一种用于真空环境的高紧凑度精密直线驱动装置

    公开(公告)号:CN104749736B

    公开(公告)日:2017-05-10

    申请号:CN201310726082.3

    申请日:2013-12-25

    Abstract: 本发明涉及一种用于真空环境的高紧凑度精密直线驱动装置,包括机座,其特征在于:机座由下至上依次为X轴运动系统,Y轴运动系统,Z轴运动系统,Y轴运动系统的第二导轨安装板通过螺钉安装于X轴运动系统的第一导轨滑块连接板上;Z轴运动系统的L形架体的底面通过螺钉连接于Y轴运动系统的第二导轨滑块连接板上;Z轴运动系统可沿X、Y轴作直线运动;Z轴运动系统本身可沿与XY平面垂直的Z轴移动,Z轴运动系统上通过螺钉连接有离子源入射角操作系统。与采用旋转电机丝杠等直线运动系统比,没有中间传动环节,一是有利于提高真空室的洁净度;二是没有反向运动间隙,从本质提高重复定位精度。

    用于高强韧钢连杆的连杆盖与连杆体定位面的高效深冷胀断加工方法

    公开(公告)号:CN104492907A

    公开(公告)日:2015-04-08

    申请号:CN201410786945.0

    申请日:2014-12-17

    CPC classification number: B21D31/00 B21D37/16

    Abstract: 一种用于高强韧钢连杆的连杆盖与连杆体定位面的高效深冷胀断加工方法,步骤:1)采用激光加工的方法分别在连杆大头孔内侧两面径向加工两个对称分布的应力集中槽;2)将上述加工完应力集中槽的高强韧钢连杆放入液氮储存罐中进行深冷处理;3)将上述高强韧钢连杆通过工装固定到压力机机体上,用压力机上带有的单边楔形压头快速下压进入连杆大头孔,完成连杆大头孔胀断。本发明工艺简单合理,分离面的可装配性高,消除了连杆盖与连杆体的定位误差,还减少加工工序节省了人力和物力,降低了成本,提高了生产效率,可有效确保大功率发动机高强韧钢连杆的连杆盖与连杆体的定位精度,不存在装配时应力的释放,提高制造质量、可靠性,解决大功率发动机关键零件的制造等问题。

    一种光学元件的车削定心装置

    公开(公告)号:CN113172459B

    公开(公告)日:2023-06-06

    申请号:CN202110370874.6

    申请日:2021-04-07

    Abstract: 本发明涉及一种光学元件的车削定心装置,其特征在于:包括活动基座,用于安装在机床上;依次重叠的多个叶片,各叶片可摆动地设于所述活动基座上,多个叶片的内壁能够围合成供光学元件穿设的通孔,且所述活动基座安装于机床状态下,所述通孔的中心线与机床主轴的轴线同轴;驱动结构,用于驱动各叶片摆动以无极调节所述通孔的孔径;锁定结构,用于锁定所述通孔的孔径。本发明涉及的一种光学元件的车削定心装置,更易操作、工作效率高,而且,定心操作对操作者要求较低,定心精度高且定心稳定性更好,适用范围广。

    一种用于光学元件的定位及姿态调整装置

    公开(公告)号:CN110666596B

    公开(公告)日:2021-08-06

    申请号:CN201910822123.6

    申请日:2019-09-02

    Abstract: 一种用于光学元件的定位及姿态调整装置,包括基板、初步定位机构、终定位机构和姿态调整结构,基板为左右平行设置二条,基板上设有导轨,基板上从下往上依次设有移动顶板、夹具顶板和顶板,移动顶板通过导轮可沿导轨自由移动;初步定位机构包括元件吊钩、套筒和螺母,夹具顶板通过定位销定位于移动顶板的上方,元件通过元件吊钩挂置在移动顶板的下方,通过套筒和螺母与移动顶板夹紧定位;终定位机构包括左侧顶轴和右侧顶轴;姿态调整结构包括调整丝套和锁紧螺母,调整丝套拧入顶板中,顶板通过螺钉固定于架体顶板上,通过微调调整丝套实现元件与X‑Y平面的平行度。本发明不仅结构简单、成本低、操作方便,而且定位精度高、成本低、易于加工制造。

    一种用于活塞销孔加工的压电陶瓷配合杠杆机构的微进给装置

    公开(公告)号:CN109571110A

    公开(公告)日:2019-04-05

    申请号:CN201811360435.1

    申请日:2018-11-15

    Abstract: 一种用于活塞销孔加工的压电陶瓷配合杠杆机构的微进给装置,包括基座、刀柄、镗刀以及进刀压电陶瓷驱动器和退刀压电陶瓷驱动器,刀柄一端插置在基座内,另一端与镗刀固定连接,杠杆轴前后穿过基座、刀柄将刀柄与基座连接在一起、并使刀柄可沿杠杆轴旋转,进刀压电陶瓷驱动器和退刀压电陶瓷驱动器分别通过预紧螺钉可调节地穿置在基座的上下两侧,进刀压电陶瓷驱动器和退刀压电陶瓷驱动器与杠杆轴垂直设置且里端分别与刀柄靠近尾部的上下两侧相抵,进刀或退倒时,进刀压电陶瓷驱动器和退刀压电陶瓷驱动器的变形位移通过杠杆轴转变为刀具的径向位移。本发明结构简单、易于加工制造,具有高精度、高分辨率和快速响应的特点。

