公开(公告)号：CN111696906A

公开(公告)日：2020-09-22

申请号：CN202010165402.2

申请日：2020-03-11

Applicant: 新光电气工业株式会社

Inventor： 古川忠义 ,  斋藤美喜 ,  铃木贵彦 ,  青木周三

IPC: H01L21/683 ,  H01J37/32

Abstract: 本发明提供一种基板固定装置，其具有:底板，其内部具备气体供给部；及静电卡盘，其设置在所述底板上。所述静电卡盘具备:基体，其一个表面为吸附对象物的承载面；及贯穿所述基体的插入孔，其内侧面上形成有内螺纹。其中，侧面上形成有外螺纹的拧入部件螺接在所述插入孔内，气体可从所述气体供给部经由所述拧入部件被供给至所述承载面。

公开(公告)号：CN104519693A

公开(公告)日：2015-04-15

申请号：CN201410432760.X

申请日：2014-08-28

Applicant: 新光电气工业株式会社

Inventor： 陈明聪 ,  青木周三 ,  织田卓哉

IPC: H05K5/02

CPC classification number: G06F1/181 ,  G06F1/183 ,  H05K5/0008

Abstract: 提供电子部件用壳体和电子部件装置，能够实现低成本化，并且具有能够应对薄型化和轻量化的新颖的构造。电子部件用壳体包括下部壳体(10)和上部壳体(20)，下部壳体(10)具备：底板(11)；侧壁(12)，其具备突出部(P)；卡合突起(14)，其形成于侧壁的外表面；以及螺钉孔(15)，其形成于侧壁(12)的设置有突出部(P)的区域，上部壳体(20)具备：顶板(21)；侧壁(22)，在该侧壁(22)形成有卡合孔(24)；以及缺口孔(25a)，其形成于该侧壁(22)的所述顶板(21)侧的区域，下部壳体(10)的突出部(P)与上部壳体(10)的缺口孔(25a)卡合，螺钉孔(15)从缺口孔(25a)露出，而且，下部壳体(10)的卡合突起(14)与上部壳体(20)的卡合孔(24)卡合。

公开(公告)号：CN103579140A

公开(公告)日：2014-02-12

申请号：CN201310332818.9

申请日：2013-08-02

Applicant: 新光电气工业株式会社

Inventor： 川村贤二 ,  青木周三 ,  中泽昌夫 ,  诹访顺之

IPC: H01L23/373

CPC classification number: F28F3/00 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00 ,  C01B32/16 ,  C01B2202/34 ,  C01B2202/36 ,  C23C18/165 ,  C23C18/1662 ,  C23C18/1673 ,  C25D5/006 ,  C25D15/00 ,  F28F3/02 ,  F28F21/02 ,  H01L23/373 ,  H01L23/3736 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 本发明提供一种将碳纳米管等碳材料在垂直方向取向的散热元件及其制造方法。本散热元件包括：基体、在与所述基体的规定的面的垂直方向上取向的碳材料、以及填充在所述碳材料的间隙中的镀层，所述碳材料的一部分从所述镀层的表面向与所述基体相反一侧突出。

公开(公告)号：CN101902890A

公开(公告)日：2010-12-01

申请号：CN200910222930.0

申请日：2009-11-13

Applicant: 新光电气工业株式会社

Inventor： 青木周三 ,  陈明聪

IPC: H05K5/00 ,  H05K5/02 ,  G06K19/067

CPC classification number: H05K5/0269

Abstract: 本发明涉及用于容纳电子电路板的容纳壳体和电子设备。容纳壳体包括：下壳体部分，其内部容纳安装电子元件的电路板；以及上壳体部分，其从外部装配在所述下壳体部分上以形成盒状部件。所述下壳体部分和所述上壳体部分包括：平面部分和从平面部分的外周边缘竖立起来的侧壁部分。使用金属材料制成的板状部件形成平面部分和侧壁部分。在下壳体部分的侧壁部分上布置向外突出的接合突出部分。在上壳体部分的侧壁部分上的与下壳体部分的接合突出部分对应的位置布置接合孔，接合孔穿过上壳体部分的侧壁部分。上壳体部分从外部装配在下壳体部分上，并且接合突出部分与接合孔接合，从而下壳体部分与上壳体部分相互固定。