接合体
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN112867577B

    公开(公告)日:2023-09-08

    申请号:CN201980067996.9

    申请日:2019-10-23

    Abstract: 本发明涉及的接合体,包括:主体部,其具有形成流路的壁部,该流路用于使促进热交换的介质流通;以及盖部件,其覆盖主体部的流路的形成面,盖部件具有:覆盖部,其设置在与主体部相对的一侧,并覆盖主体部的流路形成面;槽部,其设置在与主体部相对的一侧,并收纳壁部的前端部;以及搅拌接合部,其设置在与设置有覆盖部及槽部的一侧相反的一侧,在至少一部分中,从与相对于主体部的一侧相反的一侧的表面直至到槽部的底部的深度为止进行摩擦搅拌而形成的,并与壁部的前端接合。

    加热器和载物台
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN112840742B

    公开(公告)日:2023-06-27

    申请号:CN201980066496.3

    申请日:2019-10-01

    Abstract: 一种加热器具有:折叠的加热器线;第一绝缘体,其设置于加热器线;金属护套,其被设置成与第一绝缘体的至少一部分接触;第一绝缘部件,其被配置为与从金属护套的第一端部取出的加热器线的一方的至少一部分平行;第二绝缘部件,其被配置为与所述第一绝缘部件的至少一部分平行,并与从金属护套的第一端部取出的加热器线的另一方的至少一部分平行;第三绝缘部件,其被配置为与第一绝缘部件以及第二绝缘部件的至少一部分平行,且被设置为束缚第一绝缘部件以及第二绝缘部件;以及,圆筒部件,其被配置为与金属护套以及第三绝缘部件的至少一部分平行。

    接合体
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN112867577A

    公开(公告)日:2021-05-28

    申请号:CN201980067996.9

    申请日:2019-10-23

    Abstract: 本发明涉及的接合体,包括:主体部,其具有形成流路的壁部,该流路用于使促进热交换的介质流通;以及盖部件,其覆盖主体部的流路的形成面,盖部件具有:覆盖部,其设置在与主体部相对的一侧,并覆盖主体部的流路形成面;槽部,其设置在与主体部相对的一侧,并收纳壁部的前端部;以及搅拌接合部,其设置在与设置有覆盖部及槽部的一侧相反的一侧,在至少一部分中,从与相对于主体部的一侧相反的一侧的表面直至到槽部的底部的深度为止进行摩擦搅拌而形成的,并与壁部的前端接合。

    加热器单元
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110547042A

    公开(公告)日:2019-12-06

    申请号:CN201880024404.0

    申请日:2018-04-03

    Abstract: 本发明提供一种可靠性得到提高的、具有细径护套加热器的加热器单元。加热器单元包括:相互接合的第一基材和第二基材;槽,设置于上述第一基材与上述第二基材的接合面的至少一方;以及护套加热器,配置于上述槽的内侧,其中,上述护套加热器包括:金属护套;发热线,以具有间隙的方式配置于上述金属护套内,呈带状,并且相对于上述金属护套的轴方向旋转配置;绝缘材料,配置于上述间隙;以及连接端子,配置于上述金属护套的一端,分别与上述发热线的两端电连接。

    具有流路的板件
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113169112A

    公开(公告)日:2021-07-23

    申请号:CN201980081476.3

    申请日:2019-12-03

    Abstract: 本发明的具有流路的板件,其包括:主体部,其形成有使惰性气体流通的流路;以及盖部,其覆盖主体部的流路的形成面,在主体部的流路设置有埋设在该流路的开口的埋设部件,埋设部件包括:埋设部,其固定在流路;以及流通部,其由埋设部保持,使惰性气体从主体部的内部向外部流通,在流通部设置有多个贯通孔,埋设部件与流路通过绝缘性的粘合剂固定,埋设部的外周的直径与包含全部贯通孔的圆中最小的圆的直径的比为1.2以上。

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