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公开(公告)号:CN111633479A
公开(公告)日:2020-09-08
申请号:CN202010546293.9
申请日:2020-06-15
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
Abstract: 本发明公开了一种砷化镓晶圆用划片刀修刀方法,包括:步骤1、将磨刀板固定,安装划片刀;步骤2、磨刀,随着划切刀数的增加,切入磨刀板深度逐渐增大,进刀速度逐渐增大,总共划切20~40刀;步骤3、固定砷化镓假片;步骤4、修锐,随着划切刀数的增加,切入砷化镓假片深度逐渐增大,进刀速度逐渐增大,总共划切20~50刀;步骤5、切割质量检验,测量缝宽和正崩尺寸,如果缝宽和正崩都满足要求,则修整完成;如果缝宽或者正崩超出质量要求,则返工或报废。保证划片刀具备较好的初始切割质量,并且加入了100%切割性能检验之后,客户现场切割质量更稳定。
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公开(公告)号:CN107088844B
公开(公告)日:2019-04-19
申请号:CN201710267391.7
申请日:2017-04-21
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
IPC: B24D18/00
Abstract: 本发明中涉及一种电镀砂轮的上砂装置及方法,该上砂装置包括底座,底座上设有弹性支撑件,弹性支撑件上具有与金属基体下端面间隔相对设置的环形支撑面。本发明中的上砂装置,在金属基体的压力作用下,弹性支撑件会发生一定的弹性变形并向上挤压磨料,使磨料紧贴金属基体的下端待镀面,磨料上砂效果好。使用本发明中的上砂装置在对金属基体进行上砂时,在弹性支撑件的作用下,磨料紧贴金属基体的下端待镀面,金属基体上侧的磨料在自重下紧贴上端待镀面,这样上下两侧待镀面的上砂效果都能够满足要求,只需要一次电镀,无需翻转砂轮即可完成上砂工序,提高生产效率。
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公开(公告)号:CN108381411B
公开(公告)日:2019-04-09
申请号:CN201810194758.1
申请日:2018-03-09
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
Abstract: 一种凹槽结构的电镀超薄切割片及其制造方法,属于电镀超硬磨具制造技术领域,采用复合电镀法,将镍离子和金刚石磨料在母版上均匀共沉积得到环形磨料层,然后将环形磨料层从母版上揭离,接着采用电解法在磨料层两端面的外圆周处均匀加工出凹槽:(1)母版材质为不锈钢,采用质量浓度5‑10%的高锰酸钾溶液使母版表面形成一层氧化膜,电镀后环形磨料层与母版的结合力适中,使用0.1~0.2MPa的高压气枪即可脱模。母版处理方法与脱模方法配套使用,方法简单有效。(2)使用带通孔的遮挡卡具对环形磨料层进行组装,采用电解法对环形磨料层两端面的外圆周处进行凹槽加工。加工的凹槽不穿透环形磨料层,对环形磨料层的强度影响较小。
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公开(公告)号:CN109382770A
公开(公告)日:2019-02-26
申请号:CN201710656742.3
申请日:2017-08-03
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
Abstract: 本发明涉及一种复合磨料砂轮及其制备方法,属于磨料、磨具技术领域。本发明中的复合磨料砂轮,包括基体和复合磨料层,复合磨料层包括辅助磨料和主磨料;辅助磨料包括:Al2O3、SiC、金刚石中的一种或组合;所述辅助磨料的粒径为1~10μm;主磨料包括:粒径为10~100μm的金刚石;辅助磨料与主磨料的质量比为1~4:20。本发明中的磨料层中通过不同磨料及不同粒径的磨料设置,使得磨料层整体结构稳定,机械强度高,磨料颗粒在磨料层中分布均匀,磨料层对磨料颗粒的把持度高,在加工工件时不会出现脱料的现象,并且加工粗糙度低,砂轮锋利度好,使用寿命长,在磨具领域中具有广阔的应用前景。
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公开(公告)号:CN108411355A
公开(公告)日:2018-08-17
申请号:CN201810297346.0
申请日:2018-03-30
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
Abstract: 本发明公开了一种轮毂型电镀超薄金刚石切割片的刀刃开刃方法,属于超硬磨料制品制造技术领域,轮毂型电镀超薄金刚石切割片简称为切割片,所述切割片包括铝合金基体,首先将刀刃出露后的切割片安装在竖直转轴上,竖直转轴安装在安装通孔内,调节竖直转轴让切割片浸没在酸性电解液中,以切割片为阳极,以不锈钢棒作为阴极对刀刃进行电解,阳极与阴极之间的间隙为5cm~20cm,电解过程中,竖直转轴带动切割片在酸性电解液中转动;然后根据刀刃中金刚石粒度的不同控制电解时间,最终达到刀刃上下两侧面金刚石出露一致;整个刀刃完全浸入酸性电解液中进行电化学溶解,仅需20s~80s即可完成;而现有的小区域交替溶解速度则需30min左右。
