公开(公告)号：CN101174802B

公开(公告)日：2010-08-18

申请号：CN200710188634.4

申请日：2006-05-31

Applicant: 精工爱普生株式会社 ,  国立大学法人东京大学 ,  思泰克株式会社

Inventor： 与田光宏 ,  谏本圭史 ,  年吉洋

IPC: G02B26/08

CPC classification number: B81B3/004 ,  B81B2201/042 ,  B81B2201/045 ,  H02N1/008

Abstract: 本发明提供一种可以在降低的电压下驱动并且容易制造的致动器及其制造方法。致动器包括：通过隔离器固定到支撑衬底4上的第二支撑部分31和32；在隔离器没有干涉的条件下固定到支撑衬底4上的固定部分33和34；固定式梳状电极331和341，其是与固定部分33和34整体形成的或与其连接的，并且以彼此间隔开的关系与活动式梳状电极211和212啮合；和用于将固定部分33和34连接到第二支撑部分31和32上的桥接部分35和36。固定部分33和34以它们相对于第二支撑部分31和32向支撑衬底4偏转、同时使桥接部分35和36弯曲的状态被固定于支撑衬底4上，由此初始偏移固定式梳状电极331和341，以使其在支撑衬底4的厚度方向上与活动式梳状电极211和212不成直线。

公开(公告)号：CN101174802A

公开(公告)日：2008-05-07

申请号：CN200710188634.4

申请日：2006-05-31

Applicant: 精工爱普生株式会社 ,  国立大学法人东京大学

Inventor： 与田光宏 ,  谏本圭史 ,  年吉洋

IPC: H02N1/00 ,  B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  G02B26/08

CPC classification number: B81B3/004 ,  B81B2201/042 ,  B81B2201/045 ,  H02N1/008

Abstract: 本发明提供一种可以在降低的电压下驱动并且容易制造的致动器及其制造方法。致动器包括：通过隔离器固定到支撑衬底4上的第二支撑部分31和32；在隔离器没有干涉的条件下固定到支撑衬底4上的固定部分33和34；固定式梳状电极331和341，其是与固定部分33和34整体形成的或与其连接的，并且以彼此间隔开的关系与活动式梳状电极211和212啮合；和用于将固定部分33和34连接到第二支撑部分31和32上的桥接部分35和36。固定部分33和34以它们相对于第二支撑部分31和32向支撑衬底4偏转、同时使桥接部分35和36弯曲的状态被固定于支撑衬底4上，由此初始偏移固定式梳状电极331和341，以使其在支撑衬底4的厚度方向上与活动式梳状电极211和212不成直线。

公开(公告)号：CN100576015C

公开(公告)日：2009-12-30

申请号：CN200610087676.4

申请日：2006-05-31

Applicant: 精工爱普生株式会社 ,  国立大学法人东京大学

Inventor： 与田光宏 ,  谏本圭史 ,  年吉洋

IPC: G02B26/08

CPC classification number: B81B3/004 ,  B81B2201/042 ,  B81B2201/045 ,  H02N1/008

Abstract: 本发明提供一种可以在降低的电压下驱动并且容易制造的致动器及其制造方法。致动器包括：通过隔离器固定到支撑衬底4上的第二支撑部分31和32；在隔离器没有干涉的条件下固定到支撑衬底4上的固定部分33和34；固定式梳状电极331和341，其是与固定部分33和34整体形成的或与其连接的，并且以彼此间隔开的关系与活动式梳状电极211和212啮合；和用于将固定部分33和34连接到第二支撑部分31和32上的桥接部分35和36。固定部分33和34以它们相对于第二支撑部分31和32向支撑衬底4偏转、同时使桥接部分35和36弯曲的状态被固定于支撑衬底4上，由此初始偏移固定式梳状电极331和341，以使其在支撑衬底4的厚度方向上与活动式梳状电极211和212不成直线。

公开(公告)号：CN1873464A

公开(公告)日：2006-12-06

申请号：CN200610087676.4

申请日：2006-05-31

Applicant: 精工爱普生株式会社 ,  国立大学法人东京大学

Inventor： 与田光宏 ,  谏本圭史 ,  年吉洋

IPC: G02B26/08

CPC classification number: B81B3/004 ,  B81B2201/042 ,  B81B2201/045 ,  H02N1/008

Abstract: 本发明提供一种可以在降低的电压下驱动并且容易制造的致动器及其制造方法。致动器包括：通过隔离器固定到支撑衬底4上的第二支撑部分31和32；在隔离器没有干涉的条件下固定到支撑衬底4上的固定部分33和34；固定式梳状电极331和341，其是与固定部分33和34整体形成的或与其连接的，并且以彼此间隔开的关系与活动式梳状电极211和212啮合；和用于将固定部分33和34连接到第二支撑部分31和32上的桥接部分35和36。固定部分33和34以它们相对于第二支撑部分31和32向支撑衬底4偏转、同时使桥接部分35和36弯曲的状态被固定于支撑衬底4上，由此初始偏移固定式梳状电极331和341，以使其在支撑衬底4的厚度方向上与活动式梳状电极211和212不成直线。

