公开(公告)号：CN210922540U

公开(公告)日：2020-07-03

申请号：CN201921943497.5

申请日：2019-11-12

Applicant: 上海市计量测试技术研究院

Inventor： 吴俊杰 ,  李源 ,  王阳 ,  傅云霞 ,  蔡潇雨 ,  魏佳斯 ,  周勇 ,  孙恺欣

IPC: G01B11/24 ,  G01B11/00

Abstract: 本实用新型涉及一种基于四象限光电探测器的三维微接触式测量装置，在利用本实用新型的一种基于四象限光电探测器的三维微接触式测量装置对样品表面参数进行测量时，开启激光光源并对X轴四象限光电探测器、Y轴四象限光电探测器、Z轴四象限光电探测器进行校正之后，将测端球沿被测样品的表面接触扫描；测端球通过测针以及中心连接部带动四棱锥反射镜产生位置变化，从而使得四棱锥反射镜的三个反射面反射至X轴四象限光电探测器、Y轴四象限光电探测器、Z轴四象限光电探测器上的光斑产生偏移量；根据光斑所产生的偏移量可以得出测端球与样品表面接触点的X轴方向、Y轴方向、Z轴方向的坐标参数。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

公开(公告)号：CN202974174U

公开(公告)日：2013-06-05

申请号：CN201220709762.5

申请日：2012-12-20

Applicant: 上海市计量测试技术研究院

Inventor： 雷李华 ,  蔡潇雨 ,  李源 ,  吴俊杰 ,  傅云霞 ,  耿锋 ,  翁浚婧

IPC: G01B7/00 ,  B81B7/04

Abstract: 本实用新型为一种基于电容传感器阵列的三维微接触式测头，所述的测头由方形底板、电容传感器阵列、十字梁和测针组成，其特征在于：所述的测头有多个电容传感单元，呈阵列式分布于方形底板上，测针连接在十字梁的中心连接体上，十字梁的悬臂与电容传感器上极板相连，上极板通过微弹簧悬挂单元悬挂，所述上极板的悬挂采用若干个微弹簧实现，微弹簧不仅用于固定电容传感器的上极板，还用于支撑十字梁和测针重量，由测针及十字梁组成的杠杆结构将被测物的横向位移放大并转化为电容上极板的轴向位移，解决单个电容传感器测量时横向分辨力低的问题。本实用新型弥补了单个电容传感器横向分辨力低的缺陷，提高了分辨力和精度，有效拓展了横向测量范围。

公开(公告)号：CN202974173U

公开(公告)日：2013-06-05

申请号：CN201220709746.6

申请日：2012-12-20

Applicant: 上海市计量测试技术研究院

Inventor： 王丽华 ,  李源 ,  吴俊杰 ,  雷李华 ,  范国芳 ,  蔡潇雨 ,  毛辰飞

IPC: G01B7/00 ,  G01B7/004

Abstract: 本实用新型为一种用于微纳米几何量测量的阵列式测头，由网格状多方孔基座和多个测头组件构成。测头组件包括测头、测杆、悬挂结构、传感单元和电路板，测头组件垂直凸出安装在基座方孔上，方孔在基座上呈网格状阵列式排列，阵列式测头通过基座与三维高精度位移平台的测头连接结构相联接。根据被测工件尺寸，在网格状多方孔基座上选择合适的方孔安装各测头组件，各测头组件可装可拆。各测头组件的测头通过校准整合到统一坐标系中，先用一个测头接触被测尺寸的一个端点，将此测头移开，再用另外的一个测头接触被测尺寸的另一个端点，可快速完成被测工件尺寸的精确测量。与单测头相比，提高了工作效率，并增加了冗余设计。

公开(公告)号：CN214335358U

公开(公告)日：2021-10-01

申请号：CN202120396080.2

申请日：2021-02-23

Applicant: 上海市计量测试技术研究院 ,  上海计测信息科技有限公司

Inventor： 周勇 ,  吴俊杰 ,  魏佳斯 ,  蔡潇雨 ,  李源 ,  孙恺欣 ,  刘娜

IPC: G02B21/24 ,  G02B21/26

Abstract: 本实用新型涉及的一种角度可调的高精度载物台装置，在本实用新型的一种角度可调的高精度载物台装置中，底座与载物台之间通过固定支承柱及两个活动支承柱三点支承，通过两个驱动机构分别驱动两个滑动杆使得滑动杆前端的斜坡面将两个顶珠顶起不同高度，从而使得载物台的位姿得以调节，由于滚珠及顶珠均与运动零件滚动摩擦，所以摩擦力小，不会发生窜动，使得载物台的位姿调整顺畅平稳。由此可见，本实用新型的一种角度可调的高精度载物台装置能够方便地调整载物台的位姿，结构简单，运动平稳顺畅。

公开(公告)号：CN212379431U

公开(公告)日：2021-01-19

申请号：CN202020895038.0

申请日：2020-05-25

Applicant: 上海市计量测试技术研究院

Inventor： 吴俊杰 ,  傅云霞 ,  李源 ,  蔡潇雨 ,  魏佳斯 ,  周勇 ,  孙恺欣

IPC: G01Q60/24 ,  G01Q10/00

Abstract: 本实用新型涉及一种基于原子力显微镜的测量装置，原子力显微镜扫描头固定设置，在测量过程中静止不动，原子力显微镜扫描头扫描测量被测物体表面的轮廓面参数并生成检测信号，原子力显微镜信号调理装置将检测信号调理之后传递给平台控制器，平台控制器根据检测信号控制定位平台相对原子力显微镜扫描头运动而使原子力显微镜扫描头沿着被测物体表面扫描检测，计算机对检测信号进行处理而得出被测物体表面轮廓的参数。由此可见，本实用新型的一种基于原子力显微镜的测量装置，能够方便地进行测量，测量过程中，原子力显微镜扫描头保持静止，避免了振动导致的测量误差，提高了测量准确性。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

公开(公告)号：CN202974172U

公开(公告)日：2013-06-05

申请号：CN201220709671.1

申请日：2012-12-20

Applicant: 上海市计量测试技术研究院

Inventor： 吴俊杰 ,  李源 ,  范国芳 ,  陈欣 ,  雷李华 ,  毛辰飞

IPC: G01B7/00 ,  B81B3/00

Abstract: 本实用新型为一种用于微纳米尺度二维尺寸测量的微触觉测头，其特征在于：所述的微触觉测头由圆形基底、电容式传感器阵列、悬梁、测针、悬挂弹簧及限位结构组成；圆形基底用于固定传感器阵列及悬梁；电容式传感器阵列作为敏感单元，用以感知位移变化；悬梁用于连接测针及传感器阵列；测针直接与被测物接触，以探测并传递位移量；悬挂弹簧起悬挂、调平悬梁的作用，并可调节测量力；限位结构用来限制悬梁及测针运动的自由度，使其只能以悬梁顶端的小球球心为原点旋转，从而消除了测针和悬梁的整体偏移，保证了横向位移测量的精度。