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公开(公告)号：CN119268563A
公开(公告)日：2025-01-07
申请号：CN202411599697.9
申请日：2024-11-11
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明为一种基于激光干涉仪的纳米光栅位姿校准系统，包括光路系统及位移台驱动系统，所述的位移台驱动系统包括四轴位移台，所述的四轴位移台的安装台面上设有用于安装纳米光栅的纳米光栅支架和激光干涉仪，所述的纳米光栅通过四轴位移台依次对纳米光栅三轴方向角度分别进行修正，包括俯仰、横滚与偏摆三自由度上的自由转动以及光栅轴线方向上的线位移。本发明采用激光干涉仪测量值作为光栅姿态的修正反馈，将光栅位移测量系统的测量值与其进行比对，判断四轴位移台各轴的调整方向，最后再经由多次驱动四轴位移台，将纳米光栅支架调整至理想位置，解决纳米光栅位姿误差问题。
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公开(公告)号：CN119126322A
公开(公告)日：2024-12-13
申请号：CN202411327663.4
申请日：2024-09-23
Abstract: 本发明为一种双光栅角度调整用旋转位移台及调整光栅对平行的方法，所述的旋转位移台包括位于底部的微振动位移台、设于所述微振动位移台上的一对结构相同且背对设置的光栅调节夹具及位于两光栅调节夹具中间的光面接收屏，两所述的光栅调节夹具分别包括固定于各自相应的光栅三轴调节装置上的伸缩式光栅夹具，所述的调整光栅对平行的方法通过调节两伸缩式光栅夹具分别夹持的标准光栅A和待测光栅B的俯仰、滚转、偏摆角度，使两光栅各自的反射光分别与线光源通过水平狭缝形成的准直线光垂直完成栅面平行调整，使两光栅各自的衍射光连线分别与线光源通过水平狭缝形成的准直线光平行完成栅线平行调整。本发明采用模块化设计，结构紧凑，便于安装拆卸。
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公开(公告)号：CN116558447A
公开(公告)日：2023-08-08
申请号：CN202310592305.5
申请日：2023-05-24
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
IPC: G01B11/26
Abstract: 本发明为一种用于检定两光栅平行性的装置，包括同光轴布置的第一光栅、第二光栅、激光器、小孔光阑、半透半反棱镜、五角棱镜和观察屏，所述装置包括调节栅面平行和调节栅线平行两部分，利用第一光栅和第二光栅的镜面反射，通过调节第一光栅和第二光栅的偏摆角度，使照射在观察屏上的两束光斑在处于同一水平直线，实现两光栅栅面平行调整，利用第一光栅和第二光栅的衍射效应，通过调节第一光栅和第二光栅的绕水平方向旋转的旋转角度，使照射在观察屏上的两束光斑在处于同一竖直方向直线，实现两光栅栅线平行调整。本发明结构简单，原理易懂，便于操作实现。
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公开(公告)号：CN115112028A
公开(公告)日：2022-09-27
申请号：CN202210957257.0
申请日：2022-08-10
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
IPC: G01B11/06
Abstract: 本发明为一种基于激光椭偏系统的薄膜厚度测量装置及测量方法，属于纳米薄膜厚度的光学测量领域。本发明装置依次为激光光源、滤光轮、光隔离器、反射镜组、起偏调制模块、样品台、检测调制模块和信号采集处理模块；所述激光光源发出激光光束，激光光束依次经所述滤光轮、光隔离器和反射镜组后以入射角θ输出进入起偏调制模块，形成调制偏振光入射到样品台上的待测样品后反射进入检偏调制模块进行偏振态调制，最后进入信号采集处理模块被所述硅探测器接收；所述信号采集单元将所述硅探测器接收到的光强信号转换为数字信号，并进行数据处理。
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公开(公告)号：CN217716312U
公开(公告)日：2022-11-01
申请号：CN202222097838.X
申请日：2022-08-10
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
IPC: G01B11/06
Abstract: 本实用新型为一种基于激光椭偏系统的薄膜厚度测量装置，属于纳米薄膜厚度的光学测量领域。本实用新型装置包括激光光源、滤光轮、光隔离器、反射镜组、起偏调制模块、样品台、检测调制模块和信号采集处理模块；所述激光光源发出激光光束，激光光束依次经所述滤光轮、光隔离器和反射镜组后以入射角θ输出进入起偏调制模块，形成调制偏振光入射到样品台上的待测样品后反射进入检偏调制模块进行偏振态调制，最后进入信号采集处理模块被所述硅探测器接收；所述信号采集单元将所述硅探测器接收到的光强信号转换为数字信号，并进行数据处理。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN222812345U
