公开(公告)号：CN1862956A

公开(公告)日：2006-11-15

申请号：CN200610079076.3

申请日：2006-04-29

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 江渊康男

IPC: H03H3/02 ,  H03H9/15 ,  H01L21/00 ,  H01L41/08

CPC classification number: H03H9/02118 ,  H03H3/02 ,  H03H9/174 ,  H03H9/588 ,  H03H9/605 ,  H03H2003/023

Abstract: 一种膜体声谐振器，包括第一电极；设置在第一电极上的压电膜；设置在压电膜上、或设置在压电膜上方的第二电极；以及设置在压电膜上并邻靠压电膜的附加膜，附加膜具有至少一对相互不平行的相对边。

公开(公告)号：CN1638270A

公开(公告)日：2005-07-13

申请号：CN200410102874.4

申请日：2004-12-24

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 江渊康男 ,  罇贵子 ,  佐野贤也

IPC: H03H9/17 ,  H03H3/02 ,  H01L41/08

CPC classification number: H03H9/172 ,  H03H3/02 ,  H03H9/02125 ,  H03H9/02133 ,  H03H9/173 ,  H03H9/587

Abstract: 一种薄膜体声谐振器，包括相互分开设置的第一到第四绝缘体图形。第三和第四绝缘体图形分别相对于第一和第二绝缘体图形与第二和第一绝缘体图形相反设置。底部导电层设置在第一和第三绝缘体图形上，并从第一和第二绝缘体图形之间的区域延伸到第三绝缘体图形。压电膜位于底部导电层上，设置在第一和第二绝缘体图形之间的区域上。顶部导电层面对底部导电层以将压电膜夹在中间，并从第一和第二绝缘体图形之间的区域延伸到第四绝缘体图形。