振动型陀螺仪及振动型陀螺仪的制造方法

    公开(公告)号:CN101031775A

    公开(公告)日:2007-09-05

    申请号:CN200580033373.8

    申请日:2005-09-29

    CPC classification number: G01C19/5628 Y10T29/42

    Abstract: 本发明提供一种振动型陀螺仪及振动型陀螺仪的制造方法,该振动型陀螺仪可改变使用质量除去装置可除去的最低除去量,从而能够进行固有共振频率的粗调和微调。本发明的振动型陀螺仪的压电振动片(10)由以下部分构成:从基部(12)向相反方向延伸的连接臂(13、14);从连接臂(13、14)各自的前端沿与连接臂(13、14)正交的方向延伸的驱动臂(15A、15B、15C、15D);和从基部(12)沿与连接臂(13、14)正交的方向延伸的检测臂(16A、16B),在驱动臂(15A、15B、15C、15D)及检测臂(16A、16B)各自的前端部上,形成有由锤层(18、20)和电极膜(17)构成的作为质量调节用的调节部的第一锤部(19)和第二锤部(23)。

    振动元件
    14.
    发明公开
    振动元件 审中-实审

    公开(公告)号:CN117811535A

    公开(公告)日:2024-04-02

    申请号:CN202311272102.4

    申请日:2023-09-28

    Inventor: 川内修

    Abstract: 本发明提供振动元件,能够抑制由冲击等引起的破损。振动元件呈板状,具备相互处于正反关系的第一面和第二面,并具有:振动基板,其具有振动部和支承所述振动部且厚度比所述振动部小的支承部;电极,其具有配置于所述振动部的所述第一面的第一激励电极、配置于所述振动部的所述第二面的第二激励电极、配置于所述支承部且与所述第一激励电极电连接的第一焊盘电极、以及配置于所述支承部且与所述第二激励电极电连接的第二焊盘电极;第一金属膜,其配置于所述第一焊盘电极的上层,厚度比所述第一焊盘电极大;以及第二金属膜,其配置于所述第二焊盘电极的上层,厚度比所述第二焊盘电极大。

    振动器件的制造方法
    15.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113206641A

    公开(公告)日:2021-08-03

    申请号:CN202110125119.1

    申请日:2021-01-29

    Abstract: 本发明提供振动器件的制造方法,使得浮渣不易附着。振动器件的制造方法包含如下工序:准备振动元件,该振动元件具有振动臂和配置在所述振动臂上的施重部;以及对所述施重部照射激光而去除所述施重部的一部分。此外,在所述去除的工序中,通过对所述施重部的一部分照射所述激光,在所述施重部上形成所述施重部的一部分被去除的去除区域和所述施重部未被去除的非去除区域,在所述去除区域内的所述非去除区域侧的区域中,使所述激光的照射量从所述非去除区域侧向所述去除区域侧逐渐增加。

    电子装置的制造方法、电子装置、电子设备以及移动体

    公开(公告)号:CN103972180A

    公开(公告)日:2014-08-06

    申请号:CN201410037941.2

    申请日:2014-01-26

    Abstract: 本发明提供一种电子装置的制造方法、电子装置、电子设备以及移动体,其能够较容易地实施空腔内的脱气以及密封。所述电子装置的制造方法为,在基座(91)与盖(92)之间形成收纳陀螺元件(2)的内部空间(14),并且将基座(91)与盖(92)接合在一起,所述电子装置的制造方法包括:接合工序,在盖(92)的与基座(91)接合的一侧的面上设置槽(94),以成为通过槽(94)的内表面不与基座(91)接合从而将内部空间(14)与外部连通的状态的方式、且以槽(94)位于被设置在基座(91)的侧面上的凹部(89)的附近的方式,将盖(92)与基座(91)接合在一起;密封工序,向连通部分的盖(92)照射激光(98)从而对连通部分进行封闭。

    振动型陀螺仪及振动型陀螺仪的制造方法

    公开(公告)号:CN102200439B

    公开(公告)日:2014-07-16

    申请号:CN201110070704.2

    申请日:2005-09-29

    CPC classification number: G01C19/5628 Y10T29/42

    Abstract: 本发明提供一种振动型陀螺仪及振动型陀螺仪的制造方法,该振动型陀螺仪可改变使用质量除去装置可除去的最低除去量,从而能够进行固有共振频率的粗调和微调。本发明的振动型陀螺仪的压电振动片(10)由以下部分构成:从基部(12)向相反方向延伸的连接臂(13、14);从连接臂(13、14)各自的前端沿与连接臂(13、14)正交的方向延伸的驱动臂(15A、15B、15C、15D);和从基部(12)沿与连接臂(13、14)正交的方向延伸的检测臂(16A、16B),在驱动臂(15A、15B、15C、15D)及检测臂(16A、16B)各自的前端部上,形成有由锤层(18、20)和电极膜(17)构成的作为质量调节用的调节部的第一锤部(19)和第二锤部(23)。

    振动片、电子装置、电子设备以及振动片的制造方法

    公开(公告)号:CN103457570A

    公开(公告)日:2013-12-18

    申请号:CN201310206769.4

    申请日:2013-05-29

    CPC classification number: H01L41/332 H01L41/04 H03H9/21 H03H2003/026

    Abstract: 本发明的目的在于,能够提供一种振动片、电子装置、电子设备以及振动片的制造方法,其可在制造振动片时,同时进外形蚀刻和槽部的蚀刻,从而简化制造工序,并且提高槽部与外形的相对位置精度。本发明的振动片(44)的特征在于,具有基部、和从基部突出且具有槽部的振动臂(40),并且在所述振动臂(40)上形成有槽部(42),所述槽部(42)被形成为,在所述振动臂(40)的宽度方向上的长度长于在所述振动臂的长度方向上的长度,且沿着所述振动臂(40)的长度方向而排列配置有多个。

    压电振动片及其支撑结构、压电振子及振动型压电陀螺仪

    公开(公告)号:CN1576785A

    公开(公告)日:2005-02-09

    申请号:CN200410069009.4

    申请日:2004-07-12

    CPC classification number: G01C19/56 G01C19/5719

    Abstract: 一种压电振动片及其支撑结构、压电振子及振动型压电陀螺仪。压电振动片(10)具有:基部(12);从基部(12)在同一平面内呈放射状延伸的多个驱动用振动臂(16-1~16-4)和检测用振动臂(20-1~20-2),在所述振动臂之间形成有:从基部(12)延伸的具有弹性的多个第1梁(32-1~32-4),至少形成在所述梁的前端部的第1支撑部(30-1~30-4)。在所述驱动用振动臂和检测用振动臂形成电极图形,连接半导体装置(80)并被驱动。该压电振动片(10)被收容在由基部部件(82)和盖部件(84)构成的容器内,构成压电振子(200)、振动型压电陀螺仪(90)。从而,可保持稳定的驱动振动和检测振动。

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