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公开(公告)号:CN106637359A
公开(公告)日:2017-05-10
申请号:CN201610886536.7
申请日:2016-10-11
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
Abstract: 本发明公开了一种轮毂型电镀超薄金刚石切割砂轮的制造方法,将高精度的铝合金基体进行化学镀处理,放入到含有金刚石磨料的电镀液中,在直流电场的作用下,均匀悬浮的金刚石磨料在阳极镍离子的阴极还原的同时被包裹进入镀层,均匀共沉积一定时间后形成所需厚度的复合镀层;再经镀层表面精密研磨、外圆磨削、刀刃反面微腐蚀处理工艺,制造出刀刃厚度0.010mm~0.150mm的轮毂型电镀超薄金刚石切割砂轮。采用含磷的氨基磺酸镍电镀液,并借助硬化剂的增硬作用和应力消除剂的微应力作用,获得低应力、高硬度的新型镍基结合剂,实现了轮毂型电镀超薄金刚石切割砂轮切割刀刃具有极低的应力和较高的强度,避免了砂轮在实际应用中因应力变形或强度过低导致的切割断刀。
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公开(公告)号:CN104388990A
公开(公告)日:2015-03-04
申请号:CN201410559846.9
申请日:2014-10-20
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
Abstract: 本发明公开了一种氨基磺酸镍电镀液的制备方法,属于电镀技术领域。在对原材料中所含杂质离子充分分析的基础上,本发明采用小电流、多步骤电解工艺,结合多孔活性炭和低孔径棉滤芯循环过滤,能有效提高除杂效率,实现氨基磺酸镍电镀液体系的彻底净化处理。同时采用大电流、低硼酸浓度电解工艺,在不引入外界杂质离子的条件下,利用阴极电镀过程中本不希望发生的析氢副反应,促使镀液中H+离子还原析出氢气,从而快速提升pH值至工艺范围。本发明结合上述两种处理工艺,能有效保证氨基磺酸镍电镀液具有超低应力的机械性能优点,测试内应力在-5MPa~5MPa范围,相较一般的氨基磺酸镍镀液(内应力在-100MPa~100MPa范围),镀层的低应力性能明显。
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公开(公告)号:CN114839083A
公开(公告)日:2022-08-02
申请号:CN202210574198.9
申请日:2022-05-25
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
Abstract: 本发明公开了一种划片刀抗弯强度测试装置,包括用于夹紧划片刀的夹紧机构和驱动夹紧机构转动的旋转驱动机构;还包括用于装载测针的进给机构和装载有显微镜的三轴微调平台;进给机构与夹紧机构移动配合以使测针接触划片刀;三轴微调平台与夹紧机构配合以使显微镜对准测针与划片刀的接触点。本发明通过气动夹头夹持划片刀,使用高精度微调平台调整显微镜的聚焦点,便于清晰观察测量;通过直线模组驱动测力件水平移动,通过测针接触划片刀的刀刃,通过控制器输出位移‑力曲线,通过控制移动的位移,显微镜的倍率、气动夹头的回转,调整测针和划片刀接触的位置,测试刀片局部抗弯强度,且能够达到高重复性、无损测试。
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公开(公告)号:CN113172780B
公开(公告)日:2022-06-03
申请号:CN202110369700.8
申请日:2021-04-07
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
Abstract: 一种碳化硅切割用划片结构及其在线修整方法,首次提出划片刀用环形修刀板,将SiC晶圆与环形修刀板一起粘贴在胶膜后吸附在陶瓷工作盘上再依次进行切割,实现了SiC晶圆划片刀切割过程中的在线修整功能,每次划切时均先经过环形修刀板进行修刀,随后对SiC晶圆进行划切,最后再次经过环形修刀板进行修刀,保证了刀刃表面金刚石磨料的出露,解决了划片刀失去切割能力导致突然断刀的问题,不仅节省了单独修刀的时间,还减少了SiC晶圆切割过程中发生断刀的概率。
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公开(公告)号:CN111451952A
公开(公告)日:2020-07-28
申请号:CN202010542652.3
申请日:2020-06-15
Applicant: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
Abstract: 本发明公开了一种具有微尺寸冷水槽的电镀砂轮的制作方法,包括:将圆盘形状的铝基体浸入电镀液中,通过遮挡在大端面形成厚度10~50μm的复合镀层;将复合镀层的外缘部分背后的铝基体去除,之后得到具有特定长度刀刃的圆盘形刀片;移动激光头,使其焦点距离刀刃外缘一段距离,并调整焦距使其聚焦在刀刃上;基座旋转带动刀片旋转,激光头在刀刃上加工出呈圆周阵列排布的冷水槽;激光加工后的刀刃,经过电解抛光和磨刀板修整。非接触加工方式保证了在冷水槽制作过程中不会对刀刃造成损伤。在保证刀刃强度不明显降低的基础上,刀刃两侧增加了冷水槽结构,增强冷却能力和排屑能力,对玻璃、碳化硅、厚硅片有较好的切割。
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