公开(公告)号：CN118291944A

公开(公告)日：2024-07-05

申请号：CN202410586161.7

申请日：2024-05-13

Applicant: 东北大学

Inventor： 谢元华 ,  李永晟 ,  刘坤 ,  郝明 ,  鲁现航 ,  马刚强 ,  高晨

IPC: C23C14/54 ,  C23C14/24 ,  G06F30/27 ,  G06F30/25 ,  G06N3/006 ,  G06F111/10 ,  G06F119/08 ,  G06F119/14

Abstract: 本发明公开了一种基于数值模拟的膜厚调控方法，该膜厚调控方法包括：为蒸发镀膜建立CAD模型；为CAD模型设定边界条件；在CAD模型中设置监测位置的膜厚目标值；为CAD模型的蒸发参数设置初值；根据边界条件和蒸发参数初值模拟计算指定监测位置的膜厚值；调整蒸发参数使指定监测位置的膜厚值接近目标值。本发明还公开一种蒸镀装置，可根据上述膜厚调控方法得到的蒸发参数，快速实现蒸发参数的调节，实现优化蒸发参数下的膜厚均匀分布，节约人力调控成本和时间，解决膜厚分布不均问题。

公开(公告)号：CN120006244A

公开(公告)日：2025-05-16

申请号：CN202311523402.5

申请日：2023-11-15

Applicant: 东北大学

Inventor： 刘坤 ,  付云鹤 ,  谢元华 ,  李永晟

IPC: C23C14/56 ,  C23C14/20 ,  C23C14/24

Abstract: 本发明公开了一种制备复合集流体的新型卷绕镀膜方法，使用真空镀膜手段在柔性基材上制备导电金属镀层。本发明通过线性源装置发射带极性电荷的粒子到柔性基材正面上，当柔性基材经过镀膜辊时，依靠静电感应原理促使镀膜辊中的自由电荷发生重新排布，使镀膜辊内与柔性基材正面极性相反的电荷在镀膜辊靠近柔性基材的一侧产生积累，进而使得柔性基材与镀膜辊相互吸引，提高了镀膜辊对柔性基材的贴附冷却效果。本发明克服在真空蒸发卷绕镀膜时柔性基材容易发生热变形甚至热损伤等问题，也避免了现有静电偏压装置危险系数高的问题，并且能进一步提高柔性基材与金属镀层的结合性能，可以一次性在柔性基材上蒸镀较厚的金属导电层(0.1‑1.5μm)。

公开(公告)号：CN118272767A

公开(公告)日：2024-07-02

申请号：CN202410586286.X

申请日：2024-05-13

Applicant: 东北大学

Inventor： 谢元华 ,  高晨 ,  刘坤 ,  郝明 ,  鲁现航 ,  张富强 ,  李永晟

IPC: C23C14/24 ,  C23C14/56 ,  C23C14/54

Abstract: 本发明公开了一种蒸发舟，包括主体以及坩埚。主体为分体式结构，包括蒸发舟基体和蒸发舟单元块；蒸发舟基体上设置有长方体凹槽，多个蒸发舟单元块设置在长方体凹槽内，在相邻的两个蒸发舟单元块之间留有微小间隙；蒸发舟基体在纵向方向上的两个端面分别连接水冷电极；坩埚容纳在蒸发舟单元块内；长方体凹槽在蒸发舟基体纵向方向上分为3个位置区域，处于不同位置区域的蒸发舟单元块内容纳的坩埚具有不同形状；各坩埚的横截面均为椭圆形，横截面的长轴与长方体凹槽的纵向方向平行。