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公开(公告)号：CN101488723A
公开(公告)日：2009-07-22
申请号：CN200910002664.0
申请日：2009-01-14
Applicant: 株式会社东芝
IPC: H02N2/02
CPC classification number: H01H57/00 , B81B3/0021 , B81B2201/032 , H01G5/18 , H01H2057/006 , H01L41/094 , H01L41/0973
Abstract: 本发明提供一种致动器以及使用其的电子设备，该致动器通过降低梁的翻翘的影响，最大静电电容大，此外缓和了在最大静电电容附近的静电电容的急剧的变化。本发明提供一种致动器，具备：第1梁，其从第1固定端延伸到第1连接端；第1固定部，其连结第1固定端与基板，并使上述第1梁在基板的主面的上方空出间隙地支撑第1梁；第2梁，其从第2连接端延伸到第1作用端，与第1梁并排地设置，并且具有由从第1作用端向着第2连接端延伸的第1缝隙分割而成的第1分割部；第1连接部，其连结第1连接端与第2连接端，并且使上述第2梁在基板的主面的上方空出间隙地保持第2梁；第1固定电极，其与第1分割部的、第1作用端侧的一部分相对，并且设置在基板的主面上。
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公开(公告)号：CN100490318C
公开(公告)日：2009-05-20
申请号：CN200510006851.8
申请日：2005-01-28
Applicant: 株式会社东芝
IPC: H03H9/15
CPC classification number: H03H9/02015 , H01H2057/006 , H01L41/0477 , H01L41/094 , H01L41/316 , H01L41/319 , H03H3/02 , H03H9/02094 , H03H9/173 , H03H9/174 , H03H9/175 , H03H9/542 , H03H9/582 , H03H9/605 , H03H2003/021 , H03H2003/023 , H03H2003/025 , Y10T29/42 , Y10T29/435 , Y10T29/49002 , Y10T29/49005 , Y10T29/49117 , Y10T29/49155
Abstract: 一种压电薄膜器件包括设置在衬底上的非晶态金属膜和设置在非晶态金属膜上的压电膜。压电膜的一个晶轴在垂直于非晶态金属的表面的方向上对齐。
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公开(公告)号：CN101236860A
公开(公告)日：2008-08-06
申请号：CN200810009244.0
申请日：2008-01-31
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: H03K17/955 , G01D5/2417 , H03K2217/960755
Abstract: 本发明提供一种传感器装置，该传感器装置能够检测特定检测对象的接近。所述传感器装置包括：第一电荷保持电极(11)，设置在第一部件的(10)的表面，用于保持电荷；第二电荷保持电极(12)，设置在第一部件的表面，用于保持与第一电荷保持电极所保持的电荷不同的电荷；第一电荷感应电极(21)，设置在第二部件(20)的表面，且在第一电荷感应电极接近于第一电荷保持电极时，感应出与第一电荷保持电极所保持的电荷相应的电荷；第二电荷感应电极(22)，设置在第二部件的表面，且在第二电荷感应电极接近于第二电荷保持电极时，感应出与第二电荷保持电极所保持的电荷相应的电荷；以及差分检测部，在第一电荷感应电极感应出的电荷和第二电荷感应电极感应出的电荷之间的差分大于一定值时，产生差分检测信号。
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公开(公告)号：CN1691498A
公开(公告)日：2005-11-02
申请号：CN200510067261.6
申请日：2005-04-20
Applicant: 株式会社东芝
Abstract: 提供一种薄膜压电谐振器及其制造方法，电气机械耦合系数kt2和Q值同时增大，并且下部电极的膜厚控制容易。薄膜压电谐振器包括：基板(11)；下部电极(14)，面对该基板(11)一部分为空心状态并被机械地保持；压电体(15)，配置在下部电极(14)上，以使其在平面图形上，在自身占有的区域的内部包含所有下部电极(14)；上部电极(16)，在该压电体(15)上；中继电极(13)，在基板(11)和压电体(15)之间，在平面图形上，位于压电体(15)的占有区域的边界，并且在占有区域的内部与下部电极(14)连接；以及下部电极布线(17)，从占有区域的边界延长到外部，连接到中继电极(13)。
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公开(公告)号：CN101488723B
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN200910002664.0
申请日：2009-01-14
Applicant: 株式会社东芝
IPC: H02N2/02
CPC classification number: H01H57/00 , B81B3/0021 , B81B2201/032 , H01G5/18 , H01H2057/006 , H01L41/094 , H01L41/0973
Abstract: 本发明提供一种致动器以及使用其的电子设备，该致动器通过降低梁的翻翘的影响，最大静电电容大，此外缓和了在最大静电电容附近的静电电容的急剧的变化。本发明提供一种致动器，具备：第1梁，其从第1固定端延伸到第1连接端；第1固定部，其连结第1固定端与基板，并使上述第1梁在基板的主面的上方空出间隙地支撑第1梁；第2梁，其从第2连接端延伸到第1作用端，与第1梁并排地设置，并且具有由从第1作用端向着第2连接端延伸的第1缝隙分割而成的第1分割部；第1连接部，其连结第1连接端与第2连接端，并且使上述第2梁在基板的主面的上方空出间隙地保持第2梁；第1固定电极，其与第1分割部的、第1作用端侧的一部分相对，并且设置在基板的主面上。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101061634A
