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公开(公告)号：CN109133976A
公开(公告)日：2019-01-04
申请号：CN201810984204.1
申请日：2018-08-28
Applicant: 东北大学
Abstract: 本发明属于多孔材料的制备领域，公开了一种多孔氧化铝制备方法。具体步骤包括：(1)先将硼酸粉和氧化铝粉按一定的配比进行配料、混料；(2)向原料中加入适量的水，进一步混匀并压制成球团；(3)将球团放到真空干燥箱中进行烘干；(4)将球团放入感应炉内进行高温冶炼；(5)冶炼结束之后，将产品空冷至室温。本发明的优点是：与传统多孔氧化铝制备方法相比，省去了大量的繁琐的工艺步骤，显著地降低了生产成本和能耗；生成的多孔氧化铝纯度较高，无其他杂质，因此具有更好的耐化学腐蚀性。
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公开(公告)号：CN106024919B
公开(公告)日：2017-11-03
申请号：CN201610601867.1
申请日：2016-07-28
Applicant: 东北大学
IPC: H01L31/0216 , H01L31/0236 , H01L31/0376
CPC classification number: Y02E10/50
Abstract: 一种非晶硅薄膜太阳能电池及其制造方法，所述非晶硅薄膜太阳能电池由依次连接的柔性PET基片层、SiO2陷光层、第一电极TCO层、p型非晶硅层、p型缓冲层、i型非晶硅层、n型非晶硅层、第二电极TCO层和背反射层组成。制备方法包括：提供柔性PET基片层；在柔性PET基片层上依次沉积SiO2陷光层、第一电极TCO层、p型非晶硅层、p型缓冲层、i型非晶硅层、n型非晶硅层、第二电极TCO层和背反射层。本发明的非晶硅薄膜太阳能电池的光电转换效率达到10~14%，较现有的单节非晶硅薄膜太阳能电池的光电转换效率提高了3~8%，并有效防止本征层i型非晶硅层和n型非晶硅层受到污染，适于大批量生产。
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公开(公告)号：CN103644947B
公开(公告)日：2017-01-18
申请号：CN201310694925.6
申请日：2013-12-17
Applicant: 东北大学
IPC: G01F1/66
Abstract: 本发明公开一种气体微流量测量装置，包括入口稳压容器、被测微纳通道或器件、双通道容积指示单元、出口稳压容器和图像式位置记录单元，稳压容器内的压力通过节流阀和供气流量计配合进行连续高分辨率的调节；然后利用双通道容积指示单元的一个通道与入口稳压容器、出口稳压容器建立被测微纳通道或器件内的稳定流动；之后切换到预置液滴的另一个通道，并通过由显微物镜和CCD相机组成的图像位置记录单元跟踪液滴运动，该测量装置具有排气装置具有测量精度和分辨率高且易于实施的优点。
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公开(公告)号：CN106290269A
公开(公告)日：2017-01-04
申请号：CN201610585124.X
申请日：2016-07-22
Applicant: 东北大学
IPC: G01N21/64
CPC classification number: G01N21/6428
Abstract: 一种复合型微生物快速检测方法及微芯片系统，其中微芯片系统由三层芯片组成，中层微通道芯片上的样品入口连通液体混合通道，液体混合通道连通环形凹槽；环形凹槽连通LAL检测通道和ATP检测通道；上层平板芯片上分布孔道；下层功能器件芯片上设有压电传感器、光电倍增器和温度传感器。检测方法为：（1）将微生物样品溶液引入至中层微通道芯片；（2）再将样品溶液引入LAL检测通道的LAL反应池中与LAL试剂发生凝胶反应；（3）根据压电传感器的数值变化检测出微生物种类；（4）将样品溶液引入ATP检测通道的ATP反应池与ATP试剂发生荧光反应；（5）根据光电倍增器测出的光强大小检测出微生物样品溶液中的微生物含量。
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公开(公告)号：CN102072160B
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201110029659.6
申请日：2011-01-27
Applicant: 东北大学 , 沈阳华润三洋压缩机有限公司
IPC: F04C29/12
Abstract: 一种滚动转子式压缩机泵体排气装置，主要包括设有圆形孔道的气缸、带折弯的阀片、带台阶的升程限制器、带有阶梯型排气孔的气缸端盖、垫片。阀片、垫片、升程限制器安装在气缸的孔道内；压缩机装配完成后，气缸上端盖、下端盖及压缩机外壳封闭了气缸上的孔道，形成以阀片开启时为入口，气缸端盖上的阶梯排气孔为出口的排气空间。该排气装置具有排气损失小，排气噪声低，且易于加工装配的优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101985939B