公开(公告)号：CN100458588C

公开(公告)日：2009-02-04

申请号：CN200510136975.8

申请日：2005-12-15

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 与田光宏 ,  伊藤弘和

IPC: G03G15/04 ,  G03G15/00

Abstract: 一种致动器(100)包括：一对彼此相间隔的驱动部(1，11)；在驱动部之间设置的活动部(2)；一对用于支撑驱动部(1，11)和活动部(2)的支撑部(3，3)；一对第一弹性连接部(4，4)，第一弹性连接部将驱动部分别连接到支撑部(3，3)，以便每个驱动部能够相对于支撑部(3，3)旋转；和一对第二弹性连接部(5，5)，第二弹性连接部将活动部分别连接到驱动部，这样活动部能够根据驱动部(1，11)的旋转而旋转。在这种情况中，通过施加交流电压，驱动部的每个围绕致动器的旋转中心轴(41)旋转，从而活动部围绕致动器的旋转中心轴旋转。此外，第一弹性连接部的每个的扭转刚度大于第二弹性连接部的每个的扭转刚度。

公开(公告)号：CN1612064A

公开(公告)日：2005-05-04

申请号：CN200410085991.4

申请日：2004-10-27

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 与田光宏

IPC: G03G15/00

CPC classification number: H02N1/006 ,  H02K33/16

Abstract: 一种采用两个自由度振动系统的驱动装置100，所述驱动装置包括：一对第一质量部分(1、11)；第二质量部分(2)，其设置在所述一对第一质量部分(1、11)之间；一对支撑部分(3、3)，用于支撑所述一对第一质量部分(1、11)和第二质量部分(2)；至少一对第一弹性连接部分(4、4)，其分别将第一质量部分(1、11)连接到支撑部分(3、3)，以便每一第一质量部分(1、11)可相对支撑部分(3、3)转动；以及至少一对第二弹性连接部分(5、5)，其分别将第二质量部分2连接到第一质量部分(1、11)，以便第二质量部分(2)可相对第一质量部分(1、11)转动。每一第一质量部分(1、11)通过施加交变电压被驱动，引起第二质量部分(2)转动。

公开(公告)号：CN1576945A

公开(公告)日：2005-02-09

申请号：CN200410062162.4

申请日：2004-07-05

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 与田光宏

IPC: G02B26/00 ,  G02B5/28

CPC classification number: G02B6/29358 ,  G02B6/29395

Abstract: 本发明提供一种可以用低电压驱动可动板、并可以使可动板的变位量增大的波长可变光滤光器。其解决方法是，在基础层(16)的上方设固定镜、与该固定镜对向配置的可动镜、驱动该可动镜的驱动板(13)和支持该驱动板(13)的外周支持部(18)，通过将电压施加于设在上述驱动板(13)上的电极和设在上述基础层(16)上的电极之间，使上述可动镜变位，在可动镜和外周支持部(18)之间设1个以上的驱动板(13)，驱动板(13)由静电力而变位。

公开(公告)号：CN103226153B

公开(公告)日：2017-09-08

申请号：CN201310022516.1

申请日：2013-01-22

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 与田光宏

IPC: G01P15/125

CPC classification number: G01P15/02 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/125 ,  G01P2015/0831 ,  G01P2015/0871

Abstract: 本发明提供物理量传感器以及电子设备，能够简化制造工序、并且可靠性高。本发明的物理量传感器（100）具有：基板（10）；摆动体（20），其设置在基板（10）的上方；支撑部（40、42），其支撑摆动体（20），沿着第1轴进行配置；以及检测电极（50、52），其设置于基板（10），与摆动体（20）相对配置，摆动体（20）具有与第2轴交叉的一对侧面，该第2轴在平面中与所述第1轴垂直，在所述一对侧面的至少一方，设置有突起部（30）。

公开(公告)号：CN103226153A

公开(公告)日：2013-07-31

申请号：CN201310022516.1

申请日：2013-01-22

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 与田光宏

IPC: G01P15/125

CPC classification number: G01P15/02 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/125 ,  G01P2015/0831 ,  G01P2015/0871

Abstract: 本发明提供物理量传感器以及电子设备，能够简化制造工序、并且可靠性高。本发明的物理量传感器（100）具有：基板（10）；摆动体（20），其设置在基板（10）的上方；支撑部（40、42），其支撑摆动体（20），沿着第1轴进行配置；以及检测电极（50、52），其设置于基板（10），与摆动体（20）相对配置，摆动体（20）具有与第2轴交叉的一对侧面，该第2轴在平面中与所述第1轴垂直，在所述一对侧面的至少一方，设置有突起部（30）。

公开(公告)号：CN1580837A

公开(公告)日：2005-02-16

申请号：CN200410056345.5

申请日：2004-08-06

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 中村亮介 ,  纸透真一 ,  村田昭浩 ,  与田光宏

IPC: G02B5/28 ,  G02B26/00

CPC classification number: G02B26/001 ,  G01J3/26

Abstract: 本发明提供一种波长可变滤光器及其制造方法，本发明的波长可变滤光器是将在上表面形成有高反射膜(23)并支撑自由地上下移动的可动体(21a)的可动部(2)、形成有与可动体(21a)间隔静电间隙(EG)而相面对的驱动电极(12)的驱动电极部(1)、形成有与高反射膜(23)间隔光学间隙(OG)而相面对的高反射膜(32)的光学间隙部(3)相互接合而构成的。由此，能够以高精度形成静电间隙，以低驱动电压驱动，并防止制造时及使用时的粘附。