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公开(公告)号：CN118707812A
公开(公告)日：2024-09-27
申请号：CN202410889075.3
申请日：2024-07-04
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供了一种具有多工位的光刻机工件台交换装置，属于半导体制造装备技术领域，包括：下底座、第一滑移结构、第二滑移结构、第一直线电机、第二直线电机以及两个微动台，且微动台与第一滑移结构中的第一滑块、第二滑移结构中的第二滑块相连，其中，通过第一直线电机带动微动台沿X轴方向移动，第二直线电机带动微动台沿Y轴方向移动，通过微动台能够抵消第一直线电机、第二直线电机在运行过程中所产生的相应误差。本发明实现了X轴方向和Y轴方向的运动误差解耦，避免误差累加，提高位置调节的精准性，而且实现了多工位下晶圆能够同步曝光和校准，提高了工作效率，且具有扩展性。
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公开(公告)号：CN118700207A
公开(公告)日：2024-09-27
申请号：CN202411171003.1
申请日：2024-08-26
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
IPC: B25J17/02 , B25J19/00 , G01M13/00 , G01M13/027
Abstract: 本发明公开了一种人形机器人的线性关节及其性能测试平台，所述线性关节包括壳体组件、电机、反向式行星滚柱丝杆和拉扭复合力传感器，电机位于壳体组件内，用于产生径向的旋转运动；反向式行星滚柱丝杆设置于电机的内侧，用于将电机的旋转运动转换为轴向的直线运动；拉扭复合力传感器用于实时测量反向式行星滚柱丝杆输出端的推拉力和输入端的扭矩，从而实时计算出丝杆传动的效率。本发明提供的人形机器人的线性关节通过测量反作用力的方式，采用一个拉扭复合力传感器既能检测出丝杆输出端的推拉力，又能检测出丝杆输入端的扭矩，从而能够实时计算出线性关节的丝杆传动效率，对于人形机器人最佳步态的优化具有重要意义。
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公开(公告)号：CN107959367B
公开(公告)日：2024-09-17
申请号：CN201610906193.6
申请日：2016-10-18
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
Abstract: 本发明提供一种双定子混合励磁涡流阻尼装置，该装置呈中空结构，包括外定子、转子与内定子；外定子固定在外支撑座上，包括数个铁芯齿以及绕行在各铁芯齿上的励磁绕组，彼此相邻的铁芯齿之间的槽口由第一永磁体密封；内定子固定在内支撑座上，包括数个铁芯齿以及绕行在各铁芯齿上的励磁绕组，彼此相邻的铁芯齿之间的槽口由第二永磁体密封。该涡流阻尼装置质量轻，气隙磁场由励磁绕组和永磁体共同产生，因此能提供的气隙磁场幅值大、可调节、效率高。当转子优选采用铜‑钢‑铜结构排布时，能够进一步提高径向气隙磁密和电导率，产生更大的阻尼转矩。
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公开(公告)号：CN115833520B
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN202211506206.2
申请日：2022-11-28
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
Abstract: 本发明公开了一种U型Halbach复合永磁游标无磁轨直线电机，其包括动子和定子，动子和定子之间分布有气隙，动子包括动子铁芯、多个绕组和多个永磁体，动子铁芯包括动子轭部和多个动子齿部，多个动子齿部通过动子轭部相互连接，并沿动子的运动方向间隔排列；多个动子齿部包括多个完整的动子齿部和两个剖分一半的动子齿部，两个剖分一半的动子齿部分别位于动子的两个边端，多个完整的动子齿部分布于两个剖分一半的动子齿部之间，且所有的动子齿部配合构成三相电机结构。与现有技术相比，本发明的直线电机具有低磁钢、高推力密度、高效率、高精度和高可靠性等优点。
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公开(公告)号：CN115384739A
公开(公告)日：2022-11-25
申请号：CN202211083855.6
申请日：2022-09-06
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
Abstract: 本发明公开了一种低温升水下推进器，包括导管及位于导管内的永磁电机、轮辋块和螺旋桨，永磁电机包括定子和位于定子内的转子，转子与定子之间形成有第一间隙；轮辋块与转子相连，且轮辋块与导管内壁之间形成有第二间隙，第二间隙与第一间隙相连通形成包裹住定子的端部和外侧表面的且供冷却液流动的间隙流道；螺旋桨位于转子内部且与转子相连。本发明可以极大的降低电机的整体温度，均衡推进器整体温度，提高水下推进器的整体可靠性，可在大功率民用船和军用船上产生较好的预期效果。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110247493B
