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公开(公告)号：CN101174802A
公开(公告)日：2008-05-07
申请号：CN200710188634.4
申请日：2006-05-31
Applicant: 精工爱普生株式会社 , 国立大学法人东京大学
CPC classification number: B81B3/004 , B81B2201/042 , B81B2201/045 , H02N1/008
Abstract: 本发明提供一种可以在降低的电压下驱动并且容易制造的致动器及其制造方法。致动器包括：通过隔离器固定到支撑衬底4上的第二支撑部分31和32；在隔离器没有干涉的条件下固定到支撑衬底4上的固定部分33和34；固定式梳状电极331和341，其是与固定部分33和34整体形成的或与其连接的，并且以彼此间隔开的关系与活动式梳状电极211和212啮合；和用于将固定部分33和34连接到第二支撑部分31和32上的桥接部分35和36。固定部分33和34以它们相对于第二支撑部分31和32向支撑衬底4偏转、同时使桥接部分35和36弯曲的状态被固定于支撑衬底4上，由此初始偏移固定式梳状电极331和341，以使其在支撑衬底4的厚度方向上与活动式梳状电极211和212不成直线。
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公开(公告)号：CN1289926C
公开(公告)日：2006-12-13
申请号：CN200410056345.5
申请日：2004-08-06
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/26
Abstract: 本发明提供一种波长可变滤光器及其制造方法，本发明的波长可变滤光器是将在上表面形成有高反射膜(23)并支撑自由地上下移动的可动体(21a)的可动部(2)、形成有与可动体(21a)间隔静电间隙(EG)而相面对的驱动电极(12)的驱动电极部(1)、形成有与高反射膜(23)间隔光学间隙(OG)而相面对的高反射膜(32)的光学间隙部(3)相互接合而构成的。由此，能够以高精度形成静电间隙，以低驱动电压驱动，并防止制造时及使用时的粘附。
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公开(公告)号：CN1790181A
公开(公告)日：2006-06-21
申请号：CN200510136975.8
申请日：2005-12-15
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B26/0841 , H02N1/006
Abstract: 一种致动器(100)包括：一对彼此相间隔的驱动部(1，11)；在驱动部之间设置的活动部(2)；一对用于支撑驱动部(1，11)和活动部(2)的支撑部(3，3)；一对第一弹性连接部(4，4)，第一弹性连接部将驱动部分别连接到支撑部(3，3)，以便每个驱动部能够相对于支撑部(3，3)旋转；和一对第二弹性连接部(5，5)，第二弹性连接部将活动部分别连接到驱动部，这样活动部能够根据驱动部(1，11)的旋转而旋转。在这种情况中，通过施加交流电压，驱动部的每个围绕致动器的旋转中心轴(41)旋转，从而活动部围绕致动器的旋转中心轴旋转。此外，第一弹性连接部的每个的扭转刚度大于第二弹性连接部的每个的扭转刚度。
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公开(公告)号：CN102749091B
公开(公告)日：2015-09-23
申请号：CN201210116661.1
申请日：2012-04-19
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01D5/12
CPC classification number: G01C19/5783 , G01P15/0802 , G01P15/125 , G01P2015/0814 , H05K1/118
Abstract: 本发明提供功能元件、传感器元件、电子设备和功能元件的制造方法，可抑制制造效率降低。所述功能元件的特征是具备：具有主面(16)的基板(12)；在上述主面(12)上配置的槽部(第1槽部(24)、第2槽部(26))；和跨越上述基板(12)上的上述槽部进行配置的固定电极部(第1固定电极指(78)、第2固定电极指(80))，在上述槽部的内部中，在俯视时与上述固定电极部重叠的位置上设置有采用上述基板以及上述固定电极部的至少一方形成的凸部(54、56)，上述凸部(54、56)具有接合面(端面(82))，在该接合面侧配置有布线(第1布线(30)、第2布线(36))，并经由上述布线连接上述基板(12)与上述固定电极部。
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公开(公告)号：CN100576015C
公开(公告)日：2009-12-30
申请号：CN200610087676.4
申请日：2006-05-31
Applicant: 精工爱普生株式会社 , 国立大学法人东京大学
IPC: G02B26/08
CPC classification number: B81B3/004 , B81B2201/042 , B81B2201/045 , H02N1/008
Abstract: 本发明提供一种可以在降低的电压下驱动并且容易制造的致动器及其制造方法。致动器包括：通过隔离器固定到支撑衬底4上的第二支撑部分31和32；在隔离器没有干涉的条件下固定到支撑衬底4上的固定部分33和34；固定式梳状电极331和341，其是与固定部分33和34整体形成的或与其连接的，并且以彼此间隔开的关系与活动式梳状电极211和212啮合；和用于将固定部分33和34连接到第二支撑部分31和32上的桥接部分35和36。固定部分33和34以它们相对于第二支撑部分31和32向支撑衬底4偏转、同时使桥接部分35和36弯曲的状态被固定于支撑衬底4上，由此初始偏移固定式梳状电极331和341，以使其在支撑衬底4的厚度方向上与活动式梳状电极211和212不成直线。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101320129A
