公开(公告)号：CN107863284A

公开(公告)日：2018-03-30

申请号：CN201710234557.5

申请日：2017-04-11

Applicant: 日新离子机器株式会社

Inventor： 宇根英康 ,  山元徹朗 ,  滝上佳宏

IPC: H01J37/04 ,  H01J37/244 ,  G01T1/29

Abstract: 本发明涉及能够在任意方向上无缝隙地且连续地执行对带电粒子束的射束电流分布的测量。射束电流测量器件包括多个收集电极，这些收集电极的检测区域在收集电极的布置方向上无缝隙地连续。

公开(公告)号：CN105609397B

公开(公告)日：2017-06-30

申请号：CN201510569675.2

申请日：2015-09-09

Applicant: 日新离子机器株式会社

Inventor： 平井裕也 ,  山元徹朗 ,  松本武

IPC: H01J37/317

Abstract: 本发明提供离子束照射装置(100)等，能够在短时间内且稳定性良好地进行束电流的均匀化。在实现离子束的均匀化的均匀控制步骤中，所述控制装置执行：权重系数计算步骤，计算作为各灯丝电流(IF)的变化对各束电流(IB)的变化的影响程度的权重系数；以及灯丝理论电流计算步骤，根据在所述权重系数计算步骤中得到的权重系数，计算用于使各束电流(IB)的值尽可能接近规定的目标电流值的各灯丝的理论电流值。

公开(公告)号：CN106257616A

公开(公告)日：2016-12-28

申请号：CN201610388025.2

申请日：2016-06-02

Applicant: 日新离子机器株式会社

Inventor： 萨米·K·哈托 ,  山元徹朗

IPC: H01J37/317

CPC classification number: H01J37/3171

Abstract: 本发明提供真空室和质量分析电磁铁，能减小束电位导致的带状束的长度方向上的发散不均匀性。在构成带状束B的输送路径的真空室C中，当把通过真空室C内的带状束B的行进方向设为Z方向、把带状束B的长度方向设为Y方向、把与上述两方向垂直的方向设为X方向时，在Y方向上的真空室C的端部区域，越朝向真空室C的端部去，X方向上的真空室C的内部尺寸越小。