公开(公告)号：CN104321857A

公开(公告)日：2015-01-28

申请号：CN201280071697.0

申请日：2012-06-01

Applicant: 株式会社岛津制作所

Inventor： 今井大辅 ,  武田直也

IPC: H01L21/677 ,  C23C16/46 ,  H01L31/04

CPC classification number: C23C16/4587 ,  H01L21/67103 ,  H01L21/67766 ,  H01L21/67781 ,  H01L21/6838 ,  H01L31/18

Abstract: 本发明包括：基板片，具有用以搭载基板的搭载面；以及基板搭载装置，将所述基板搭载于所述基板片的所述搭载面上，所述基板搭载装置包括：基板保持机构，对所述基板加以保持，并且设置着用以对所述基板进行加热的基板加热机构；基板移动机构，以基板主面与所述搭载面相向的方式使由所述基板保持机构保持的所述基板在所述搭载面上移动；以及基板旋转机构，使所述基板在所述搭载面上旋转。

公开(公告)号：CN101461063B

公开(公告)日：2011-12-28

申请号：CN200680054826.X

申请日：2006-08-01

Applicant: 株式会社岛津制作所

Inventor： 中谷敦夫 ,  筱原真 ,  黑田晋一 ,  今井大辅

IPC: H01L27/12 ,  G01N21/88 ,  G01N23/225 ,  G02F1/13 ,  G02F1/1368 ,  G09F9/00 ,  H01L21/3205 ,  H01L21/66 ,  H01L23/52 ,  H01L29/786

CPC classification number: G02F1/136259 ,  G01N2021/9513 ,  H01L27/1214

Abstract: 一种基板检查及修正装置，包括：检查部，对形成着TFT阵列的基板进行缺陷检查；以及修正部，对缺陷阵列进行修正；且，利用检查部和修正部在同一腔室内对基板进行缺陷检查与缺陷修正。由此，使基板的移动的相关步骤简化，另外，使装置与中央系统服务器之间所进行的数据的发送接收步骤简化。更详细而言，由第一检查部来输出缺陷部位的像素坐标数据、和缺陷部位的缺陷类型的缺陷类型数据，由修正部根据第一检查部检测出的缺陷部位的像素坐标数据、和已确认的缺陷类型的缺陷类型数据，来对所述缺陷部位进行修正。第二检查部对基板的像素单位的TFT阵列的驱动状态进行检查，并输出TFT阵列的驱动状态数据，且对修正后的状态进行重新检查。

公开(公告)号：CN105939847B

公开(公告)日：2018-09-04

申请号：CN201580006176.0

申请日：2015-01-20

Applicant: 株式会社岛津制作所

Inventor： 市冈圣菜 ,  吉牟田利典 ,  德田敏 ,  今井大辅 ,  尾崎悟 ,  德嵩佑

IPC: B32B15/08 ,  B32B15/082 ,  C23C14/02 ,  C23C14/14 ,  C23C16/42 ,  G02B5/08

CPC classification number: C23C14/024 ,  C22C21/00 ,  C23C14/205 ,  C23C16/402 ,  C23C16/505 ,  G02B5/0808

Abstract: 本发明涉及如下构造体及成膜方法，即使在使用了甲基丙烯酸系树脂等与金属薄膜之间的密接性低的树脂的情况下，所述构造体的树脂与金属薄膜仍牢固密接地层叠，所述成膜方法能制造以高密接性在与金属薄膜之间的密接性低的树脂制的工件上形成金属薄膜而成的构造体，所述构造体是利用溅射法，在甲基丙烯酸树脂制的工件(W)上形成Al薄膜(102)，由工件(W)与Al薄膜(102)层叠而成，在工件(W)与Al薄膜(102)之间包括混合有Al、Si、O、C的混合区域(101)。在混合区域(101)中，Al与Si、O、C中的任一者共价键结，或者Al与Si、O、C形成扩散混合层。

公开(公告)号：CN103858220B

公开(公告)日：2016-05-04

申请号：CN201280049913.1

申请日：2012-05-23

Applicant: 株式会社岛津制作所

Inventor： 东正久 ,  铃木正康 ,  今井大辅 ,  武田直也

IPC: H01L21/677 ,  C23C16/458

CPC classification number: C23C16/4587 ,  H01L21/67781

Abstract: 本发明提供一种基板移载系统及基板移载方法。基板移载系统包括基板载板及基板搭载装置，所述基板载板具有在垂直方向上延伸且定义出在水平方向上排列的多个矩形基板搭载区域的搭载面，且在各个基板搭载区域的外周的左边、右边及下边分别配置着左边固定销、右边固定销及下边固定销，所述基板搭载装置包括：基板保持机构，将多个矩形基板以各自的主面配置在同一平面水平的状态进行保持；基板移动机构，以从水平方向观察时相对于基板搭载区域而倾斜的姿势使所保持的多个基板的主面与搭载面接近且相对向；及基板旋转机构，使多个基板以一个旋转轴为中心而沿着搭载面同时旋转。

