位,并获取差动共焦光锥顶点两次定位时出射光的数值孔径角,利用光线追迹公式计算出透镜中心厚度。同时在测量光路中引入环形光瞳,削减了像差对测量结果的影响。本发明首次将差动共焦与内调焦融合,提出了差动共焦内调焦法透镜光轴及厚度测量原理,具有测量速度快、精度高、灵敏度高、结构简单及工作距离长的优点,可用于透镜光轴及中心厚度的非接触高精度测量。

    共焦干涉定焦及曲率半径测量方法

    公开(公告)号:CN102175426B

    公开(公告)日:2013-05-22

    申请号:CN201110038297.7

    申请日:2011-02-15

    Abstract: 本发明涉及一种共焦干涉定焦及曲率半径测量方法,属于光学精密测量技术领域。本发明是在共焦光路的基础上引入干涉参考光,然后利用该共焦干涉响应曲线的最大值来精确定位被测球面元件表面的顶点及球心位置,进而得到被测球面元件表面的曲率半径,最大限度地锐化共焦响应曲线的主瓣。本发明首次运用传统的共焦干涉显微成像技术提高光学测量系统的定焦精度,使系统具有更高的轴向分辨力,且该系统结构简洁,降低了该系统装置的研发成本。

    自准直式差动共焦透镜焦距测量方法

    公开(公告)号:CN102589853A

    公开(公告)日:2012-07-18

    申请号:CN201210011997.1

    申请日:2012-01-16

    Abstract: 本发明属于光学精密测量技术领域,涉及一种自准直式差动共焦透镜焦距测量方法。该方法将自准直思想融入到差动共焦测量方法中,进而实现透镜顶焦距及焦距的高精度测量。其核心思想是,引入辅助平面反射镜将被测透镜准直成的平行光束沿原光路反射,并配合差动共焦技术对被测透镜的焦点及表面顶点进行精确定位,进而得到被测透镜的顶焦距及焦距。本发明首次将自准直测量思想融入差动共焦测量方法,利用差动共焦响应曲线的过零点精确确定被测透镜的焦点及表面顶点位置,具有测量精度高、抗环境干扰能力强等优点,可用于透镜焦距的高精度检测。

    自准直式共焦透镜焦距测量方法

    公开(公告)号:CN102589852A

    公开(公告)日:2012-07-18

    申请号:CN201210011883.7

    申请日:2012-01-16

    Abstract: 本发明属于光学精密测量技术领域,涉及一种自准直式共焦透镜焦距测量方法。该方法将自准直思想融入到共焦测量方法中,进而实现透镜顶焦距及焦距的高精度测量。其核心思想是,引入辅助平面反射镜将被测透镜准直成的平行光束沿原光路反射,并配合共焦技术对被测透镜的焦点及表面顶点进行精确定位,进而得到被测透镜的顶焦距及焦距。本发明首次将自准直测量思想融入共焦测量方法,利用共焦响应曲线的最大值点精确确定被测透镜的焦点及表面顶点位置,具有测量精度高、抗环境干扰能力强等优点,可用于透镜焦距的高精度检测。

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