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公开(公告)号：CN110227294A
公开(公告)日：2019-09-13
申请号：CN201910522250.4
申请日：2019-06-17
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: B01D35/143 , B01D35/12 , B01D29/11
Abstract: 本发明涉及抛光液循环过滤系统，其搭载于抛光机床上，包括：储液装置，储液装置为倒置布置的锥形桶，锥形桶上部为出液侧，其下部为回液侧；第一供液装置和第二供液装置，第一供液装置和第二供液装置的进液端并列连接于储液装置出液侧；第一供液装置和第二供液装置的出液端连接至抛光机床；回液装置，回液装置回液进液端连接至抛光机床的储液槽，其回液出液端连通于储液装置的进液侧，回流的抛光液从锥形桶底部冲入锥形桶内，使锥形桶内的抛光液形成自扰动；控制终端，第一供液装置、第二供液装置和回液装置均与控制终端电性连接；控制终端按照预设程序控制第一供液装置和/或第二供液装置供液提高系统供液可靠性。
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公开(公告)号：CN110039448A
公开(公告)日：2019-07-23
申请号：CN201910343316.3
申请日：2019-04-26
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本申请实施例提供一种气囊磨损监测方法以及设备，可以通过测力装置和测微仪来对气囊进行检测，从而确定出气囊的刚度和形貌是否满足抛光要求，是否需要更换气囊。这就保证了在对工件进行抛光的过程中，不会因为气囊刚度和形貌不达标而导致抛光失败或低效率抛光，进而提高了抛光加工过程的稳定性和可靠性。
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公开(公告)号：CN109187246A
公开(公告)日：2019-01-11
申请号：CN201811253224.8
申请日：2018-10-25
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明涉及一种固结磨具硬度检测装置，包括：基座，基座上具有贯穿的操作空间；基座底部远离操作空间的位置安装有可升降高度支腿；水平推动机构，水平推动机构安装于基座顶部，且不覆盖操作空间；下压推动机构，下压推动机构竖直布置，可滑动于水平推动机构上，且其底部延伸至操作空间内；压头，压头安装于下压推动机构底部，且位于操作空间内可沿竖直方向和水平方向上移动；及控制器，控制器电性连接水平推动机构和下压推动机构。本发明还提供了一种检测方法，控制方便、噪音小，适合在光学加工现场高洁净环境下应用；控制器通过内部程序控制推动器工作，控制精确，测量精度高。
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公开(公告)号：CN107081640A
公开(公告)日：2017-08-22
申请号：CN201710498275.6
申请日：2017-06-27
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: B24B1/00
CPC classification number: B24B1/00
Abstract: 本发明提供的光学元件加工方法，涉及光学加工技术领域。该光学元件加工方法包括以下步骤：等离子体熔覆抛光、等离子体快速去除和等离子体面形修正。等离子体熔覆抛光用于熔合光学元件亚表面的损伤裂纹以及改善光学元件的表面光洁度。等离子体快速去除用于消除加工过程中产生的表面及亚表面损伤，并使光学元件的面形精度小于等于2μm，光学元件表面粗糙度小于50nm。等离子体面形修正用于完成所述光学元件的表面误差的修正。该光学元件加工方法操控方便，适合批量化加工，加工精度高，效率高。
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公开(公告)号：CN109746836B
公开(公告)日：2024-04-19
申请号：CN201910143074.3
申请日：2019-02-26
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明涉及光学超精密加工磨削液智能监测报警装置及方法，包括控制器，其内部预设有磨削试验台各工况下许用的磨削液的液位值、温度值、压力值及流量值；数据采集模块，其安装于磨削试验台中与控制器电性连接，并用于采集磨削试验台磨削液上述信号；报警输出模块，控制器电性连接报警输出模块，报警输出模块与磨削试验台的控制系统可转换电性连接或断开连接；控制器根据数据采集模块采集的磨削试验台磨削液的上述信号并与其内部预设许用值比对，低于或高于预设值，控制器均控制报警输出模块报警；加工工件时报警输出模块与磨削试验台的控制系统电性接通，磨削试验台的控制系统控制磨削试验台的主轴抬起远离加工工件表面，保护工件安全。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114425732B
