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公开(公告)号：CN110547042B
公开(公告)日：2022-06-07
申请号：CN201880024404.0
申请日：2018-04-03
Applicant: 日本发条株式会社
Abstract: 本发明提供一种可靠性得到提高的、具有细径护套加热器的加热器单元。加热器单元包括：相互接合的第一基材和第二基材；槽，设置于上述第一基材与上述第二基材的接合面的至少一方；以及护套加热器，配置于上述槽的内侧，其中，上述护套加热器包括：金属护套；发热线，以具有间隙的方式配置于上述金属护套内，呈带状，并且相对于上述金属护套的轴方向旋转配置；绝缘材料，配置于上述间隙；以及连接端子，配置于上述金属护套的一端，分别与上述发热线的两端电连接。
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公开(公告)号：CN112673709A
公开(公告)日：2021-04-16
申请号：CN201980058340.0
申请日：2019-10-01
Applicant: 日本发条株式会社
Abstract: 载物台包括：第一支撑板、第一支撑板下的第二支撑板、位置在第二支撑板之下，与第一支撑板和第二支撑板重叠的轴、以及贯穿第二支撑板的至少一个护套加热器。至少一个护套加热器被配置为在距第一支撑板的距离不同的第一面上和第二面上延伸，所述第一面和所述第二面平行于第二支撑板的上部面。
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公开(公告)号：CN119452728A
公开(公告)日：2025-02-14
申请号：CN202380049871.X
申请日：2023-04-26
Applicant: 日本发条株式会社
IPC: H05B3/48
Abstract: 护套加热器包括：金属护套；加热线，其配置在护套内；绝缘材料，其填充在护套中以使金属护套与加热线分离；引线，其向加热线供电；压接套筒，其用于连接从金属护套的端部延伸出来的加热线和引线；筒状构件，其覆盖金属护套的端部并配置有压接套筒；以及盖状构件与筒状构件嵌合并包括供引线插入的开口，金属护套的端部包括：第一绝缘管，其包括供加热线插入的第一贯通孔；以及密封材料，其用于填充金属护套与第一绝缘管之间的间隙，密封材料包括陶瓷粘合剂。
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公开(公告)号：CN112840742B
公开(公告)日：2023-06-27
申请号：CN201980066496.3
申请日：2019-10-01
Applicant: 日本发条株式会社
Abstract: 一种加热器具有：折叠的加热器线；第一绝缘体，其设置于加热器线；金属护套，其被设置成与第一绝缘体的至少一部分接触；第一绝缘部件，其被配置为与从金属护套的第一端部取出的加热器线的一方的至少一部分平行；第二绝缘部件，其被配置为与所述第一绝缘部件的至少一部分平行，并与从金属护套的第一端部取出的加热器线的另一方的至少一部分平行；第三绝缘部件，其被配置为与第一绝缘部件以及第二绝缘部件的至少一部分平行，且被设置为束缚第一绝缘部件以及第二绝缘部件；以及，圆筒部件，其被配置为与金属护套以及第三绝缘部件的至少一部分平行。
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公开(公告)号：CN110547042A
公开(公告)日：2019-12-06
申请号：CN201880024404.0
申请日：2018-04-03
Applicant: 日本发条株式会社
Abstract: 本发明提供一种可靠性得到提高的、具有细径护套加热器的加热器单元。加热器单元包括：相互接合的第一基材和第二基材；槽，设置于上述第一基材与上述第二基材的接合面的至少一方；以及护套加热器，配置于上述槽的内侧，其中，上述护套加热器包括：金属护套；发热线，以具有间隙的方式配置于上述金属护套内，呈带状，并且相对于上述金属护套的轴方向旋转配置；绝缘材料，配置于上述间隙；以及连接端子，配置于上述金属护套的一端，分别与上述发热线的两端电连接。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114127905B
公开(公告)日：2025-01-14
申请号：CN202080051682.2
申请日：2020-07-06
Applicant: 日本发条株式会社
Abstract: 一种加热器具有：折叠的加热器线；第一绝缘体，其设置于加热器线；金属护套，其被设置为与第一绝缘体的至少一部分接触；第一绝缘部件，其被配置为与从金属护套的第一端部取出的加热器线的一方的至少一部分平行；第二绝缘部件，其被配置为与第一绝缘部件的至少一部分平行，并与从金属护套的第一端部取出的加热器线的另一方的至少一部分平行；第二绝缘体，其与金属护套、第一绝缘部件和第二绝缘部件的至少一部分接触；以及，盖状部件，其覆盖第一绝缘部件的一部分，经由第二绝缘体而与金属护套、第一绝缘部件和第二绝缘部件的至少一部分接触，并与金属护套、第一绝缘部件和第二绝缘部件的至少一部分平行。
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公开(公告)号：CN114097068A
公开(公告)日：2022-02-25
申请号：CN202080049779.X
申请日：2020-07-28
Applicant: 日本发条株式会社
IPC: H01L21/67 , H01L21/683 , H01L21/687 , C23C14/04 , C23C14/24 , C23C14/34 , C23C14/50 , C23C14/54 , C23C16/18 , C23C16/20 , C23C16/455 , C23C16/458 , C23C16/46 , C23C16/511 , C23C16/52
Abstract: 载物台包括：轴；轴上的第一支撑板；加热器，其配置于第一支撑板内所形成的槽内；以及气体供应管，其配置在轴内且构成为向第一支撑板吹送气体。第一支撑板可以具有圆盘形状，平行于第一支撑板表面的气体供应管的截面可以与圆盘形状的中心重叠。第一支撑板可以构成为阻挡所述气体并且将所述气体不排放到载物台所配置的腔室内。
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公开(公告)号：CN108290380A
公开(公告)日：2018-07-17
申请号：CN201680064929.8
申请日：2016-11-10
Applicant: 日本发条株式会社
IPC: B32B15/01 , B05D1/12 , B05D7/24 , B22F1/00 , B22F9/08 , B32B15/02 , B32B15/04 , B32B15/20 , C04B41/90 , C22C9/00
Abstract: 本发明提供一种放热效果好，被施加热负荷时也不会有绝缘基材破裂等问题，并且没有金属被膜空洞等的层叠体及层叠体的制造方法。本发明涉及的层叠体，包括：基材（10），其具有绝缘性；中间层（50），其形成于所述基材的表面，以金属或者合金为主成分；以及作为金属被膜的电路层（20），其由含氢量为0.002质量%以下的铜粉末制成，在中间层（50）上层叠而形成，其中，中间层（50）与电路层（20）之间的界面产生塑性变形。
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公开(公告)号：CN112840742A
公开(公告)日：2021-05-25
申请号：CN201980066496.3
申请日：2019-10-01
Applicant: 日本发条株式会社
Abstract: 一种加热器具有：折叠的加热器线；第一绝缘体，其设置于加热器线；金属护套，其被设置成与第一绝缘体的至少一部分接触；第一绝缘部件，其被配置为与从金属护套的第一端部取出的加热器线的一方的至少一部分平行；第二绝缘部件，其被配置为与所述第一绝缘部件的至少一部分平行，并与从金属护套的第一端部取出的加热器线的另一方的至少一部分平行；第三绝缘部件，其被配置为与第一绝缘部件以及第二绝缘部件的至少一部分平行，且被设置为束缚第一绝缘部件以及第二绝缘部件；以及，圆筒部件，其被配置为与金属护套以及第三绝缘部件的至少一部分平行。
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