公开(公告)号：CN103534383A

公开(公告)日：2014-01-22

申请号：CN201180069697.2

申请日：2011-09-22

Applicant: 株式会社岛津制作所

Inventor： 三科健 ,  猿渡哲也 ,  今井大辅

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/509 ,  C23C16/515

CPC classification number: C23C16/45565 ,  C23C16/509 ,  C23C16/515 ,  H01L31/02167 ,  H01L31/02168 ,  Y02E10/50

Abstract: 一种薄膜形成装置在基板上形成钝化膜，且包括：腔室，被导入包含钝化膜的原料气体的反应气体；基板底板，配置于腔室内，且载置基板；电极，配置于腔室内，在基板底板上的与基板相对向的面形成着槽；以及交流电源，一边使大于或等于40kHz且小于或等于450kHz的频率的交流电力的供给以固定的周期停止，一边将该交流电力供给至基板底板与电极之间，且在基板的上表面激发包含原料气体的等离子体。

公开(公告)号：CN101779131A

公开(公告)日：2010-07-14

申请号：CN200780100192.1

申请日：2007-09-27

Applicant: 株式会社岛津制作所

Inventor： 今井大辅 ,  山下光夫 ,  筱原真 ,  寺本晃 ,  吉冈尚规

IPC: G01R31/00

CPC classification number: G09G3/006 ,  G01R31/309

Abstract: 在基于对规定时间宽度内的输入信号进行积分而获得的积分值来进行的数据处理中，在进行积分的前处理阶段，按照时间序列地将输入信号乘以参考信号，据此，按照时间序列地改变输入信号的信号电平，基于已改变的信号来产生数据信号。通过按照时间序列地改变输入信号的信号电平，来强调各输入信号的波形特征，从而获得反映出检测信号的时间性变化的积分值。可从积分值中对各检测信号的时间性变化进行分选，并可将测定对象的波形信号抽出。根据本发明来缩短数据处理时间，并简化数据处理的构成。

公开(公告)号：CN101080801B

公开(公告)日：2010-06-23

申请号：CN200680001306.2

申请日：2006-01-20

Applicant: 株式会社岛津制作所

Inventor： 今井大辅

IPC: H01J37/04 ,  H01J37/20 ,  H01J37/22

CPC classification number: H01J37/28 ,  H01J37/222 ,  H01J37/265 ,  H01J37/3045 ,  H01J2237/2817

Abstract: 本发明的目的在于提供一种扫描电子束照射装置，能够自动地校正扫描信号的视野偏移。本发明的扫描电子束照射装置(1)，具备：于二次元方向可移动的平台(3)、照射扫描电子束至试料的电子束源(2)、设置于试料的标记、检测出扫描电子束的照射位置而来的荷电粒子等的检测机构(4)、根据此检测机构而来的检测信号，形成扫描图像的图像形成机构(5)、检测出此图像形成机构所形成的扫描图像中的标记位置的位置偏移，并算出位置偏移校正系数，控制电子束源及平台的驱动的控制机构(7、8、9)。藉由采用具有多个电子束源的装置，可以校正电子束源间的相对的位置关系。

公开(公告)号：CN101156061A

公开(公告)日：2008-04-02

申请号：CN200680011536.7

申请日：2006-03-29

Applicant: 株式会社岛津制作所

Inventor： 今井大辅

IPC: G01N23/225 ,  G09F9/00 ,  H01L29/786 ,  H05K3/00

CPC classification number: G01N23/225 ,  H01J2237/2826

Abstract: 本发明提供一种基板检查装置，其用于消除制造工序中的位置误差，提高位置精度，并提高检查精度，以便取得基板上检查对象区域内的正确位置。本发明的基板检查装置(1)，其是根据以带电粒子束对基板进行二维扫描而取得的扫描图像进行基板检查者，并且具有座标资料取得装置(7)，该座标资料取得装置(7)从扫描图像中取得基板上检查对象区域内特定部位的座标资料。在基板检查时，根据由座标资料取得装置所取得的座标资料而指定扫描图像上的检查位置，故可不受因误差产生偏移的影响而进行基板检查。

公开(公告)号：CN101133473A

公开(公告)日：2008-02-27

申请号：CN200680007110.4

申请日：2006-03-28

Applicant: 株式会社岛津制作所

Inventor： 今井大辅

IPC: H01J37/22

CPC classification number: H01J37/22

Abstract: 在将来自多个荷电粒子束源的荷电粒子束二维扫描于试料上，并形成扫描图像的扫描束装置中，具有：第1步骤(S3)，其针对借由各荷电粒子束所获得的各扫描图像的讯号强度，求出讯号强度分布；第2步骤(S4)，其以成为同一分布形状的方式使各讯号强度分布的分布形状一致；以及第3步骤，其求出使各讯号强度分布的分布形状为同一分布形状时的各扫描图像的讯号强度。注目在由试料的测试对象而获得的扫描图像的强度分布的分布形状，在来自各荷电粒子束源而获得的扫描图像中，使该强度分布的分布形状一致，因此无需使用基准强度，即可降低借由多个荷电粒子束源所取得的扫描图像的讯号强度的不均一。