公开(公告)日：2020-08-18
申请号：CN201910530906.7
申请日：2019-06-19
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
Abstract: 本发明涉及一种永磁转子以及球形电机，所述永磁转子为呈球形的壳体，所述永磁转子由多块第一正多边形弧块以及环绕所述第一正多边形弧块设置的多块第二正多边形弧块构成，所述第一正多边形弧块以永磁转子的球心为中心呈球对称分布，所述第一正多边形弧块的充磁方向为径向，所述第二正多边形弧块的充磁方向垂直于第一正多边形弧块与所述第二正多边形弧块的共用面。上述技术方案的有益效果为：通过设置第一正多边形弧块与第二正多边形弧块，使得第一正多边形弧块与第二正多边形弧块的磁场互相叠加，产生强磁场，从而提高永磁转子的磁场强度，使得永磁转子具有更好的可控性。
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公开(公告)号：CN107959367A
公开(公告)日：2018-04-24
申请号：CN201610906193.6
申请日：2016-10-18
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
Abstract: 本发明提供一种双定子混合励磁涡流阻尼装置，该装置呈中空结构，包括外定子、转子与内定子；外定子固定在外支撑座上，包括数个铁芯齿以及绕行在各铁芯齿上的励磁绕组，彼此相邻的铁芯齿之间的槽口由第一永磁体密封；内定子固定在内支撑座上，包括数个铁芯齿以及绕行在各铁芯齿上的励磁绕组，彼此相邻的铁芯齿之间的槽口由第二永磁体密封。该涡流阻尼装置质量轻，气隙磁场由励磁绕组和永磁体共同产生，因此能提供的气隙磁场幅值大、可调节、效率高。当转子优选采用铜-钢-铜结构排布时，能够进一步提高径向气隙磁密和电导率，产生更大的阻尼转矩。
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公开(公告)号：CN104723219B
公开(公告)日：2018-01-30
申请号：CN201310717921.5
申请日：2013-12-23
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
IPC: B24B47/20
Abstract: 本发明提供了一种恒力抛光进给装置及抛光机，包括：抛光轮、力传感器和直线电机；力传感器与抛光轮连接，用于感应抛光轮在工作过程中所承受的压力；力传感器与直线电机电连接，用于将感应到的压力信号发送至直线电机；直线电机与抛光轮传动连接，用于根据接收到的压力信号驱动抛光轮作直线运动。其设计合理、结构简单、并能保持抛光力恒定。
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公开(公告)号：CN105634241A
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：CN201610050949.1
申请日：2016-01-25
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
IPC: H02K41/035 , H02K1/17 , H02K1/26
CPC classification number: H02K41/0354 , H02K1/17 , H02K1/26
Abstract: 本发明提供了一种微纳定位装置及音圈电机。该音圈电机包括：底板，包括上底板与下底板；定子组件，包括轭部机构及四组Halbach阵列永磁体，轭部机构包括上部磁轭、中部磁轭及下部磁轭，上部磁轭、中部磁轭与下部磁轭共同围成上下两个气隙；每组Halbach阵列永磁体均包括至少两个径向充磁永磁体及至少两个轴向充磁永磁体，至少两个径向充磁永磁体与至少两个轴向充磁永磁体间隔设置，且径向充磁永磁体与轴向充磁永磁体沿轴向方向的宽度不相等；动子组件，安装于定子组件的两个气隙中；及支撑组件。基于双边Halbach阵列永磁体的聚磁效应与并联磁路，实现音圈电机的高精度与大推力的统一，使得音圈电机能够输出较大的推力，进而保证推力波动幅度仅为±0.21％。
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公开(公告)号：CN104723219A
公开(公告)日：2015-06-24
申请号：CN201310717921.5
申请日：2013-12-23
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
IPC: B24B47/20
Abstract: 本发明提供了一种恒力抛光进给装置及抛光机，包括：抛光轮、力传感器和直线电机；力传感器与抛光轮连接，用于感应抛光轮在工作过程中所承受的压力；力传感器与直线电机电连接，用于将感应到的压力信号发送至直线电机；直线电机与抛光轮传动连接，用于根据接收到的压力信号驱动抛光轮作直线运动。其设计合理、结构简单、并能保持抛光力恒定。
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