公开(公告)日：2022-06-03
申请号：CN202210355185.2
申请日：2022-04-06
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 发明适用于光学加工技术领域，提供了一种子口径加工工艺的自动优选方法、系统和介质，子口径加工工艺的自动优选方法包括如下步骤：获取不同去除函数的有效去除速率谱，所述有效去除速率谱为去除函数修正各空间频率误差体积的收敛速率；获取光学元件的体积谱密度函数，所述体积谱密度函数为光学元件的面形误差在各频率下所含残余误差材料体积的密度；通过所述有效去除速率谱和体积谱密度函数得到优选加工工艺。本发明提供的一种子口径加工工艺的自动优选方法、系统和介质具有加工效率高、生产成本低的优势。
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公开(公告)号：CN114290177A
公开(公告)日：2022-04-08
申请号：CN202111453340.6
申请日：2021-12-01
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: B24B13/00 , B24B49/12 , B24B27/02 , B24B13/005 , B24B47/22
Abstract: 本发明公开了一种非球面光学元件磨削加工非接触式精密对刀方法，在机床工作台上安装固定光学元件的同时，在元件的旁边不影响加工的位置固定一块油石；然后使用砂轮在元件表面磨削凹坑，将激光传感器固定在机床主轴上，测量凹坑最低点在第一坐标系中的坐标，由此计算得到测头光点和砂轮最低点之间的偏移距离；并进一步获取非球面光学元件位置并建立元件‑砂轮空间位置关系。本发明砂轮和元件没有直接接触，保证了元件表面的质量，并且对刀精度达到微米级别，提高了非球面的加工精度，避免后续停机检测进行误差修整而造成的工时增加，提高了加工效率。
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公开(公告)号：CN112959323B
公开(公告)日：2022-03-11
申请号：CN202110229969.6
申请日：2021-03-02
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明适用于机器人领域，提供了一种机器人运动误差在位检测与补偿方法及设备，其中，机器人运动误差在位检测方法包括如下步骤：基于标件的结构参数，生成目标运动轨迹；机器人使测量装置沿目标运动轨迹运动，在机器人使测量装置沿目标运动轨迹运动的过程中，通过测量装置检测得到机器人实际运动误差，将误差数据补偿到机器人运动轨迹中获得机器人补偿运动轨迹，进而抑制机器人运动误差，提升机器人运动精度。
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公开(公告)号：CN113076633A
公开(公告)日：2021-07-06
申请号：CN202110311761.9
申请日：2021-03-23
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明适用于光学元件的匀滑技术领域，本发明在常见模型的基础上进行补充和修正，提出了一种适用于大口径光学元件复杂周期波纹误差匀滑的多参数匀滑方法，包括以下步骤：步骤H1：对光学元件进行子区域划分；步骤H2：计算各子区域初始波纹误差值RMS0；步骤H3：对光学元件进行预处理试验；步骤H4：得出ΔRMS与RMS曲线的拟合斜率k'；步骤H5：获得各子区域面形波纹收敛因子矩阵；步骤H6：获得各子区域中频误差预测曲线；步骤H7：获得各子区域的加工次数；其中，RMS表示元件表面波纹误差值，RMS0表示元件表面初始波纹误差值，ΔRMS表示经过单次匀滑加工后元件表面波纹误差的变化量。可以达到较为精确的理论预测效果，为后续工艺指导提供定量化支持。
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公开(公告)号：CN111496580A
公开(公告)日：2020-08-07
申请号：CN202010336919.3
申请日：2020-04-24
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本申请提供一种大口径非球面光学元件多机协同加工系统及方法。多机协同加工系统包括机器人本体及其控制器、抛光工具、工作台、抛光液供给系统和编程仿真测试系统。本发明公开一种多机协同加工方法，通过控制指令实现多台机器人带动抛光工具按照规划路径抛光工件，并确保设备间保持安全间隔，实现多台机器人对一件大口径非球面光学元件进行协同作业。本发明具有自动化程度高、高效率、高适应性、安全稳定等特点，大大降低了工人的劳动强度，提高了大口径非球面光学元件加工效率。
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