    一种用于活塞加工快速响应的子母滑台装置

    公开(公告)号:CN109571057A

    公开(公告)日:2019-04-05

    申请号:CN201811389180.1

    申请日:2018-11-21

    Abstract: 本发明提供一种用于活塞加工快速响应的子母滑台装置,包括立式安装的Z轴进给系统、母滑台X1系统、子滑台X2系统,其中,工件由夹具夹持固定并能绕自身轴线A轴旋转;Z轴进给系统由伺服电机驱动实现进给;母滑台X1系统立式安装于Z轴进给系统上,并能在第一直线电机的驱动下相对于工件左右滑移,母滑台X1系统与Z轴进给系统插补用以形成工件的中凸侧母线;子滑台X2系统立式安装于母滑台X1系统的第一滑台上,并能在第二直线电机的驱动下相对于母滑台X1系统做高频往复运动,子滑台X2系统与工件自转的A轴插补用以形成工件的非圆横截面。与现有技术相比,本发明既能大行程进给,又能高频往复进给,机床运动精度高,易于实现对加工过程的精确控制。

    一种中大口径光学元件表面离子束溅射沉积薄膜的方法

    公开(公告)号:CN108441838A

    公开(公告)日:2018-08-24

    申请号:CN201810234663.8

    申请日:2018-03-21

    Abstract: 本发明涉及一种中大口径光学元件表面离子束溅射沉积薄膜的方法,该方法采用在光学元件的沉积面上选取中心区域以及多个边缘区域,各边缘区域沿沉积面的周向间隔布置,在沉积镀膜的过程中,光学元件转动,同时,离子源与靶材在光学元件沉积面的下方作曲线往复运动,从而完成镀膜,这样的镀膜方法使得中大口径光学元件表面沉积稳定且沉积薄膜的厚度均匀,并对光学元件沉积面上的中心与边缘的驻留时间比工艺参数进行修正,使得获得的沉积面上中心区域与各边缘区域的膜厚度更加均匀,提高了镀膜质量,更能满足需求,实用性强。

    用于方形光学元件双面快速抛光的控制系统

    公开(公告)号:CN108127560A

    公开(公告)日:2018-06-08

    申请号:CN201711296522.0

    申请日:2017-12-08

    CPC classification number: B24B49/00

    Abstract: 本发明公开了一种用于方形光学元件双面快速抛光的控制系统,包括控制器和液压传动组件,其特征在于:还包括作为液压传动组件驱动源的电动伺服组件,以及用于检测液压传动组件的压力、从而反馈给控制器以便控制电动伺服组件的压力反馈组件。通过利用伺服电机作为驱动源,因此在整个控制过程中,尤其是在补油阶段,不需要频繁的开启和关闭小泵,也不需要频繁的控制阀门,很好地改善在方形光学元件双面快速抛光过程中的补压阶段由于不断补油而造成的压力脉动和波动;利用三通道压力调整控制,既能降低成本,又便于快速地达到所需的控制压力。

    一种小型椭球式等离子反应腔及其制造方法

    公开(公告)号:CN107858667B

    公开(公告)日:2021-04-13

    申请号:CN201711276641.X

    申请日:2017-12-06

    Abstract: 一种小型椭球式等离子反应腔及其设计方法,包括腔体、设置在腔体内的沉积室以及同轴天线,腔体为下部切边的椭球状金属腔体,椭球状金属腔体的长轴直径Z=430~440mm,短轴半径R=160~170mm,沉积室是由沉积基台与石英钟罩组成,其中沉积基台与椭球体短轴平行,密封设置在腔体的下部切边位置,石英钟罩同轴罩盖在沉积基台上方,同轴天线采用圆柱状铜材料,设置于腔体的上端缺口处,等离子反应腔内的微波耦合方式为天线耦合,微波谐振模式为TM033。使用本发明的等离子反应腔的微波等离子体CVD装置与传统的“TM036”式装置有着相同的微波聚焦能力,但体积是传统“TM036”椭球式装置体积的一半,具有结构合理紧凑、成本低、加工难度低的优点,具有较好的应用前景。

    一种用于活塞销孔加工的压电陶瓷配合杠杆机构的微进给装置

    公开(公告)号:CN109571110B

    公开(公告)日:2021-01-12

    申请号:CN201811360435.1

    申请日:2018-11-15

    Abstract: 一种用于活塞销孔加工的压电陶瓷配合杠杆机构的微进给装置,包括基座、刀柄、镗刀以及进刀压电陶瓷驱动器和退刀压电陶瓷驱动器,刀柄一端插置在基座内,另一端与镗刀固定连接,杠杆轴前后穿过基座、刀柄将刀柄与基座连接在一起、并使刀柄可沿杠杆轴旋转,进刀压电陶瓷驱动器和退刀压电陶瓷驱动器分别通过预紧螺钉可调节地穿置在基座的上下两侧,进刀压电陶瓷驱动器和退刀压电陶瓷驱动器与杠杆轴垂直设置且里端分别与刀柄靠近尾部的上下两侧相抵,进刀或退倒时,进刀压电陶瓷驱动器和退刀压电陶瓷驱动器的变形位移通过杠杆轴转变为刀具的径向位移。本发明结构简单、易于加工制造,具有高精度、高分辨率和快速响应的特点。

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