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公开(公告)号：CN1438117A
公开(公告)日：2003-08-27
申请号：CN03103312.1
申请日：2003-01-22
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1628 , B41J2/1642 , B41J2/1645 , B41J2/1646 , B41J2002/14491 , H01L41/1876 , H01L41/318 , H01L41/319 , Y10T29/42 , Y10T29/49155
Abstract: 一种压电体元件及使用它的喷墨式打印头的制造方法，在下部电极(42)上形成Ti膜后，通过多次形成构成压电体薄膜(43)的压电体层膜，并在该压电体薄膜(43)上形成上部电极(44)，从而完成压电体元件(40)的制造。在多次形成所述压电体层膜时，使第1次形成膜的烧结温度比其它各次形成膜的烧结温度高。另外，使第1次形成膜的烧结时间比其它各次形成膜的烧结时间长。这样，可以使100面取向度提高，并能防止下部电极的氧化和Pb的扩散。
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公开(公告)号：CN100592982C
公开(公告)日：2010-03-03
申请号：CN200710307636.0
申请日：2007-10-10
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 李欣山
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1646 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , H01L41/318 , H01L41/319 , Y10T29/42 , Y10T29/49401
Abstract: 本发明提供一种下电极和基底与氧化锆层的结合力优良的致动器装置的制造方法以及致动器装置和液体喷射头。包括在基板的一侧面形成Zr层的工序，对该Zr层进行氧化以形成ZrO2层的工序、在所述ZrO2层上形成下电极的工序、在所述下电极上形成压电体层的工序和在所述压电体层上形成上电极的工序，其特征在于在形成所述Zr层的工序中，在使Zr结晶成长形成的同时，成膜以形成Zr层，所述Zr层在与所述基板相反侧的表面上具有高度为10-100nm、俯视大小为直径0.1-1μm的突出的特别结晶区域，所述特别结晶区域的密度为1.0×106-1.0×108个/cm2。
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公开(公告)号：CN100478179C
公开(公告)日：2009-04-15
申请号：CN200610109730.0
申请日：2006-08-09
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种可以保持良好的压电体层的压电特性并且可以防止上电极剥离的致动器装置及其制造方法、以及液体喷射头和液体喷射装置。所述方法具有在基板上形成振动板的步骤以及在振动板上形成由下电极、压电体层、和上电极构成的压电元件的步骤，在形成压电元件的步骤中，通过溅射法在压电体层上形成上电极，使溅射时的温度为25～250(℃)、压力为0.4～1.5(Pa)，由此，形成厚度为30～100(nm)、应力为0.3～2.0(GPa)、且电阻率为2.0(×10-7Ω·m)以下的上电极。
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公开(公告)号：CN101045383A
公开(公告)日：2007-10-03
申请号：CN200710088474.6
申请日：2007-03-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 李欣山
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2/055 , B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1629 , B41J2/1632 , B41J2/1635 , B41J2/1646 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , H01L41/0973 , H01L41/319 , H04R17/00 , H04R31/00 , Y10T29/42 , Y10T29/435 , Y10T29/49401
Abstract: 本发明提供防止振动板发生剥离，耐久性与可靠性提高的促动器装置制造方法及具有由该方法形成的促动器装置的喷墨式记录头。该促动器装置具备：设于衬底一面上的振动板、及经由该振动板设置的下电极、压电体层及上电极构成的压电元件，该促动器装置的制造方法的特征在于，至少具有：振动板形成工序，其至少包括在所述衬底的一面侧形成柱状晶构成并且其表面的晶粒粒径平均为20～50nm并且XRD图案的(002)面峰值的半价宽度为0.4以下的锆层，对该锆层进行热氧化以使形成柱状晶构成并且其表面的晶粒粒径平均为20～50nm的氧化锆从而形成构成所振动板的一部分的绝缘体膜的工序；在所述振动板上形成压电元件的压电元件形成工序。
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公开(公告)号：CN1621233A
公开(公告)日：2005-06-01
申请号：CN200410095567.8
申请日：2004-11-29
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: B41J2/1632 , B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1629 , B41J2/1635 , B41J2/1646 , B41J2002/14241 , H01L41/0973 , H01L41/1876 , H01L41/314 , H01L41/319 , Y10T29/42 , Y10T29/49401
Abstract: 本发明提供一种防止振动板的剥离并提高了耐久性及可靠性的液体喷头的制造方法。所述制造方法至少具有振动板形成工序，和在所述振动板上形成压电元件的压电元件形成工序，其中，所述振动板形成工序至少包括形成绝缘体膜的工序，即，在流路形成基板的一个面上，通过溅射法形成锆层，使其表面的(002)面取向度为80％以上，并热氧化锆层，形成由氧化锆构成的、并构成振动板一部分的绝缘体膜。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101879814A
