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公开(公告)号：CN113727818A
公开(公告)日：2021-11-30
申请号：CN202080030804.X
申请日：2020-07-10
Applicant: 川崎重工业株式会社
Abstract: 一种机器人手，用于保持基板，其特征在于，具备：基体；托板，规定有用于保持所述基板的保持位置，其基部安装于所述基体；以及差动螺纹，其中心轴与存在于所述保持位置的所述基板的主表面正交，用于将所述托板的基部安装于所述基体，所述差动螺纹具有：第一螺纹部，其螺距是第一螺距；第二螺纹部，其螺距是与所述第一螺距不同的第二螺距；以及介入部件，同轴状地具有与所述第一螺纹部螺合的第三螺纹部及与所述第二螺纹部螺合的第四螺纹部，所述第一螺纹部设置于所述基体，且所述第二螺纹部设置于所述托板的基部。
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公开(公告)号：CN116114053B
公开(公告)日：2025-02-25
申请号：CN202080103693.0
申请日：2020-11-02
Applicant: 川崎重工业株式会社
Inventor： 清水一平
IPC: H01L21/677
Abstract: 该基板保持机械手(1)具备：叶片(31)，其包括支承基板(W)的支承部(311、312)；可动按压单元(32、33)，其包括用于按压基板的能够进退移动的按压部件(32a、33a)；以及倾斜调整机构(34、35、36、37)，其能够调整按压部件的倾斜。
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公开(公告)号：CN116325108A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202080103710.0
申请日：2020-11-02
Applicant: 川崎重工业株式会社
Inventor： 清水一平
IPC: H01L21/677
Abstract: 该基板保持机械手(1)具备：框架(31)；叶片(32)，其支承基板(W)；安装部件(33)，其用于支承叶片并将叶片安装于框架；以及倾斜调整机构(34)，其通过调整安装部件相对于框架的倾斜，从而能够调整在从侧方观察叶片的情况下叶片相对于水平方向的倾斜。
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公开(公告)号：CN116195043A
公开(公告)日：2023-05-30
申请号：CN202180054552.9
申请日：2021-08-29
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H01L21/677
Abstract: 本发明提供一种用于运送基板的机器人，该机器人包括臂部、手部和倾斜机构。所述臂部能够移动。所述手部被设置为从臂部突出，保持且运送所述基板。所述倾斜机构能够使所述手部的姿势倾斜。所述手部包括保持部。所述保持部能够接触到所述基板的上表面以及下表面。通过所述倾斜机构，所述保持部在以仅将力施加在将所述基板分为两等份的两个部分中的一个部分上的方式接触到该基板的上表面以及下表面的状态下，保持该基板。
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公开(公告)号：CN115039215A
公开(公告)日：2022-09-09
申请号：CN202180012169.7
申请日：2021-02-25
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H01L21/677 , B25J15/08
Abstract: 本发明的基板保持手具备：支承板，规定有圆形的基准捕获范围；多个垫，配置在基准捕获范围内；至少1个固定限位器，沿着基准捕获范围的外周圆配置；至少1个可动限位器，具有与固定限位器相比距支承板的高度一致的部分；以及限位器致动器，构成为使可动限位器从基准捕获范围的外侧的退避位置移动到比该退避位置更靠近固定限位器的进入位置。通过处于进入位置的可动限位器和前限位器来规定圆形的缩小捕获范围，缩小捕获范围的直径大于基板的直径且小于捕获范围的直径。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117480596A
公开(公告)日：2024-01-30
申请号：CN202280041996.3
申请日：2022-06-06
Applicant: 川崎重工业株式会社
Inventor： 清水一平
IPC: H01L21/677
Abstract: 本发明的高度调整装置(30)具备：下侧部件(31)；上侧部件(32)；以及高度调整单元，包括第一球面滑动轴承(33a)、第二球面滑动轴承(33b)及第三球面滑动轴承(33c)、以及第一升降部(35)、第二升降部(35)及第三升降部(35)。高度调整装置通过驱动第一升降部、第二升降部以及第三升降部来调整上侧部件相对于下侧部件的高度。
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公开(公告)号：CN116096532A
公开(公告)日：2023-05-09
申请号：CN202180054557.1
申请日：2021-08-29
Applicant: 川崎重工业株式会社 , 东京毅力科创株式会社
IPC: B25J9/06
Abstract: 本发明提供一种机器人，该机器人包括引导部、移动部、手部、变形取得部、姿势调整部和控制部。所述移动部被设置在所述引导部，能够在该引导部引导的方向移动。所述手部被设置在所述移动部，保持所述基板。所述变形取得部取得与所述引导部的变形相关的信息。所述姿势调整部能够根据所述变形取得部所取得的所述引导部的变形来调整所述手部的姿势。所述控制部控制所述姿势调整部的动作。所述控制部根据与所述引导部的变形相关的信息，用所述姿势调整部调整相对于运送预定的所述基板进行保持作业的所述手部的姿势。
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公开(公告)号：CN114025925A
公开(公告)日：2022-02-08
申请号：CN202080046702.7
申请日：2020-04-03
Applicant: 川崎重工业株式会社
Abstract: 基板扫描映射装置(4)对收容有沿规定的排列方向排列的多个基板(10)的容器内的基板(10)进行扫描映射。该基板扫描映射装置(4)具备：传感器(16)，其检测基板(10)的状态；操作器(14)，其使传感器(16)移动；以及控制装置(18)，其控制操作器(14)来使传感器(16)沿着扫描映射路径移动。控制装置(18)对在基板(10)的排列方向上位置不同的第一扫描映射位置和第二扫描映射位置进行设定，并使用第一扫描映射位置和第二扫描映射位置来设定扫描映射路径。
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