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公开(公告)号：CN1437697A
公开(公告)日：2003-08-20
申请号：CN00819268.5
申请日：2000-07-27
Applicant: 株式会社日立制作所 , 株式会社日立汽车工程
IPC: G01F1/692
Abstract: 在热式空气流量计中，空气流量测定元件与吸气温度传感器的吸气温度测定元件安装于一个玻璃陶瓷等制的支承体上并位于吸气通路内。支承体由安装于吸气管的管壁的保持部保持。支承体的远离吸气管管壁方的一部分的两面、做成易于从流过吸气管的空气流吸热的构造。在被吸热的支承体面上配置空气流量测定元件与吸气温度检测元件。这些元件分别与配置于支承体的导体电气连接，由树脂密封这些电气连接部。由此使吸气温度传感器与空气流量计的一体化成为可能。
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公开(公告)号：CN1433513A
公开(公告)日：2003-07-30
申请号：CN00818668.5
申请日：2000-05-02
Applicant: 株式会社日立制作所 , 株式会社日立汽车工程
CPC classification number: G01P15/123 , F02D41/1454 , F02D41/182 , F02D41/187 , F02D2200/0414 , F02D2200/703 , G01F1/6845 , G01F1/692 , G01P2015/0828 , H01L2224/48091 , H01L2224/73265 , H01L2924/00014
Abstract: 本发明的目的在于提供一种即使长时间使用电阻值也不变化而且构造简单的物理量检测装置、其制造方法、及使用物理量检测装置提高可靠性的车辆控制系统。空气流量计20具有形成于半导体基板11的发热电阻12H和测温电阻12C。发热电阻12H形成于薄壁部11A。发热电阻12H的两端部分别通过第1引出导体13H1、13H2连接到电极14H1、14H2。连接于电极14H1的第2引出导体15H1延伸到空气流量传感器10的外周部。连接于电极14H2的第2引出导体15H2、15H3也延伸到空气流量传感器10的外周部，但在途中设置断线部16，成为电非导通的状态。
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公开(公告)号：CN100497912C
公开(公告)日：2009-06-10
申请号：CN200510087591.1
申请日：2005-07-28
Applicant: 株式会社日立制作所 , 日立汽车技术有限公司
CPC classification number: G01F1/699 , G01F1/6842 , G01F1/692
Abstract: 一种流量传感器，是在单晶硅基板上形成薄膜部并在该薄膜部上形成多晶硅的感应电阻器的流量传感器；通常，在薄膜部变化时，电阻值发生变化。因该电阻值变化会导致流量传感器的输出异常。尤其是由于输出异常容易发生在低流量区域，所以作为降低燃料消耗的目的，在发动机进行低怠速化时，上述输出异常就成为问题。因此，为了解决上述的问题，本发明通过将形成在薄膜部的温感电阻器的图案的长方向和短方向的关系设成最佳的构成，使得即使薄膜部变形而导致温感电阻器的电阻值发生变化，流量传感器的输出也难以变化。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100437043C
公开(公告)日：2008-11-26
申请号：CN200610005918.0
申请日：2006-01-19
Applicant: 株式会社日立制作所
CPC classification number: G01C9/00 , G01F1/6845 , G01F1/69 , G01P15/008
Abstract: 一种物理量传感器，将与所定方向(例如最大应力的外加方向)的应力(σ)平行的方向定义为横向、垂直的方向定义为纵向后，所述流量传感器的电阻器(7a、7b、8a、8b)，就具有横向电阻成分(R1)和纵向电阻成分(Rt)。加给基板的应力σ加给横向的电阻成分R1时的压电电阻系数π1，和应力σ加给纵向的电阻成分(Rt)时的压电电阻系数(πt)之比，是π1∶πt＝-n∶1(n为整数)时，将纵向的电阻成分(Rt)和横向的电阻成分R1的电阻比，设定成与压电电阻系数π1与πt之比的绝对值大致相等。在确保强度的可靠性的同时，降低应力引起的电阻变化，提供高精度的物理量传感器。
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公开(公告)号：CN1892188A
公开(公告)日：2007-01-10
申请号：CN200610100749.9
申请日：2006-07-04
Applicant: 株式会社日立制作所
IPC: G01F1/68
CPC classification number: G01F1/692 , G01F1/6845 , G01F1/698
Abstract: 实现一种不会使电路或者传感器的构造复杂化，且可以减轻发热电阻体的污损，减少因老化而导致的测定误差的热式流量测量装置。薄壁部(7)形成于半导体基板(2)上，在该薄壁部(7)配置有发热电阻体(10)、和感温电阻体(13)的一部分。感温电阻体(13)是在电桥电路中位于与发热电阻体(10)对角的位置的电阻，并被配置于接受发热电阻体(10)的热影响的位置。由此可以使发热电阻体(10)的加热温度具有流量依存性，可以使因老化而导致的测定误差减少。
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公开(公告)号：CN1879010A
公开(公告)日：2006-12-13
申请号：CN200380110717.1
申请日：2003-11-20
Applicant: 株式会社日立制作所 , 日立汽车技术有限公司
CPC classification number: G01F1/6965 , G01F1/6845
Abstract: 实现一种温度特性好、提高了测量精度的热式空气流量计。热式空气流量计具有：温度传感器(16)，其设置于空气流量计的壳体(23)内；运算器(17)，其利用该温度传感器(16)修正来自于测定元件(1)的流量检测电压；加热温度控制机构(6b)，其在进行发热电阻(5)的温度控制的温度控制电路中，使发热电阻(5)的相对于空气温度的上升温度因空气温度而变化。可以同时地修正因整体温度变化与吸气通路壁面温度变化而产生的热式空气流量计的流量检测误差，从而可以实现测定精度好的热式空气流量计。
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公开(公告)号：CN1755332A
公开(公告)日：2006-04-05
申请号：CN200510087591.1
申请日：2005-07-28
Applicant: 株式会社日立制作所 , 日立汽车技术有限公司
CPC classification number: G01F1/699 , G01F1/6842 , G01F1/692
Abstract: 一种流量传感器，是在单晶硅基板上形成薄膜部并在该薄膜部上形成多晶硅的感应电阻器的流量传感器；通常，在薄膜部变化时，电阻值发生变化。因该电阻值变化会导致流量传感器的输出异常。尤其是由于输出异常容易发生在低流量区域，所以作为降低燃料消耗的目的，在发动机进行低怠速化时，上述输出异常就成为问题。因此，为了解决上述的问题，本发明通过将形成在薄膜部的温感电阻器的图案的长方向和短方向的关系设成最佳的构成，使得即使薄膜部变形而导致温感电阻器的电阻值发生变化，流量传感器的输出也难以变化。
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公开(公告)号：CN1573301A
公开(公告)日：2005-02-02
申请号：CN200410045806.9
申请日：2004-05-20
Applicant: 株式会社日立制作所 , 日立汽车技术有限公司
IPC: G01F1/68
CPC classification number: G01F7/00 , G01F1/684 , G01F1/692 , G01F1/6986
Abstract: 一种热式空气流量计，在平板状基板(硅基板)(1)上形成的矩形状空间的热绝缘区域(2)的绝缘膜(6)上形成发热电阻体(4)，在发热电阻体(4)的上游侧与下游侧形成两个测温电阻体。矩形状空间的热绝缘区域(2)具有与空气流轴线平行的边的长度比与空气流轴线垂直的边的长度要长的结构。利用本发明，提供能够提高空气流量测定的灵敏度、减低发热体的消耗电力、同时扩大测定范围的热式空气流量计。
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