一种蒸发舟
    4.
    发明公开
    一种蒸发舟 审中-实审

    公开(公告)号:CN118272767A

    公开(公告)日:2024-07-02

    申请号:CN202410586286.X

    申请日:2024-05-13

    Applicant: 东北大学

    Abstract: 本发明公开了一种蒸发舟,包括主体以及坩埚。主体为分体式结构,包括蒸发舟基体和蒸发舟单元块;蒸发舟基体上设置有长方体凹槽,多个蒸发舟单元块设置在长方体凹槽内,在相邻的两个蒸发舟单元块之间留有微小间隙;蒸发舟基体在纵向方向上的两个端面分别连接水冷电极;坩埚容纳在蒸发舟单元块内;长方体凹槽在蒸发舟基体纵向方向上分为3个位置区域,处于不同位置区域的蒸发舟单元块内容纳的坩埚具有不同形状;各坩埚的横截面均为椭圆形,横截面的长轴与长方体凹槽的纵向方向平行。

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