公开(公告)号：CN116325107A

公开(公告)日：2023-06-23

申请号：CN202080103709.8

申请日：2020-11-02

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 清水一平 ,  高氏龙之介

IPC: H01L21/677

Abstract: 该基板保持机械手(1)具备：框架(10)；多个叶片(20)，它们分别支承基板(W)；以及安装部件(30)，其用于支承多个叶片，并且将多个叶片安装于框架。多个叶片以在与叶片的主面(20a)垂直的方向上排列的方式配置，能够在将位于与叶片的主面垂直的方向上的端部的、即端部的叶片安装于安装部件的状态下，从安装部件取下中间的叶片。

公开(公告)号：CN115996824A

公开(公告)日：2023-04-21

申请号：CN202080103687.5

申请日：2020-11-02

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 清水一平 ,  高氏龙之介

IPC: B25J19/00

Abstract: 该基板搬运机器人(100)具备线缆引导部(5)，该线缆引导部(5)配置有机器人线缆(101)并以追随于与臂(2)的升降一起移动的机器人线缆(101)的方式变形，上述机器人线缆(101)配置于壳体(4)的内部并且从臂(2)延伸。

公开(公告)号：CN115039215A

公开(公告)日：2022-09-09

申请号：CN202180012169.7

申请日：2021-02-25

Applicant: 川崎重工业株式会社

Inventor： 山田怜 ,  高氏龙之介 ,  清水一平

IPC: H01L21/677 ,  B25J15/08

Abstract: 本发明的基板保持手具备：支承板，规定有圆形的基准捕获范围；多个垫，配置在基准捕获范围内；至少1个固定限位器，沿着基准捕获范围的外周圆配置；至少1个可动限位器，具有与固定限位器相比距支承板的高度一致的部分；以及限位器致动器，构成为使可动限位器从基准捕获范围的外侧的退避位置移动到比该退避位置更靠近固定限位器的进入位置。通过处于进入位置的可动限位器和前限位器来规定圆形的缩小捕获范围，缩小捕获范围的直径大于基板的直径且小于捕获范围的直径。