公开(公告)号：CN111696906B

公开(公告)日：2025-02-11

申请号：CN202010165402.2

申请日：2020-03-11

Applicant: 新光电气工业株式会社

Inventor： 古川忠义 ,  斋藤美喜 ,  铃木贵彦 ,  青木周三

IPC: H01L21/683 ,  H01J37/32

Abstract: 本发明提供一种基板固定装置，其具有:底板，其内部具备气体供给部；及静电卡盘，其设置在所述底板上。所述静电卡盘具备:基体，其一个表面为吸附对象物的承载面；及贯穿所述基体的插入孔，其内侧面上形成有内螺纹。其中，侧面上形成有外螺纹的拧入部件螺接在所述插入孔内，气体可从所述气体供给部经由所述拧入部件被供给至所述承载面。

公开(公告)号：CN111696906A

公开(公告)日：2020-09-22

申请号：CN202010165402.2

申请日：2020-03-11

Applicant: 新光电气工业株式会社

Inventor： 古川忠义 ,  斋藤美喜 ,  铃木贵彦 ,  青木周三

IPC: H01L21/683 ,  H01J37/32

Abstract: 本发明提供一种基板固定装置，其具有:底板，其内部具备气体供给部；及静电卡盘，其设置在所述底板上。所述静电卡盘具备:基体，其一个表面为吸附对象物的承载面；及贯穿所述基体的插入孔，其内侧面上形成有内螺纹。其中，侧面上形成有外螺纹的拧入部件螺接在所述插入孔内，气体可从所述气体供给部经由所述拧入部件被供给至所述承载面。