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公开(公告)号：CN108141917B
公开(公告)日：2020-12-22
申请号：CN201680059985.2
申请日：2016-09-28
Applicant: 日本发条株式会社
IPC: H05B3/74 , H01L21/02 , H01L21/3065 , H01L21/683 , H05B3/18
Abstract: 提供温度的面内均匀性高的加热器单元。加热器单元具有：第一加热器部；第二加热器部，相对于第一加热器部独立地受控制；基材，在和第一加热器部与第二加热器部之间相对应的区域设置有槽；以及盖部，配置于槽的开口端，并与槽一起提供封闭空间。另外，可以还具有覆盖第一加热器部和第二加热器部的绝缘层、和隔着绝缘层安装于基材的静电吸盘。由盖部和槽提供的封闭空间可以为真空。
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公开(公告)号：CN119895557A
公开(公告)日：2025-04-25
申请号：CN202380064666.0
申请日：2023-06-13
Applicant: 日本发条株式会社
IPC: H01L21/683 , H05B3/20
Abstract: 载物台包括：包括第一槽的第一金属板；位于第一金属板下方并包括贯通孔的第二金属板；位于第二金属板下方并包括第二槽的第三金属板；隔热部，其中，第一槽、贯通孔和第二槽相互连通；设置于在第一金属板、第二金属板和第三金属板中的一个金属板的第一环流路以及第一加热器；以及在第二环流路和第二加热器中的至少一个，其中，第一环流路及第二环流路设置在以隔热部为边界的第一区域，第一加热器及第二加热器设置在以隔热部为边界的与第一区域相反的第二区域。
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公开(公告)号：CN119836686A
公开(公告)日：2025-04-15
申请号：CN202380063971.8
申请日：2023-06-13
Applicant: 日本发条株式会社
IPC: H01L21/683 , H05B3/20
Abstract: 载物台包括第一金属板、位于第一金属板的下方的第二金属板、包含设置在第一金属板内的第一空间和设置在第二金属板内的第二空间的隔热部、以及将隔热部夹在中间而配置的环流路及加热器，其中，从横截面来看，第一金属板中的隔热部的宽度与第二金属板中的隔热部的宽度不同。
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公开(公告)号：CN119095694A
公开(公告)日：2024-12-06
申请号：CN202380030862.6
申请日：2023-02-28
Applicant: 日本发条株式会社
Abstract: 一个实施方式所涉及的研磨装置具有支撑研磨工具的支撑部、保持研磨对称物的载物台、使所述支撑部和所述载物台沿研磨面的形状进行相对移动的第一驱动部、以及以使安装于所述研磨工具的研磨部件的一端朝向移动方向的方式与所述第一驱动部同步地使所述支撑部旋转的第二驱动部。
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公开(公告)号：CN112673709B
公开(公告)日：2024-02-02
申请号：CN201980058340.0
申请日：2019-10-01
Applicant: 日本发条株式会社
Abstract: 载物台包括：第一支撑板、第一支撑板下的第二支撑板、位置在第二支撑板之下，与第一支撑板和第二支撑板重叠的轴、以及贯穿第二支撑板的至少一个护套加热器。至少一个护套加热器被配置为在距第一支撑板的距离不同的第一面上和第二面上延伸，所述第一面和所述第二面平行于第二支撑板的上部面。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114207397A
公开(公告)日：2022-03-18
申请号：CN202080053712.3
申请日：2020-07-27
Applicant: 日本发条株式会社
Abstract: 温度传感器包括：块体；第一热电偶，其包括第一线部件、第二线部件、围绕第一线部件及第二线部件的第一绝缘体以及围绕第一绝缘体的第一金属护套；第二热电偶，其包括第三线部件、第四线部件、围绕第三线部件及第四线部件的第二绝缘体以及围绕第二绝缘体的第二金属护套，第一热电偶和第二热电偶中每一个热电偶的端部埋设在块体中。第一线部件及第二线部件中各自的端部可与第一金属护套相接，第三线部件及第四线部件中各自的端部可与第二金属护套相接。