公开(公告)日：2007-10-24
申请号：CN200680000322.X
申请日：2006-03-29
Applicant: 株式会社东芝
Abstract: 一种薄膜压电谐振器，包括：具有腔的基底；在该腔的上面延伸的第一电极；位于该第一电极上的压电膜；以及位于该压电膜上的第二电极。该第二电极的外周部分覆盖在该腔上，且被锥角化，以具有小于等于30度的内角，该内角由其外周的部分以及其底部来限定。
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公开(公告)号：CN101047170A
公开(公告)日：2007-10-03
申请号：CN200710091312.8
申请日：2007-03-29
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: B81C1/0023 , B81C1/00246 , B81C2201/019 , B81C2203/0771 , H01L24/19 , H01L24/24 , H01L24/96 , H01L2224/04105 , H01L2224/12105 , H01L2224/24137 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01011 , H01L2924/01013 , H01L2924/01015 , H01L2924/01027 , H01L2924/01029 , H01L2924/01033 , H01L2924/01041 , H01L2924/01042 , H01L2924/01047 , H01L2924/01057 , H01L2924/01072 , H01L2924/01073 , H01L2924/01074 , H01L2924/01078 , H01L2924/01079 , H01L2924/01082 , H01L2924/10253 , H01L2924/10329 , H01L2924/1461 , H01L2924/18162 , H01L2924/19041 , H01L2924/19042 , H01L2924/351 , H01L2924/3511 , H01L2924/00
Abstract: 即使装置包含MEMS器件和半导体器件，也可以获得高度集成的薄装置。一种半导体装置包括：被接合芯片，其包括：第一芯片，包括形成于其中的MEMS器件；第二芯片，包括形成于其中的半导体器件；以及粘合层，将所述第一芯片的侧面接合到所述第二芯片的侧面，并具有低于所述第一和第二芯片的材料的杨式模量。
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公开(公告)号：CN101026371A
公开(公告)日：2007-08-29
申请号：CN200710079154.4
申请日：2007-02-14
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: H03H9/564 , H03H3/02 , H03H9/174 , H03H9/568 , H03H2003/023
Abstract: 一种薄膜压电共振器包括：具有空腔的衬底；第一介电层，设置在所述衬底上以覆盖所述空腔；第二介电层，设置在所述衬底上且设置在所述空腔的周围区域中，且其厚度大于所述第一介电层的厚度；第一电极，设置在所述第一介电层上和所述空腔上方；压电层，设置在所述第一电极上且设置为延伸至所述第二介电层上的区域；以及第二电极，设置在所述压电层上和所述第一电极上方。
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公开(公告)号：CN101022271A
公开(公告)日：2007-08-22
申请号：CN200710005320.6
申请日：2007-02-14
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: H03H9/131 , H03H9/13 , H03H9/173 , H03H9/174 , H03H9/568 , H03H9/605 , H03H2003/0428 , H03H2003/0471
Abstract: 提供一种薄膜压电谐振器，具有：支撑基板和设置在上述支撑基板上、一部分由上述支撑基板来支撑、另一部分与上述支撑基板相离的层叠体；其特征在于，上述层叠体具有：以铝为主要成分的第1电极，层叠在上述第1电极上、以氮化铝为主要成分的压电膜，层叠在上述压电膜上、以密度大于等于铝密度1.9倍的金属为主要成分的第2电极。
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公开(公告)号：CN1652458A
公开(公告)日：2005-08-10
申请号：CN200510006851.8
申请日：2005-01-28
Applicant: 株式会社东芝
IPC: H03H9/15
CPC classification number: H03H9/02015 , H01H2057/006 , H01L41/0477 , H01L41/094 , H01L41/316 , H01L41/319 , H03H3/02 , H03H9/02094 , H03H9/173 , H03H9/174 , H03H9/175 , H03H9/542 , H03H9/582 , H03H9/605 , H03H2003/021 , H03H2003/023 , H03H2003/025 , Y10T29/42 , Y10T29/435 , Y10T29/49002 , Y10T29/49005 , Y10T29/49117 , Y10T29/49155
Abstract: 一种压电薄膜器件包括设置在衬底上的非晶态金属膜和设置在非晶态金属膜上的压电膜。压电膜的一个晶轴在垂直于非晶态金属的表面的方向上对齐。
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