公开(公告)号：CN115139650A

公开(公告)日：2022-10-04

申请号：CN202210305385.7

申请日：2022-03-25

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 古池晴信 ,  中山雅夫 ,  清水稔弘 ,  山崎泰志 ,  外村修 ,  沢崎立雄 ,  西智寻

IPC: B41J2/14

Abstract: 本发明提供一种对水分向振动板内部的侵入进行抑制并对出现振动板的层间剥离或裂纹等损伤的情况进行抑制的压电装置以及液体喷射头。压电装置具备：基板，其具有凹部；振动板；压电致动器，振动板具有：第一层，其作为构成元素而包含硅；第二层，其被配置在第一层与压电致动器之间，且作为构成元素而包含选自铬、钛、铝、钽、铪以及铱中的至少一种金属元素和氮化硅中的任意一方或者两方；第三层，其被配置在第二层与压电致动器之间，且作为构成元素而包含锆，在第三层的压电致动器侧具有第四层，第四层作为构成元素而包含选自铬、钛、铝、钽、铪以及铱中的至少一种金属元素和氮化硅中的任意一方或者两方。

公开(公告)号：CN115139649A

公开(公告)日：2022-10-04

申请号：CN202210305324.0

申请日：2022-03-25

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 古池晴信 ,  沢崎立雄 ,  中山雅夫 ,  清水稔弘

IPC: B41J2/14

Abstract: 本发明提供一种抑制了水分的向振动板内部的侵入，并抑制了产生振动板的层间剥离或裂纹等损伤的情况的压电装置。该压电装置具备：基板(12)，其具有凹部(12)；振动板(50)；压电致动器(300)，所述振动板(50)具有：第一层(51)，其作为结构元素而包含硅；第三层(53)，其被配置于所述第一层(51)和所述压电致动器(300)之间，并且作为结构元素而包含锆，所述第一层(51)和所述第三层(53)的层叠侧面覆盖有包含从由氧化物、氮化物、金属以及类金刚石碳构成的组中选择的至少一种的耐湿保护膜(210)。

公开(公告)号：CN112440561A

公开(公告)日：2021-03-05

申请号：CN202010870585.8

申请日：2020-08-26

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 古池晴信 ,  中山雅夫 ,  清水稔弘

IPC: B41J2/01 ,  B41J2/14

Abstract: 本发明提供一种对在振动板上产生裂纹的情况进行抑制从而提高可靠性的液体喷射头以及液体喷射装置。液体喷射头具备形成有压力室(12)的流道形成基板(10)、振动板(50)和压电致动器(300)，压电致动器(300)具备通过第一电极(60)和第二电极(80)而夹持着压电体层(70)的能动部(310)，能动部(310)在俯视观察时与压力室(12)的至少一部分重叠，且被延伸设置至与压力室(12)相比靠外侧，压力室(12)被形成为，与流道形成基板(10)和振动板(50)的层压方向相交叉的方向上的宽度随着在层压方向上越接近压电致动器(300)而变得越窄。