公开(公告)日：2008-12-10
申请号：CN200810111259.8
申请日：2008-06-05
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 与田光宏
CPC classification number: G02B26/101 , G02B26/105 , H02N2/00
Abstract: 本发明提供一种执行机构、光扫描仪以及图像形成装置，在制造之后也可简单且正确地调整可动板的共振频率、可发挥期望的振动特性。执行机构(1)包括可动板(21)、可转动地支承可动板(21)的一对轴部件(221、222)、用于调整与一对轴部件(221、222)的轴线方向有关的张力的张力调整单元(6)，其中，张力调整单元(6)包括：扭转轴(231)，接合于轴部件(221)，并被设置成与轴部件(221)的轴线方向正交；以及驱动源(61)，用于使扭转轴(231)绕Y轴扭转变形，基于驱动源(61)的动作使扭转轴(231)扭转变形，并调整一对轴部件(221、222)的弹簧常数。
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公开(公告)号：CN100411294C
公开(公告)日：2008-08-13
申请号：CN200410068721.2
申请日：2004-09-06
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 与田光宏
IPC: H02N1/00
Abstract: 一种采用二自由度振动系统型的致动器，包括：第一块部分；第二块部分；支撑部分；至少一对第一弹性连接部分，其将第一块部分连接到所述支撑部分，从而使第一块部分能够相对于支撑部分旋转；以及至少一对第二弹性连接部分，其将第二块部分连接到第一块部分，从而使第二块部分能够相对于第一块部分旋转。通过施加交流电压驱动第一块部分，使第二块部分旋转，并且设置交流电压的频率，从而使其与第一块部分和第二块部分谐振的二自由度振荡系统的谐振频率的较低谐振频率一致。这能够提供能够以高速、低电压进行操作并获得大旋转角度的致动器。
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公开(公告)号：CN1303448C
公开(公告)日：2007-03-07
申请号：CN200410062162.4
申请日：2004-07-05
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 与田光宏
CPC classification number: G02B6/29358 , G02B6/29395
Abstract: 本发明提供一种可以用低电压驱动可动板、并可以使可动板的变位量增大的波长可变光滤光器。其解决方法是，在基础层(16)的上方设固定镜、与该固定镜对向配置的可动镜、驱动该可动镜的驱动板(13)和支持该驱动板(13)的外周支持部(18)，通过将电压施加于设在上述驱动板(13)上的电极和设在上述基础层(16)上的电极之间，使上述可动镜变位，在可动镜和外周支持部(18)之间设1个以上的驱动板(13)，驱动板(13)由静电力而变位。
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公开(公告)号：CN1289927C
公开(公告)日：2006-12-13
申请号：CN200410098255.2
申请日：2004-12-01
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/26
Abstract: 本发明提供波长可变滤波器及波长可变滤波器的制造方法，所述波长可变滤波器具备：具有光透过性并且具有可动部(31)和可以位移地支撑可动部的支撑部(32)的第1基板(3)、具有光透过性并且与第1基板(3)相面对的第2基板(2)、设于可动部和第2基板之间的第1间隙(21)及第2间隙(22)、在可动部和第2基板之间夹隔第2间隙产生干涉的干涉部、通过利用第1间隙使可动部相对于第2基板(2)位移来改变第2间隙的间隔的驱动部(1)，其特征是，支撑部的厚度比可动部的厚度薄。利用该波长可变滤波器可以用低电压实现可动部的稳定的驱动，使构造、制造工序简单化，实现小型化。
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公开(公告)号：CN1873464A
公开(公告)日：2006-12-06
申请号：CN200610087676.4
申请日：2006-05-31
Applicant: 精工爱普生株式会社 , 国立大学法人东京大学
IPC: G02B26/08
CPC classification number: B81B3/004 , B81B2201/042 , B81B2201/045 , H02N1/008
Abstract: 本发明提供一种可以在降低的电压下驱动并且容易制造的致动器及其制造方法。致动器包括：通过隔离器固定到支撑衬底4上的第二支撑部分31和32；在隔离器没有干涉的条件下固定到支撑衬底4上的固定部分33和34；固定式梳状电极331和341，其是与固定部分33和34整体形成的或与其连接的，并且以彼此间隔开的关系与活动式梳状电极211和212啮合；和用于将固定部分33和34连接到第二支撑部分31和32上的桥接部分35和36。固定部分33和34以它们相对于第二支撑部分31和32向支撑衬底4偏转、同时使桥接部分35和36弯曲的状态被固定于支撑衬底4上，由此初始偏移固定式梳状电极331和341，以使其在支撑衬底4的厚度方向上与活动式梳状电极211和212不成直线。
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