公开(公告)日：2010-11-10
申请号：CN201010143225.4
申请日：2010-03-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 李欣山
CPC classification number: B41J2/161 , B41J2/1629 , B41J2/1646 , Y10T29/42 , Y10T29/49401
Abstract: 本发明提供能够抑制因压电元件从基板受到的长度方向拉伸应力而导致压电体层产生裂纹的、液体喷射头的制造方法、液体喷射头和液体喷射装置。在流路形成基板(10)上，形成基准方向的宽度比正交方向的宽度长的压电元件(300)。在比常温低的温度，把喷嘴板(20)接合在流路形成基板(10)的与压电元件(300)相反侧的面上。作为喷嘴板(20)，使用下述喷嘴板，即，与流路形成基板(10)接合的接合面中的、第1方向上的第1热膨胀系数，比第2方向上的第2热膨胀系数小，并且，第1热膨胀系数比流路形成基板(10)的热膨胀系数小。将喷嘴板(20)的第1方向与基准方向一致地进行接合。
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公开(公告)号：CN101226986B
公开(公告)日：2010-09-22
申请号：CN200810002119.7
申请日：2008-01-15
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 李欣山
IPC: H01L41/083 , H01L41/09 , H01L41/047 , B41J2/14
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , B41J2002/14491 , B41J2202/11 , H01L41/047 , H01L41/0805 , H01L41/0973 , H01L41/1876
Abstract: 一种促动装置及液体喷射头，具备对在向两电极施加电压时产生的应力具有高强度的压电体层。压电体层(70)具备：由相对于下电极的平坦部表面在直角方向上延伸的柱状晶体(710)构成的第一压电体层(71)、由相对于基板(流路形成基板(10))表面在直角方向上延伸的柱状晶体(720)构成的第二压电体层(72)、位于第一和第二压电体层间且由在倾斜部上形成的柱状晶体(730)构成的第三压电体层(73)，第三压电体层的柱状晶体相对于倾斜部表面在直角方向上延伸，且随着朝上电极侧按照相对于基板的表面在直角方向上延伸的方式屈曲而形成，压电体层的在上电极侧的面的第三压电体层的柱状晶体的晶粒的宽度比第一及第二压电体层的柱状晶体的晶粒的宽度大。
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公开(公告)号：CN100418772C
公开(公告)日：2008-09-17
申请号：CN200480035810.5
申请日：2004-12-09
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 公开了一种制造致动器装置的方法和液体喷射装置，其通过防止振动板分离而实现了提高的耐久性和可靠性。该方法包括在衬底的一侧上制造振动板的步骤以及在该振动板上制造由下电极、压电层和上电极构成的压电元件的步骤。振动板制造步骤包括绝缘膜形成子步骤，在该子步骤中通过溅射在衬底的所述一侧上形成锆层，将具有锆层的衬底以200mm/min或更大的速度插入加热到700℃以上的热氧化炉而使锆层热氧化，由此形成氧化锆绝缘膜。
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公开(公告)号：CN101226986A
公开(公告)日：2008-07-23
申请号：CN200810002119.7
申请日：2008-01-15
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 李欣山
IPC: H01L41/083 , H01L41/09 , H01L41/047 , B41J2/14
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2002/14241 , B41J2002/14419 , B41J2002/14491 , B41J2202/11 , H01L41/047 , H01L41/0805 , H01L41/0973 , H01L41/1876
Abstract: 一种促动装置及液体喷射头，具备对在向两电极施加电压时产生的应力具有高强度的压电体层。压电体层(70)具备：由相对于下电极的平坦部表面在直角方向上延伸的柱状晶体(710)构成的第一压电体层(71)、由相对于基板(流路形成基板(10))表面在直角方向上延伸的柱状晶体(720)构成的第二压电体层(72)、位于第一和第二压电体层间且由在倾斜部上形成的柱状晶体(730)构成的第三压电体层(73)，第三压电体层的柱状晶体相对于倾斜部表面在直角方向上延伸，且随着朝上电极侧按照相对于基板的表面在直角方向上延伸的方式屈曲而形成，压电体层的在上电极侧的面的第三压电体层的柱状晶体的晶粒的宽度比第一及第二压电体层的柱状晶体的晶粒的宽度大。
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公开(公告)号：CN1323842C
公开(公告)日：2007-07-04
申请号：CN200510053843.9
申请日：2005-03-11
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种既可以提高构成压电元件的压电层的特性，又可以稳定压电层特性的致动器装置的制造方法及液体喷射装置。形成所述振动膜的工序包括通过形成锆层并且在预定温度下对该锆层进行热氧化，从而将由氧化锆形成的构成所述振动膜的最表层的绝缘膜以使其表面粗糙度Ra在1～3nm范围内地形成的工序，并且，形成所述压电元件的工序包括：通过使用溅射法在所述下电极上涂布钛来形成钛种层的工序；以及在该钛种层上涂布压电材料来形成压电体前驱体膜，并且烧结该压电体前驱体膜使其结晶，从而形成所述压电层的工序。
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