-
公开(公告)号：CN106289727B
公开(公告)日：2019-03-15
申请号：CN201610599309.6
申请日：2016-07-27
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明提供一种元件激光损伤测量方法及装置。测量时，对每一个预设测试点采用基本相同的能量和能量密度的激光脉冲进行逐次多发次辐照，并实时监测测试点的光学图像以判断该测试点是否产生功能性损伤，同时在线获取每一次辐照时的激光能量密度值；然后根据测试点的功能性损伤判定结果及在线激光能量密度值计算生成元件的功能性损伤测量曲线。这种元件激光损伤测量方法的测量结果准确度高、收敛速度快，多次测量所得测量曲线之间的偏差较小，还能有效降低不同测量人员之间及测量次序等人为因素对最终测量结果的影响。
-
公开(公告)号：CN114414502A
公开(公告)日：2022-04-29
申请号：CN202210016317.9
申请日：2022-01-07
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明涉及光谱透过率测量技术领域，具体公开了一种变角度透过率测量装置、测量系统及测量方法，测量装置包括光阑、光陷阱以及转动组件，其中：转动组件包括电机，以及与电机输出端传动连接的旋转台；旋转台位于光陷阱的中心轴线上；光陷阱上开设有入光孔和出光孔，入光孔和出光孔所在的连接线与光陷阱的中心轴线相交；光阑安装于光陷阱的前侧，光阑上设有入射孔，且入射孔位于入光孔和出光孔所在的连接线上。本发明实现在所需角度区间下对测试样品的光透过率进行测量，节约了手动测量所花费的大量时间，提高了测试准确度与精度，非常适用于实验测量。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111286699B
公开(公告)日：2022-04-05
申请号：CN202010222435.6
申请日：2020-03-25
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本申请提供一种挡板修正方法、镀膜方法和装置，用于对平面行星式旋转镀膜工艺中挡板的形状进行修正，所述方法包括：获取待镀膜元件上多个待遮挡点的镀膜轨迹，以及获取每一待遮挡点对应的原始膜厚，以及获取待修正挡板中与多个待遮挡点对应的遮挡角；根据所述遮挡角确定所述待修正挡板的外形；根据每一待遮挡点对应的镀膜轨迹和所述待修正挡板的外形，计算得到所述待遮挡点对应的实际遮挡膜厚，所述实际遮挡膜厚为根据模拟所述待修正挡板进行遮挡后得到的；根据所有待遮挡点的原始膜厚以及对应的实际遮挡膜厚，对所述待修正挡板进行修正，得到目标挡板。通过理论计算的方式对挡板进行修正，可以提高挡板修正的精确和效率。
-
公开(公告)号：CN113267454A
公开(公告)日：2021-08-17
申请号：CN202110581657.1
申请日：2021-05-26
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本申请提供涉及一种薄膜品质检测方法、装置、电子设备及存储介质，涉及薄膜品质控制领域。上述薄膜品质检测方法包括：根据薄膜样品的物理数学模型和所述薄膜样品经椭偏检测获得的椭偏检测曲线，以薄膜材料的本征折射率色散表达式为特征参数，反演生成所述薄膜样品的椭偏模拟曲线；计算所述椭偏检测曲线与所述椭偏模拟曲线的拟合度；在所述拟合度接近或大于预设拟合度阈值时，确定所述薄膜样品的品质达到预设标准。能够解决现有技术中对薄膜品质检测精度低，检测工序复杂以及评判标准缺乏量化指标等问题。
-
公开(公告)号：CN111041413A
公开(公告)日：2020-04-21
申请号：CN201911268270.X
申请日：2019-12-11
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种提高大口径反射镜镀膜面形精度的方法，采用了镀膜过程基片面形和高低折射率膜层的综合控制方法：镀膜前针对基片在镀膜过程的形变，采用基片预先翻面退火的方法控制抵消镀膜过程中的基片面形受热引起的变化；采用调节充氧量结合离子辅助沉积的方法控制反射镜中膜层的残余应力，使各膜层的残余应力基本接近零应力。本发明公开了一种提高大口径反射镜镀膜面形精度的方法，该方法具有面形精度高，简单易行，使用范围广，适用不同膜层以及基底组合的反射镜面形控制。
-
公开(公告)号：CN109164514A
公开(公告)日：2019-01-08
申请号：CN201811307553.6
申请日：2018-11-05
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种抗污染真空减反膜及其制备方法，属于光学材料技术领域。本发明通过在溶胶合成完成后加入改性剂2,2,3,3,4,4,5,5,6,6,7,7-全氟-1,8-辛二醇，对生成的二氧化硅表面进行氟化改性，改性剂为全氟取代的二醇，同时采用六氟-2-甲基异丙基丙烯酸酯聚合物作为填充剂，从而在真空装置中也能保证该增透膜具有很高的性能。本发明制备的真空减反膜其表面自由能低，油脂或者水汽不易吸附于表面，在351nm的紫外波段具有>99％的高透射率，可实现强激光装置中三倍频激光的高能输出，在含有有机污染源的真空环境中放置数天后透射率基本保持不变。
-
公开(公告)号：CN106289727A
公开(公告)日：2017-01-04
申请号：CN201610599309.6
申请日：2016-07-27
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01M11/02
CPC classification number: G01M11/00
Abstract: 本发明提供一种元件激光损伤测量方法及装置。测量时，对每一个预设测试点采用基本相同的能量和能量密度的激光脉冲进行逐次多发次辐照，并实时监测测试点的光学图像以判断该测试点是否产生功能性损伤，同时在线获取每一次辐照时的激光能量密度值；然后根据测试点的功能性损伤判定结果及在线激光能量密度值计算生成元件的功能性损伤测量曲线。这种元件激光损伤测量方法的测量结果准确度高、收敛速度快，多次测量所得测量曲线之间的偏差较小，还能有效降低不同测量人员之间及测量次序等人为因素对最终测量结果的影响。
-
-
-
-
-
-
Search Results
27
records
(took 0.051 seconds)