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公开(公告)号：CN114127905A
公开(公告)日：2022-03-01
申请号：CN202080051682.2
申请日：2020-07-06
Applicant: 日本发条株式会社
Abstract: 一种加热器具有：折叠的加热器线；第一绝缘体，其设置于加热器线；金属护套，其被设置为与第一绝缘体的至少一部分接触；第一绝缘部件，其被配置为与从金属护套的第一端部取出的加热器线的一方的至少一部分平行；第二绝缘部件，其被配置为与第一绝缘部件的至少一部分平行，并与从金属护套的第一端部取出的加热器线的另一方的至少一部分平行；第二绝缘体，其与金属护套、第一绝缘部件和第二绝缘部件的至少一部分接触；以及，盖状部件，其覆盖第一绝缘部件的一部分，经由第二绝缘体而与金属护套、第一绝缘部件和第二绝缘部件的至少一部分接触，并与金属护套、第一绝缘部件和第二绝缘部件的至少一部分平行。
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公开(公告)号：CN108290380B
公开(公告)日：2020-06-30
申请号：CN201680064929.8
申请日：2016-11-10
Applicant: 日本发条株式会社
IPC: B32B15/01 , B05D1/12 , B05D7/24 , B22F1/00 , B22F9/08 , B32B15/02 , B32B15/04 , B32B15/20 , C04B41/90 , C22C9/00
Abstract: 本发明提供一种放热效果好，被施加热负荷时也不会有绝缘基材破裂等问题，并且没有金属被膜空洞等的层叠体及层叠体的制造方法。本发明涉及的层叠体，包括：基材（10），其具有绝缘性；中间层（50），其形成于所述基材的表面，以金属或者合金为主成分；以及作为金属被膜的电路层（20），其由含氢量为0.002质量%以下的铜粉末制成，在中间层（50）上层叠而形成，其中，中间层（50）与电路层（20）之间的界面产生塑性变形。
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公开(公告)号：CN109791911A
公开(公告)日：2019-05-21
申请号：CN201780060021.4
申请日：2017-06-13
Applicant: 日本发条株式会社
IPC: H01L21/683 , C23C14/50 , C23C16/458 , C23C16/46 , H01L21/3065 , H01L21/31 , H05H1/46
CPC classification number: H01J37/32724 , C23C14/50 , C23C16/458 , C23C16/4581 , C23C16/4586 , C23C16/46 , H01J37/3222 , H01J37/3411 , H01J2237/3321 , H01J2237/3341 , H01L21/3065 , H01L21/31 , H01L21/67069 , H01L21/67103 , H01L21/683 , H01L21/6833 , H05H1/46
Abstract: 本发明提供用于精密控制基板温度的载置台及其制作方法。或者，提供具有该载置台的成膜装置或膜加工装置。本发明提供用于载置基板的载置台，该载置台具有基材、和基材上的加热器层，加热器层具有第一绝缘膜、第一绝缘膜上的加热器线、和加热器线上的第二绝缘膜，加热器线含有一种以上选自钨、镍、铬、钴及钼中的金属。
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公开(公告)号：CN108141917A
公开(公告)日：2018-06-08
申请号：CN201680059985.2
申请日：2016-09-28
Applicant: 日本发条株式会社
IPC: H05B3/74 , H01L21/02 , H01L21/3065 , H01L21/683 , H05B3/18
Abstract: 提供温度的面内均匀性高的加热器单元。加热器单元具有：第一加热器部；第二加热器部，相对于第一加热器部独立地受控制；基材，在和第一加热器部与第二加热器部之间相对应的区域设置有槽；以及盖部，配置于槽的开口端，并与槽一起提供封闭空间。另外，可以还具有覆盖第一加热器部和第二加热器部的绝缘层、和隔着绝缘层安装于基材的静电吸盘。由盖部和槽提供的封闭空间可以为真空。
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