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公开(公告)号：CN1638270A
公开(公告)日：2005-07-13
申请号：CN200410102874.4
申请日：2004-12-24
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: H03H9/172 , H03H3/02 , H03H9/02125 , H03H9/02133 , H03H9/173 , H03H9/587
Abstract: 一种薄膜体声谐振器，包括相互分开设置的第一到第四绝缘体图形。第三和第四绝缘体图形分别相对于第一和第二绝缘体图形与第二和第一绝缘体图形相反设置。底部导电层设置在第一和第三绝缘体图形上，并从第一和第二绝缘体图形之间的区域延伸到第三绝缘体图形。压电膜位于底部导电层上，设置在第一和第二绝缘体图形之间的区域上。顶部导电层面对底部导电层以将压电膜夹在中间，并从第一和第二绝缘体图形之间的区域延伸到第四绝缘体图形。
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公开(公告)号：CN105977182A
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：CN201510556151.X
申请日：2015-09-02
Applicant: 株式会社东芝
IPC: H01L21/67 , H01L23/544
CPC classification number: H01L23/544 , H01L29/1602 , H01L29/1608 , H01L29/2003 , H01L29/24 , H01L29/872 , H01L2223/54406 , H01L2223/54433 , H01L2223/54473 , H01L21/67282
Abstract: 本发明的实施方式提供一种能够减少器件不良的半导体装置及其制造方法。实施方式的半导体装置包括：常压下为非液相的材料的单晶衬底；以及识别标记，设置于所述衬底，且具有非晶质的所述材料的区域、或偏离了化学计量的所述材料的区域。
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公开(公告)号：CN100547920C
公开(公告)日：2009-10-07
申请号：CN200710079154.4
申请日：2007-02-14
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: H03H9/564 , H03H3/02 , H03H9/174 , H03H9/568 , H03H2003/023
Abstract: 一种薄膜压电共振器包括：具有空腔的衬底；第一介电层，设置在所述衬底上以覆盖所述空腔；第二介电层，设置在所述衬底上且设置在所述空腔的周围区域中，且其厚度大于所述第一介电层的厚度；第一电极，设置在所述第一介电层上和所述空腔上方；压电层，设置在所述第一电极上且设置为延伸至所述第二介电层上的区域；以及第二电极，设置在所述压电层上和所述第一电极上方。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100527615C
公开(公告)日：2009-08-12
申请号：CN200510067261.6
申请日：2005-04-20
Applicant: 株式会社东芝
Abstract: 提供一种薄膜压电谐振器及其制造方法，电气机械耦合系数kt2和Q值同时增大，并且下部电极的膜厚控制容易。薄膜压电谐振器包括：基板(11)；下部电极(14)，面对该基板(11)一部分为空心状态并被机械地保持；压电体(15)，配置在下部电极(14)上，以使其在平面图形上，在自身占有的区域的内部包含所有下部电极(14)；上部电极(16)，在该压电体(15)上；中继电极(13)，在基板(11)和压电体(15)之间，在平面图形上，位于压电体(15)的占有区域的边界，并且在占有区域的内部与下部电极(14)连接；以及下部电极布线(17)，从占有区域的边界延长到外部，连接到中继电极(13)。
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公开(公告)号：CN100492692C
公开(公告)日：2009-05-27
申请号：CN200510008265.7
申请日：2005-02-07
Applicant: 株式会社东芝
IPC: H01L41/08
CPC classification number: H01G7/06 , H01H2057/006 , H01L41/0933 , H01L41/094
Abstract: 本发明公开一种薄膜压电致动器，包括一个驱动部分，至少其一端被一个锚部件支撑，所述驱动部分包括：压电薄膜；在所述压电薄膜的第一区域下面设置的第一下电极；在所述压电薄膜的不同于第一区域的第二区域下面设置的第二下电极；在所述压电薄膜上与所述第一下电极相对设置的第一上电极；在所述压电薄膜上与所述第二下电极相对设置的第二上电极；通过在所述压电薄膜上形成的第一通孔电连接所述第一下电极和所述第二上电极的第一连接部件；以及通过在所述压电薄膜上形成的第二通孔电连接所述第二下电极和所述第一上电极的第二连接部件。
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公开(公告)号：CN101091311A
公开(公告)日：2007-12-19
申请号：CN200680001608.X
申请日：2006-03-08
Applicant: 株式会社东芝
IPC: H03H9/17
CPC classification number: H03H9/174 , H03H9/02125 , H03H9/132 , H03H9/588 , H03H9/605
Abstract: 一种薄膜压电谐振器，包括：在基板(10)的主面上设置的下电极(11)，用以覆盖空腔(14)；在下电极(11)上设置的压电膜(12)，位于空腔(14)上方；以及上电极(13)。上电极(13)具有：与空腔(14)的一部分重叠的主体部分(13a)，连接到主体部分(13a)的一侧的突起部分(13b)，在主体部分(13a)的相对侧设置的连接部分(13c)以及连接到连接部分(13c)的扩展部分(13d)。突起部分(13b)的长度与连接部分(13c)的长度基本上相同，从而使得相对于空腔(14)位置的移动，空腔区域外部的上电极(13)和下电极(11)的重叠面积不变。结果，在空腔(14)外部相互面对的上(13)下(11)电极中的寄生电容的总和不随空腔(14)位置的移动而变化。
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公开(公告)号：CN1874147A
公开(公告)日：2006-12-06
申请号：CN200610065357.3
申请日：2006-03-23
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: H03H3/02 , H03H9/02125 , H03H9/02157 , H03H9/564 , H03H9/568 , H03H2003/023 , H03H2003/025
Abstract: 一种薄膜压电共振器包括衬底以及第一和第二激发部分。所述衬底包括第一和第二腔。所述第一激发部分设置在所述第一腔上，并包括依次层压的第一电极、第一压电材料以及第二电极。在所述第一电极、所述第一压电材料以及所述第二电极间的交叠区域限定所述第一激发部分的周边的轮廓。第一距离定义为从所述第一激发部分的端部到所述第一腔的开口端部的距离。所述第二激发部分设置在所述第二腔上，并包括依次层压的第三电极、第二压电材料以及第四电极。第二距离定义为从所述第二激发部分的端部到所述第二腔的开口端部的距离，并与所述第一距离不同。
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公开(公告)号：CN1655373A
公开(公告)日：2005-08-17
申请号：CN200510008265.7
申请日：2005-02-07
Applicant: 株式会社东芝
IPC: H01L41/08
CPC classification number: H01G7/06 , H01H2057/006 , H01L41/0933 , H01L41/094
Abstract: 本发明公开一种薄膜压电致动器，包括一个驱动部分，至少其一端被一个锚部件支撑，所述驱动部分包括：压电薄膜；在所述压电薄膜的第一区域下面设置的第一下电极；在所述压电薄膜的不同于第一区域的第二区域下面设置的第二下电极；在所述压电薄膜上与所述第一下电极相对设置的第一上电极；在所述压电薄膜上与所述第二下电极相对设置的第二上电极；通过在所述压电薄膜上形成的第一通孔电连接所述第一下电极和所述第二上电极的第一连接部件；以及通过在所述压电薄膜上形成的第二通孔电连接所述第二下电极和所述第一上电极的第二连接部件。
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