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公开(公告)号：CN104034279B
公开(公告)日：2016-09-21
申请号：CN201410264644.1
申请日：2014-06-14
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B11/24
CPC classification number: G01B9/02038 , G01B9/02001 , G01B9/02041 , G01B11/2441
Abstract: 本发明提供一种利用小孔衍射波面拼接测量面形的检测装置及方法，从激光器发射的光经过滤波孔、第一聚光镜、空间滤波器、扩束镜、λ/2波片、λ/4波片、经过衰减片后经分光镜透射，再经反射镜反射的光再经分光镜反射，再经第一光学调整架，第二聚光镜组照射到小孔。小孔产生的一部分衍射光照射到待测镜面，待测镜面的反射光经小孔边框反射后与小孔的另一部分衍射波面产生干涉条纹，干涉条纹经过会聚光学单元，再由光学探测器收集。待测镜面放置在第二光学调整架上，可以沿待测镜法线方向进行移动，进行环孔径拼接测量，同时可以控制第一光学调整架旋转和平移，对待测镜面进行扫描拼接测量。
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公开(公告)号：CN102865809B
公开(公告)日：2015-01-28
申请号：CN201210325586.X
申请日：2012-09-05
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 本发明是一种子孔径拼接干涉仪系统，包括在地面隔振单元、填充物，隔断层、第一主动隔振单元、平台、气浮导轨、第一平台、第二主动隔振单元、第二平台、移动机构、转台、待测光学镜片、气浮导轨、衍架、透明罩。本发明提供一种带有隔振效果的子孔径拼接干涉仪机构是通过多层隔振处理，可以隔离地面振动对测量的影响，通过加上玻璃罩，在测量空间中充氮气，减少气流和温度波动，通过在气浮导轨上方加主动隔振单元，减少气膜波动对移相的影响。同时，机构可以做二维平移和旋转的运动，可以在拼接过程中实现绝对测量。本发明还提供一种使用子孔径拼接干涉仪系统测量光学镜片面形的方法。
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公开(公告)号：CN102788563B
公开(公告)日：2014-09-10
申请号：CN201210319845.8
申请日：2012-08-31
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种在平面子孔径拼接测量中调整被测镜倾斜的装置和方法，该装置包括菲索移相干涉仪，标准镜，半透半反镜，被测镜，激光自准直仪，二维平移台，倾斜调整装置，转台，平面反射镜，计算机，探测器和聚焦透镜，利用该装置在第一子孔径位置处进行调平，并建立被测镜和标准镜平行的基准点，然后再在其它子孔径位置处，以此基准点为基准计算被测镜的倾斜量，然后再对被测镜的位姿进行调整，从而减小子孔径面形中的倾斜量，提高平面子孔径拼接测量的精度。
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公开(公告)号：CN102788562A
公开(公告)日：2012-11-21
申请号：CN201210304174.8
申请日：2012-08-24
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明是一种带有运动坐标反馈的子孔径拼接面形检测装置，将待测镜放置在二维平移台上，计算机控制二维平移台使待测镜在平面上进行二维运动，待测镜两个侧面放置反射镜，同时反射镜对面放置测长干涉仪系统，测长干涉仪系统通过五路激光，测出待测镜二维运动后的x，y方向的定位误差和x，y方向的倾斜，测长干涉仪系统将测量数据反馈到计算机，利用子孔径位置补偿算法来将x，y方向的定位误差和x，y方向的倾斜误差带入算法中去拼接计算。本发明在原有的子孔径拼接算法基础上，通过测量子孔径拼接过程中的定位、倾斜误差并带入算法来提高测量精度。
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公开(公告)号：CN1975507B
公开(公告)日：2011-08-31
申请号：CN200610165157.5
申请日：2006-12-14
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 添加导引光的条阵大功率半导体激光器(High-Power Laser Diode Bar，简称LD)的整形方法：(1)通过计算光纤纤芯半径和孔径角一半的乘积，以及LD光束在快慢轴两个方向上的光参数积，确定对LD光束整形所需要折叠的次数，制作高反射效率的整形器；(2)采用快慢轴准直透镜阵列对分别对LD的快慢轴两个方向进行准直，得到条形的准直光斑；(3)安装整形器，实现光束的整形；(4)安装聚焦透镜和光纤，调节光纤到合适的位置，使输出的LD的功率最大；(5)从整形器的合适位置入射导引光，调节导引光到适当的位置，使从光纤输出的导引光的光功率达到最大。本发明光路设计紧凑合理，不改变LD的光路，避免了在LD光路中引入新的散射和反射损失，保证了LD的光路稳定性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101303453B