公开(公告)日：2012-06-27
申请号：CN201010565680.3
申请日：2010-11-30
Applicant: 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明涉及干式真空泵，具体涉及一种具有轴端动密封结构的干式真空泵。包括电机、主轴和从动轴，主轴上装配有主动齿轮，与主动齿轮相啮合的从动齿轮装配在从动轴上，在主轴和从动轴上装有至少三组转子，转子组之间用隔板隔开，在主轴和从动轴两端分别装配有轴承，所述的轴承与轴肩接触面一侧的台阶上依次设置有骨架密封和迷宫密封，骨架密封和迷宫密封之间的空间又形成气体密封,在一级腔体顶部的泵壳上开有一进气口，在两端最外侧腔体底部的泵壳上各开有一排气孔，两个排气孔通过排气流道与排气口相通。工作时，各泵腔内的工作压力沿轴向呈V型分布，提高泵的极限压力、缩短抽气时间，又可防止有害气体及颗粒对轴承的腐蚀或损坏。
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公开(公告)号：CN101985935A
公开(公告)日：2011-03-16
申请号：CN201010565609.5
申请日：2010-11-30
Applicant: 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司
Abstract: 本发明涉及一种真空泵，具体涉及一种三轴罗茨真空泵。包括电机、主轴和从动轴，主轴上装配有主动齿轮，与主动齿轮相啮合的从动齿轮装配在从动轴上，在主轴和从动轴上装有罗茨转子，所述的从动轴有两根，平行且对称的装配在主轴的两侧。本发明具有结构紧凑、结构对称、三作用抽气和泵腔内无油的特点，能实现较大的抽气速率。
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公开(公告)号：CN118881557A
公开(公告)日：2024-11-01
申请号：CN202411298076.7
申请日：2024-09-18
Applicant: 东北大学
Abstract: 本发明涉及真空泵测试技术领域，具体涉及一种罗茨真空泵的转子温度的调控系统及其调控方法，包括泵本体、转子组件、温度测量系统、加热系统、冷却系统和电控系统。温度测量系统包括无线测温片，无线测温片测量转子组件的温度，并将温度的信号发送至电控系统内。加热系统设置于泵本体的进气口。转子组件的转子轴的内腔与冷却冷却系统相连通。冷却系统与电控系统电连接。通过增加了冷却系统，且冷却系统与空心结构的转子轴连通，进而能够更多的带走的热量。同时还设置加热系统，对进入泵本体内的介质进行加热处理，且加热系统和冷却系统均与电控系统相连，通过电控系统能够对转子组件进行温度的处理，达到精确控制罗茨泵腔体内部温度的效果。
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公开(公告)号：CN118623330A
公开(公告)日：2024-09-10
申请号：CN202411062123.8
申请日：2024-08-05
Applicant: 东北大学 , 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司
Abstract: 本发明涉及一种应用于半导体尾气处理设备的燃烧腔结构，包括四条废气管路、燃烧器、气帘环、反应腔、多孔陶瓷砖室和上盖；所述气帘环设置在所述反应腔的内部，所述气帘环的环边连接在所述反应腔的上端口；所述气帘环内部设置有多孔陶瓷砖室；所述燃烧器连接在所述上盖上端面中部，燃烧口贯穿至所述上盖下端面；所述上盖上端面圆周连接四条所述废气管路，四条所述废气管路的下端都以倾斜切向的状态连接所述上盖；所述上盖连接在所述气帘环上。本发明的目的在于克服现有的缺陷而提供的一种应用于半导体尾气处理设备的燃烧腔结构，提高燃烧效率进而提高废气处理效率。
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公开(公告)号：CN118291944A
公开(公告)日：2024-07-05
申请号：CN202410586161.7
申请日：2024-05-13
Applicant: 东北大学
IPC: C23C14/54 , C23C14/24 , G06F30/27 , G06F30/25 , G06N3/006 , G06F111/10 , G06F119/08 , G06F119/14
Abstract: 本发明公开了一种基于数值模拟的膜厚调控方法，该膜厚调控方法包括：为蒸发镀膜建立CAD模型；为CAD模型设定边界条件；在CAD模型中设置监测位置的膜厚目标值；为CAD模型的蒸发参数设置初值；根据边界条件和蒸发参数初值模拟计算指定监测位置的膜厚值；调整蒸发参数使指定监测位置的膜厚值接近目标值。本发明还公开一种蒸镀装置，可根据上述膜厚调控方法得到的蒸发参数，快速实现蒸发参数的调节，实现优化蒸发参数下的膜厚均匀分布，节约人力调控成本和时间，解决膜厚分布不均问题。
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