公开(公告)号：CN1823403A

公开(公告)日：2006-08-23

申请号：CN200480020146.7

申请日：2004-07-14

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 野路郁太郎 ,  安田穗积 ,  饭泉健 ,  广川一人 ,  小畠严贵

IPC: H01L21/3063 ,  H01L21/304 ,  C25F3/16

Abstract: 本发明提供一种电解处理装置和电解处理方法，能够有效地避免形成会对影响处理产品的质量的凹坑。该电解处理装置包括：用于处理工件的处理电极(210)；用于给工件供电的供电电极(212)；用于向处理电极(210)和供电电极(212)之间施加电压的电源(232)；在其中容纳处理电极(210)和供电电极(212)的压力密闭容器(200)；和用于将高压液体供应到压力密闭容器(210)内的高压液体供应系统(204)。

公开(公告)号：CN1617955A

公开(公告)日：2005-05-18

申请号：CN02827689.2

申请日：2002-11-29

Applicant: 株式会社荏原制作所

Inventor： 齐藤孝行 ,  铃木作 ,  槙田裕司 ,  山田薰 ,  白樫充彦 ,  当间康 ,  小田严贵 ,  粂川正行 ,  安田穗积 ,  锅谷治 ,  广川一人

IPC: C25F3/00 ,  B23H3/10 ,  H01L21/3063 ,  B01J49/00

CPC classification number: C25F3/00 ,  B01J49/30 ,  C25F7/00

Abstract: 一种用于再生离子交换剂的方法与设备，该方法与设备能够方便、快速地再生一种离子交换剂，并能够使清洗该已再生的离子交换剂以及处理废液时的负荷最小。一种用于再生被污染的离子交换剂的方法包括：提供由一个再生电极与一个反电极构成的一对电极、放置在这些电极之间的一个隔板以及放置在该反电极与该隔板之间的一个要被再生的电极；以及将电压加到该再生电极与该反电极之间，与此同时，将液体供应到该隔板与该再生电极之间，而且也将液体供应到该隔板与该反电极之间。