公开(公告)日：2010-06-30
申请号：CN200810116169.8
申请日：2008-07-04
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 斜方棱镜堆实现条阵半导体激光器光束整形的方法，其特征在于：(1)根据光斑折叠要求确定前后组斜方棱镜堆系统的参数和平行平板；(2)用光学平面零件加工工艺加工出所需的斜方棱镜和平行平板，然后将斜方棱镜和平行平板进行胶合操作，构成一个整体的整形元件；(3)将胶合好的斜方棱镜堆放入条阵半导体激光器的快慢轴分别准直后的准平行光中，并绕激光器底座的垂线缓慢左右旋转使偏转后的光斑沿快轴方向对齐；(4)整形后的出射光斑将沿平行于光轴的方向出射，在出射光适当位置加上聚焦镜，将整形后的光束耦合进光纤；本发明涉及的斜方棱镜堆实现条阵半导体激光器光束整形与传统方法相比具有设计简单、结构紧凑、调节方便、成本低廉等优点。
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公开(公告)号：CN1885094A
公开(公告)日：2006-12-27
申请号：CN200610089438.7
申请日：2006-06-27
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 全内反射式微棱镜阵列实现面阵半导体激光器光束整形的方法，根据面阵激光器的参数和快慢轴准直透镜参数确定准直后输出光斑两个方向的尺寸和发散角，得到需要整形的次数以及在快轴方向上的通光口径大小；选择倒置的开普勒望远系统进行快轴压缩，根据整形器在慢轴方向的尺寸选择开普勒望远系统进行慢轴扩束；加工出单个棱镜，由两个斜角为45°的面构成全反射面；将多个单棱镜按照等差梯形结构由小到大排列，粘接起来放置在压缩/扩束后的光路中，调整好了之后将整形后的光斑用聚焦透镜耦合进入多模光纤中。本发明具有调节简单、可模块化生产、装校容易以及结构紧凑等优点，且不受光学薄膜和环境温度的影响，提高了激光能量的通过率，降低了器件对耐辐射的要求。
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公开(公告)号：CN1651972A
公开(公告)日：2005-08-10
申请号：CN200510011331.6
申请日：2005-02-07
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
Abstract: 离轴型全内反射棱镜阵列实现半导体激光器光束整形方法，其特点在于：在光轴上采用具有不同位移的反射棱镜构成的光束分割阵列，使该棱镜的直角边与光轴垂直，准直后的线光束通过棱镜的第一垂直面后，被分割成数目相同的N段光束，进入棱镜内部达到45°反射面后，进入与第一个反射面互相垂直的第二个45°反射面，通过该面全反射后，从棱镜的另一个垂直面出射，由于各个棱镜有一定的位移差，被分割的光束产生旋转叠加后形成光束堆，使快轴方向的光斑尺寸增大了N倍，慢轴方向的光斑尺寸减小到原来的1/N，这样就实现了线光束到圆光束或正方形光束的变换。本发明具有调整容易、结构简单、成本低廉的特点。
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公开(公告)号：CN1407324A
公开(公告)日：2003-04-02
申请号：CN01108756.0
申请日：2001-08-20
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明公开了一种快速、简便的测量激光光束发散角的方法。本发明采用被检激光器、光阑、标准镜头、CCD相机和计算机组成的测量装置，用CCD相机接收激光器的光束在标准镜头的后焦面处形成的聚焦光斑的信号，通过计算机处理CCD相机输出的光斑信号，计算出激光器发出的激光光束的远场发散角2θ。本发明提供的方法操作简单，且能同时测量激光在各个不同方向的光束发散角，尤其适合测量小口径、小发散角、以及非径向对称的激光光束。
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公开(公告)号：CN2602516Y
公开(公告)日：2004-02-04
申请号：CN02289782.8
申请日：2002-12-16
Applicant: 中国科学院光电技术研究所
IPC: H01S5/024
Abstract: 半导体激光器专用供电、制冷、散热和控温系统包括激光器、探测器、制冷器、温控表、继电器、固态继电器及给激光器和制冷器提供稳压直流电的电源。温控表输入一路信号，输出两路信号。输入信号来源于温度探测器。输出信号一为低压电平序列信号，用于控制制冷电路。输出信号二为开关信号，用于激光器的保护。本实用新型能为激光器提供0－2伏可调的大电流小纹波系数的电源和精确控制激光器的温度，实现了激光器的温度适时监控和系统温度的制动调节。
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