公开(公告)日：2025-04-29
申请号：CN202421838504.6
申请日：2024-07-31
Abstract: 本实用新型为一种基于激光跟踪仪的立体标准器测量系统，所述的测量系统包括激光跟踪仪、平面反射装置和测量电脑，所述的激光跟踪仪与测量电脑无线连接，所述的平面反射装置从上至下包括平面反射镜、二维万向镜架和三维平移升降台，平面反射镜与二维万向镜架的镜面托架连接，并可作俯仰角度调整和镜面偏转角度调整，二维万向镜架的底座与下方的三维平移升降台的顶部连接，所述的三维平移升降台通过设置的调节旋钮分别控制平台向相应的x、y、z三轴方向偏移，实现镜面在三轴坐标系中的位置平移调整。本实用新型通过平面反射装置使激光跟踪仪的激光光路发生镜面折转而改变其激光光路，减少测量时需对立体标准器进行多次搬动调整位置的动作。
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公开(公告)号：CN221174678U
公开(公告)日：2024-06-18
申请号：CN202323158763.2
申请日：2023-11-22
IPC: G01Q60/38
Abstract: 本实用新型为一种用于原子力显微镜的悬臂梁探针支架，包括基体、探针座和夹持机构，所述的基体为中空柱体结构，在中心通孔的顶部设有圆形视窗，所述的探针座用于安装悬臂梁探针，设于圆形视窗外表面，安装后探针的针尖位于圆形视窗区域内，所述的悬臂梁探针通过夹持机构夹紧固定，夹持机构通过固定杆设于基体侧壁，包括夹持片和金属弹片，所述的夹持片为“Z”字形结构，其顶部一段为用于压紧悬臂梁探针圆弧压片，中段竖直并开有矩形卡槽，底部一段为水平段，所述的金属弹片设有一端部倾斜于本体表面的薄型弹片，金属弹片本体固定于基体侧壁上，夹持片相对于金属弹片上下活动，通过矩形卡槽与薄型弹片的卡合实现夹持片对悬臂梁探针的压紧定位。
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公开(公告)号：CN220348215U
公开(公告)日：2024-01-16
申请号：CN202322015023.7
申请日：2023-07-28
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
IPC: B25B11/00
Abstract: 本实用新型为一种多自由度自定心光学镜片夹持支架，包括设于底座上的伸缩杆、与伸缩杆顶部固定连接的外圈、设于外圈内侧的中圈和设于中圈内侧的内圈，通过伸缩杆实现镜片高度调节和左右转动角度调节，通过中圈相对外圈的翻转活动实现镜片俯仰角度调节，通过带自定心夹持功能的内圈相对中圈的环面旋转实现镜片的自定心及径向旋转角度调节，从而在光学检测中实现了对不同尺寸的光学镜片的自定心夹持工作并可对其进行多自由度调节的功能，且结构简单，定位精准度高，同时能够实现不同尺寸的镜片夹持。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN220153527U
公开(公告)日：2023-12-08
申请号：CN202321274140.9
申请日：2023-05-24
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
IPC: G01B11/26
Abstract: 本实用新型为一种用于检定两光栅平行性的装置，包括同光轴布置的第一光栅、第二光栅、激光器、小孔光阑、半透半反棱镜、五角棱镜和观察屏，所述装置包括调节栅面平行和调节栅线平行两部分，利用第一光栅和第二光栅的镜面反射，通过调节第一光栅和第二光栅的偏摆角度，使照射在观察屏上的两束光斑在处于同一水平直线，实现两光栅栅面平行调整，利用第一光栅和第二光栅的衍射效应，通过调节第一光栅和第二光栅的绕水平方向旋转的旋转角度，使照射在观察屏上的两束光斑在处于同一竖直方向直线，实现两光栅栅线平行调整。本实用新型结构简单，原理易懂，便于操作实现。
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公开(公告)号：CN220556313U
公开(公告)日：2024-03-05
申请号：CN202322300207.8
申请日：2023-08-25
Applicant: 上海市计量测试技术研究院
Abstract: 本实用新型为一种基于光栅干涉式测量的纳米位移台校准装置，包括准直光源、置于所述准直光源光路上的光电探测模块、与所述光电探测模块位置对应的待校准的纳米位移台、置于所述待校准的纳米位移台上的光栅、与所述光电探测模块电路连接的信号处理系统以及与所述待校准的纳米位移台电路连接的位移台驱动系统，所述位移台驱动系统驱动待校准的纳米位移台带动光栅同步运动，所述的光电探测模块设有用于采集干涉信号的光电探测器，所述光电探测器采集的干涉信号转化为电流信号传输至信号处理系统，由信号处理系统对干涉信号进行数据处理，获得光栅和待校准的纳米位移台的位移信息。
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